一种QDR槽喷淋板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种QDR槽喷淋板，包括QDR槽主体、夹具、晶圆片、喷淋管、进液管、QDR喷淋板主体、锥形喷嘴、QDR喷淋接头板、第一密封圈和第二密封圈，QDR喷淋接头板安装在QDR喷淋板主体上，QDR喷淋板主体上均匀设置有若干个锥形喷嘴，QDR喷淋板主体焊接在QDR槽主体的左侧板上，晶圆片位于锥形喷嘴正对面位置处且晶圆片与锥形喷嘴距离为50

【技术实现步骤摘要】
一种QDR槽喷淋板
[0001]
：
[0002]本技术涉及快排冲洗槽
，尤其涉及一种QDR槽喷淋板。
[0003]
技术介绍
：
[0004]现有喷淋方式是在晶圆片斜上方安装喷淋管，通过喷嘴对晶圆片进行喷淋清洗。由于喷淋角度固定，无法对整个晶圆片进行喷淋，清洗效果不是很好。
[0005]
技术实现思路
：
[0006]针对上述问题，本技术要解决的技术问题是提供一种QDR槽喷淋板，包括QDR槽主体、夹具、晶圆片、喷淋管、进液管、QDR喷淋板主体、锥形喷嘴、QDR喷淋接头板、第一密封圈和第二密封圈；
[0007]所述QDR喷淋接头板安装在QDR喷淋板主体上，所述QDR喷淋接头板和QDR喷淋板主体中间设置有进行防漏液密封的第一密封圈和第二密封圈，所述QDR喷淋板主体上均匀设置有若干个锥形喷嘴，所述QDR喷淋板主体焊接在QDR槽主体的左侧板上，所述QDR槽主体通过夹具固定有晶圆片，所述晶圆片位于锥形喷嘴正对面位置处且晶圆片与锥形喷嘴距离为50
‑
60mm，所述QDR喷淋板主体连接喷淋管和进液管。
[0008]优选的，所述锥形喷嘴设置有14个。
[0009]优选的，所述QDR喷淋接头板通过M6内六角螺丝安装固定在QDR喷淋板主体上。
[0010]本技术有益效果：将喷淋板直接焊接安装在晶圆片正对面，配合14个锥形喷嘴，完整覆盖了整个晶圆片，大大提高了喷淋清洗的效果，同时流量也大为提高，提高了清洗效率。
[0011]附图说明：
[0012]为了易于说明，本技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。
[0013]图1为本技术整体结构示意图；
[0014]图2为本技术剖视图。
[0015]图中：1
‑
QDR槽主体；2
‑
夹具；3
‑
晶圆片；4
‑
喷淋管；5
‑
进液管；6
‑
QDR喷淋板主体；7
‑
锥形喷嘴；8
‑
QDR喷淋接头板；9
‑
第一密封圈；10
‑
第二密封圈；11
‑
M6内六角螺丝。
[0016]具体实施方式：
[0017]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本技术。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0018]如图1
‑
2所示，本技术的一种QDR槽喷淋板，包括QDR槽主体1、夹具2、晶圆片3、喷淋管4、进液管5、QDR喷淋板主体6、锥形喷嘴7、QDR喷淋接头板8、第一密封圈9和第二密封圈10；
[0019]QDR喷淋接头板8通过M6内六角螺丝11安装固定在QDR喷淋板主体6上，QDR喷淋接头板8和QDR喷淋板主体6中间设置有进行防漏液密封的第一密封圈9和第二密封圈10，QDR喷淋板主体6上均匀设置有若干个锥形喷嘴7，QDR喷淋板主体6焊接在QDR槽主体1的左侧板
上，QDR槽主体1通过夹具2固定有晶圆片3，晶圆片3位于锥形喷嘴7正对面位置处且晶圆片3与锥形喷嘴7距离为50
‑
60mm，QDR喷淋板主体6连接喷淋管4和进液管5。
[0020]具体的，锥形喷嘴7设置有14个。
[0021]其工作原理：使用时接通管路打开阀门就可以对晶圆片3进行喷淋清洗，晶圆片3与锥形喷嘴7距离在50
‑
60mm为最佳喷淋位置，14个喷嘴完整覆盖整个晶圆片，喷淋效果最佳。
[0022]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种QDR槽喷淋板，其特征在于，包括QDR槽主体（1）、夹具（2）、晶圆片（3）、喷淋管（4）、进液管（5）、QDR喷淋板主体（6）、锥形喷嘴（7）、QDR喷淋接头板（8）、第一密封圈（9）和第二密封圈（10）；所述QDR喷淋接头板（8）安装在QDR喷淋板主体（6）上，所述QDR喷淋接头板（8）和QDR喷淋板主体（6）中间设置有进行防漏液密封的第一密封圈（9）和第二密封圈（10），所述QDR喷淋板主体（6）上均匀设置有若干个锥形喷嘴（7），所述QDR喷淋板主体（6）焊接在QDR槽主体（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金升，
申请(专利权)人：苏州施密科微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：