一种湿法刻蚀设备及其控制方法技术

本发明专利技术公开了一种湿法刻蚀设备及其控制方法，涉及湿法刻蚀设备管理技术领域，包括缓冲室、刻蚀室和控制器，所述缓冲室与所述刻蚀室内均设有传送轴，所述传送轴用来运输基板，所述缓冲室与所述刻蚀室通过连通孔贯通连接，所述基板通过所述连通孔在所述缓冲室与所述刻蚀室间传输，所述连通孔上设有电动门，所述缓冲室内设有用于检测刻蚀气体浓度的气雾检测装置，所述气雾检测装置与所述控制器电性连接，所述控制器电性连接有报警器，气雾检测装置设置在缓冲室内，可以检测空气中酸性气雾的气体浓度，当酸性气雾的浓度达到预设值时，向控制器发送报警信号，使控制器根据报警信号控制报警器报警，通知人员及时对缓冲室进行清理。理。理。

【技术实现步骤摘要】
一种湿法刻蚀设备及其控制方法


[0001]本专利技术涉及湿法刻蚀设备管理
，具体涉及一种湿法刻蚀设备及其控制方法。

技术介绍

[0002]在显示面板的制备工艺中，常常用到湿法刻蚀工艺，此工艺利用刻蚀液将玻璃基板上未被光刻胶覆盖的部分刻蚀掉，以形成所需的金属图案，湿法刻蚀设备主要包括缓冲室、刻蚀室、清洗室、缓冲室和干燥室等，刻蚀设备通过传送轴将基板传送至各个室，进行相应的处理。其中，刻蚀室中设置有一定数量的喷管，用于喷洒刻蚀液，喷管会在基板进入前提前打开，以对刻蚀室进行清洗，缓冲室与刻蚀室之间具有电动门，在基板准备进入时，电动门打开，再通过传送轴将基板从缓冲室传送至刻蚀室。
[0003]由于刻蚀室提前喷洒刻蚀液，而刻蚀液中含有挥发性的酸，因此，电动门打开后，会有酸性气雾从刻蚀室扩散至缓冲室，气雾凝结后会残留在传送轴和空气中，传送轴凝聚以后会影响传动效率，空气中的刻蚀液雾气会对缓冲液中的基板进行提前的刻蚀，由于气雾的不确定性，其刻蚀也是不可控的，会对最终的成型图案造成影响，影响基板的最终刻蚀形貌，因此需要及时对缓冲室进行清理，清理会出现清理不及时和清理过于频繁的情况，清理不及时残渣过量会造成严重不良结果，而清理过于频繁会出现残渣较少暂时无需清理的情况，因此何时进行清理时一个急需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种湿法刻蚀设备及其控制方法，以解决上述
技术介绍
中提出的何时对缓冲室进行清理的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种湿法刻蚀设备，包括缓冲室、刻蚀室和控制器，所述缓冲室与所述刻蚀室内均设有传送轴，所述传送轴用来运输基板，所述缓冲室与所述刻蚀室通过连通孔贯通连接，所述基板通过所述连通孔在所述缓冲室与所述刻蚀室间传输，所述连通孔上设有电动门，所述缓冲室内设有用于检测刻蚀气体浓度的气雾检测装置，所述气雾检测装置与所述控制器电性连接，所述控制器电性连接有报警器。
[0006]优选的，所述气雾检测装置包括气体模块和光学模块，所述气体模块包括用于吸收缓冲室内气体的第一吸收器，所述第一吸收器通过管道连通有过滤器，所述过滤器连通有吸收池，所述过滤器还连通有第二吸收器，所述第二吸收器与外界连通，所述第一吸收器和所述第二吸收器均通过真空发生器吸收气体，且均设有控制管道开合的电磁阀，所述吸收池连通有用于处理气体的处理器，所述过滤器用于预防气体中的灰尘颗粒划伤吸收池内的反射镜面。
[0007]优选的，所述光学模块包括用于产生红外光的激光机构，调节光路的耦合机构，用于反射激光的吸收池，吸收激光的红外光强传感器，解调电信号的锁相放大器。
[0008]优选的，所述激光机构输出红外激光，然后经过所述耦合机构的调节，进入所述吸
收池后经过多次反射吸收后射出，红外激光被所述红外光强传感器捕捉后光强信号转化为电信号，然后经过所述锁相放大器的解调处理后，经所述控制器判断是够超标，然后所述控制器控制所述报警器报警。
[0009]优选的，所述激光机构包括与所述气雾检测装置固定连接的底座，与所述底座转动连接的移动台，与所述移动台滑动连接的激光发生器，所述底座内设有第一电机，所述第一电机连接有第一转轴，所述第一转轴与所述移动台固定连接，所述移动台内设有第二电机，所述第二电机连接有第二转轴，所述移动台上开设有移动槽，所述移动槽内设有与所述第二转轴固定连接的丝杆，所述丝杆与所述移动台通过轴承转动连接，所述丝杆上套设有与所述移动槽匹配且滑动连接的激光发生器。
[0010]优选的，所述耦合机构依次包括非球面透镜、光纤耦合透镜、光纤和准直透镜，所述非球面透镜、所述光纤耦合透镜和所述准直透镜分别通过支架与所述气雾检测装置固定连接，所述非球面透镜靠近所述激光机构，所述光纤耦合透镜设置在所述非球面透镜远离所述激光机构的一侧，所述光纤设置在所述光纤耦合透镜远离所述非球面透镜的一侧，所述准直透镜设置在所述光纤远离所述光纤耦合透镜的一侧。
[0011]优选的，所述非球面透镜用于实现激光的准直，所述光纤耦合透镜用于使激光光斑打在光纤截面处，从而将红外光导入光纤，所述准直透镜用于将激光准直进入吸收池中。
[0012]优选的，一种湿法刻蚀设备的控制方法，在所述电动门打开，刻蚀气体从所述刻蚀室进入所述缓冲室开始，然后所述气雾检测装置开始检测所述缓冲室内的气体情况；
[0013]在所述缓冲室内的刻蚀气体浓度达到预设值时，所述气雾检测将电信号传输给所述控制器，所述控制器去控制所述报警器报警。
