一种硅芯清洗系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种硅芯清洗系统，属于多晶硅生产技术领域，包括清洗室和安装架；清洗室内设有清洗槽，清洗槽内设有转轴；安装架上设有固定件，固定件用于固定硅芯端部，安装架设于转轴上。通过固定硅芯端部的固定件将安装架固定于转轴上，能够使安装架在清洗槽中清洗液旋转，硅芯端部外的其他部分均能够与清洗液充分接触，以此避免硅芯与清洗槽接触进而导致的清洗不彻底的问题。致的清洗不彻底的问题。致的清洗不彻底的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅芯清洗系统


[0001]本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种硅芯清洗系统。

技术介绍

[0002]硅芯作为生产多晶硅时还原炉内多晶硅料沉积的载体，其表面洁净程度将直接影响到多晶硅成品的品质。加工硅芯时，通常经过去头尾、切割、打磨等工序，使之符合需要的尺寸与形状，在此过程中，硅芯表面会粘附硅泥粉尘，使硅芯表面造成有机物、金属元素等的污染，因此使用前对硅芯进行清洗。
[0003]现有硅芯清洗工艺主要是先将硅芯放置清洗机中用混酸浸泡，混酸一般是一定比例的HF和HNO3，对硅芯表面进行有效的腐蚀，其反应如下：Si+4HNO3+6HF＝H2SiF6+4NO2+4H2O，此清洗方式中，硅芯不可避免地与清洗机内部进行接触，易导致硅芯与清洗机接触位置清洗不彻底的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的问题，提供了一种硅芯清洗系统。
[0005]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种硅芯清洗系统，系统具体包括清洗室和安装架；清洗室内设有清洗槽，清洗槽内设有转轴；安装架上设有固定件，固定件用于固定硅芯端部，安装架设于转轴上。
[0006]在一示例中，所述清洗室内安装架上方设有第一喷淋头，第一喷淋头连接清洗液管线。
[0007]在一示例中，所述安装架为具有伸缩功能的安装架，以匹配固定不同长度的硅芯。
[0008]在一示例中，所述固定件为具有旋转功能的固定件。
[0009]在一示例中，所述系统还包括漂洗室，漂洗室内设有连接超纯水管线的第二喷淋头，用于漂洗经过清洗的硅芯。
[0010]在一示例中，所述清洗槽底部设有清洗液收集器；漂洗室底部设有废水收集器。
[0011]在一示例中，所述系统还包括设有烘干室，烘干室内设有烘干装置，用于烘干经过漂洗的硅芯。
[0012]在一示例中，所述系统还包括质量检测室，质量检测室内设有图像采集设备，用于采集经过烘干的硅芯图像。
[0013]在一示例中，所述转轴依次贯穿清洗室、漂洗室、烘干室、质量检测室设置，安装架能够在转轴上进行水平位移。
[0014]在一示例中，所述清洗室与漂洗室之间，和/或漂洗室与烘干室之间，和/或烘干室与质量检测室之间设有隔帘或隔板。
[0015]需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。
[0016]与现有技术相比，本技术有益效果是：
[0017]1.在一示例中，通过固定硅芯端部的固定件将安装架固定于转轴上，能够使安装架在清洗槽中清洗液旋转，硅芯端部外的其他部分均能够与清洗液充分接触，以此避免硅芯与清洗槽接触进而导致的清洗不彻底的问题。
[0018]2.在一示例中，通过第一喷淋头向清洗槽内补充清洗液，保证清洗液浓度；同时，通过第一喷淋头向旋转的硅芯喷淋清洗液，进一步对硅芯进行清洗，提升清洗效果。
[0019]3.在一示例中，具有伸缩功能的安装架能够固定不同长度的硅芯，提升了固定灵活性。
[0020]4.在一示例中，通过具有旋转功能的固定件带动硅芯旋转，配合转轴带动安装架旋转，能够全面显露硅芯表面，保证硅芯表面与清洗液充分接触，还可保证硅芯表面被充分漂洗、烘干等，进一步提升了清洗效果。
[0021]5.在一示例中，通过第二喷淋头对硅芯进行冲洗，去除硅芯表面残留的清洗液，保证后续基于硅芯制备的多晶硅成品的品质。
[0022]6.在一示例中，通过清洗液收集器、废水收集器实现清洗液、废水的回收，经处理后可实现清洗液、废水的再利用。
[0023]7.在一示例中，通过烘干装置将经过漂洗的硅芯进行烘干处理，加快了硅芯干燥进程，节约了整个硅芯清洗工艺的时间成本开销。
[0024]8.在一示例中，通过图像采集设备采集烘干后的硅芯表面图像，通过观察图像或者基于图像处理技术对图像进行检测，进而判断硅芯表面的洁净度是否合格，若合格，进入下一工序；若不合格，返回重新清洗。
[0025]9.在一示例中，转轴贯穿设置且安装架能在转轴上移动，进而实现全流程自动清洗，降低了人工工作量，提高了清洗效率。
[0026]10.在一示例中，通过设置隔帘或隔板能够避免其他腔室杂质进入，保证各工艺环节的清洗效果。
附图说明
[0027]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明，此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0028]图1为本技术一示例中的系统示意图；
[0029]图2为本技术一示例中的安装架主视图；
[0030]图3为本技术一示例中的安装架侧视图；
[0031]图4为本技术优选示例系统示意图。
[0032]图中：安装室1、清洗室2、第一喷淋头21、清洗液收集器22、漂洗室3、第一喷淋头31、废水收集器32、烘干室4、气体加热器41、质量检测室5、相机51、硅芯6、安装架7、同心轴71、夹爪72、隔帘8、密封隔板9、转轴10。
具体实施方式
[0033]下面结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实
施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，使用序数词(例如，“第一和第二”、“第一至第四”等)是为了对物体进行区分，并不限于该顺序，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0035]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0037]在一示例中，一种硅芯6清洗系统，如图1所示，该系统包括清洗室2，清洗室2内设有清洗槽，清洗槽用于存储酸性清洗液，即HF、HNO3混合液。
[0038]进一步地，清洗槽内设有转轴10，为矩形转轴10或圆形转轴10，转轴10两端通过清洗槽侧壁进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅芯清洗系统，其特征在于：其包括清洗室和安装架；清洗室内设有清洗槽，清洗槽内设有转轴；安装架上设有固定件，固定件用于固定硅芯端部，安装架设于转轴上。2.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述清洗室内安装架上方设有第一喷淋头，第一喷淋头连接清洗液管线。3.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述安装架为具有伸缩功能的安装架，以匹配固定不同长度的硅芯。4.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述固定件为具有旋转功能的固定件。5.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗系统，其特征在于：所述系统还包括漂洗室，漂洗室内设有连接超纯水管线的第二喷淋头，用于漂洗经过清洗的硅芯。6.根据权利要求5所述的一种硅芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：安军林，魏东亮，蔡延国，任长春，王茜，
申请(专利权)人：青海亚洲硅业多晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：