[0014]优选的，所述气雾检测装置开始检测所述缓冲室内的气体情况，包括：所述气体模块将气体通过真空发生器吸入所述过滤器中，然后通过所述过滤器将气体中的灰尘颗粒过滤掉，接着导入所述吸收池中等待后续操作。
[0015]优选的，气体进入所述吸收池后，所述光学模块开始工作，包括：所述激光机构输出红外激光，经过所述耦合机构的准直和调节后，进入所述吸收池后经过多次反射吸收后射出，激光被所述红外光强传感器捕捉后光强信号转化为电信号，然后电信号传送到所述锁相放大器处，经过所述锁相放大器的解调处理后，经所述控制器判断是够超标，然后所述控制器控制所述报警器报警。
[0016]在上述技术方案中，本专利技术提供的技术效果和优点：
[0017]气雾检测装置设置在缓冲室内，可以检测空气中酸性气雾的气体浓度，当酸性气雾的浓度达到预设值时，向控制器发送报警信号，使控制器根据报警信号控制报警器报警，通知人员及时对缓冲室进行清理，从而避免了现有技术中清理不及时容易污染基板增加不良率，或清理过于频繁造成能源浪费。
[0018]在电动门打开，刻蚀气体从刻蚀室进入缓冲室开始，然后气雾检测装置开始检测缓冲室内的气体情况；
[0019]气雾检测装置开始检测缓冲室内的气体情况，包括：气体模块将气体通过真空发生器吸入过滤器中，然后通过过滤器将气体中的灰尘颗粒过滤掉，接着导入吸收池中等待后续操作；
[0020]气体进入吸收池后，激光机构输出红外激光，经过耦合机构的准直和调节后，进入
吸收池后经过多次反射吸收后射出，激光被红外光强传感器捕捉后光强信号转化为电信号，然后电信号传送到锁相放大器处，经过锁相放大器的解调处理后，经控制器判断是否超标；
[0021]若控制器判断超标，则控制报警器进行报警工作，若控制器判断不超标，则报警器不报警。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术的气雾检测装置结构示意图；
[0025]图3为本专利技术的激光机构结构示意图；
[0026]图4为本专利技术的耦合机构结构示意图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、缓本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种湿法刻蚀设备，包括缓冲室(1)、刻蚀室(2)和控制器(3)，其特征在于：所述缓冲室(1)与所述刻蚀室(2)内均设有传送轴(4)，所述传送轴(4)用来运输基板(5)，所述缓冲室(1)与所述刻蚀室(2)通过连通孔(21)贯通连接，所述基板(5)通过所述连通孔(21)在所述缓冲室(1)与所述刻蚀室(2)间传输，所述连通孔(21)上设有电动门(22)，所述缓冲室(1)内设有用于检测刻蚀气体浓度的气雾检测装置(6)，所述气雾检测装置(6)与所述控制器(3)电性连接，所述控制器(3)电性连接有报警器(9)。2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀设备，其特征在于：所述气雾检测装置(6)包括气体模块(7)和光学模块(8)，所述气体模块(7)包括用于吸收缓冲室(1)内气体的第一吸收器(71)，所述第一吸收器(71)通过管道连通有过滤器(72)，所述过滤器(72)连通有吸收池(73)，所述过滤器(72)还连通有第二吸收器(74)，所述第二吸收器(74)与外界连通，所述第一吸收器(71)和所述第二吸收器(74)均通过真空发生器吸收气体，且均设有控制管道开合的电磁阀，所述吸收池(73)连通有用于处理气体的处理器，所述过滤器(72)用于预防气体中的灰尘颗粒划伤吸收池(73)内的反射镜面。3.根据权利要求2所述的湿法刻蚀设备，其特征在于：所述光学模块(8)包括用于产生红外光的激光机构(81)，调节光路的耦合机构(82)，用于反射激光的吸收池(73)，吸收激光的红外光强传感器(83)，解调电信号的锁相放大器(84)。4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀设备，其特征在于：所述激光机构(81)输出红外激光，然后经过所述耦合机构(82)的调节，进入所述吸收池(73)后经过多次反射吸收后射出，红外激光被所述红外光强传感器(83)捕捉后光强信号转化为电信号，然后经过所述锁相放大器(84)的解调处理后，经所述控制器(3)判断是够超标，然后所述控制器(3)控制所述报警器(9)报警。5.根据权利要求4所述的湿法刻蚀设备，其特征在于：所述激光机构(81)包括与所述气雾检测装置(6)固定连接的底座(811)，与所述底座(811)转动连接的移动台(812)，与所述移动台(812)滑动连接的激光发生器(813)，所述底座(811)内设有第一电机(814)，所述第一电机(814)连接有第一转轴(815)，所述第一转轴(815)与所述移动台(812)固定连接，所述移动台(812)内设有第二电机(816)，所述第二电机(816)连接有第二转轴(817)，所述移动台(812)上开设有移动槽(818)，所述移动槽(81...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志健，
申请(专利权)人：无锡合颖半导体设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：