一种用于MicroLED检测的镂空吸附治具制造技术

技术编号:37572078 阅读:11 留言:0更新日期:2023-05-15 07:50
为克服现有平台吸盘不能检测上下两个面都有芯粒产品的问题,本实用新型专利技术提供了一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具,包括旋转DD马达,旋转DD马达上安装有平面吸盘,平面吸盘的上方安装有镂空吸附平台,镂空吸附平台的顶面设置有避让槽,避让槽的外周设置有放置台,镂空吸附平台的底面设置有密封槽,平面吸盘镶嵌在密封槽内,镂空吸附平台和平面吸盘的外围通过平台固定夹板固定连接。本实用新型专利技术通过在平面吸盘上方安装镂空吸附平台,从而对现有Micro LED检测运用的平面吸盘进行改良,改良后更适用多样式产品,可以放置上下面都有芯粒的产品;同时,减少吸附平台对产品的误伤概率,同时制作成本低,制作时间也短。制作时间也短。制作时间也短。

【技术实现步骤摘要】
一种用于MicroLED检测的镂空吸附治具


[0001]本技术涉及半导体晶圆级视觉检测的
,具体涉及一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具。

技术介绍

[0002]目前,在Micro LED巨量检测系统上虽有镂空台阶吸盘,但局限性太大,制作成本高,并且制作时间长。现有Micro LED巨量检测系统上大部分采用平台吸盘,当客户有上下两个面都有芯粒产品时,需要重新设计镂空台阶吸盘去加工,费时费力,局限性太大。现有平面吸盘不能放置两个面都有芯粒的产品,局限性大,不能满足多样式的晶圆片产品,而镂空台阶吸盘,制作成本高,并且制作时间长,费时费力,不适合运用在前期Micro LED检测中;因此,如何克服上述存在的技术问题和缺陷成为重点需要解决的问题。

技术实现思路

[0003]针对平台吸盘不能检测上下两个面都有芯粒产品的问题,本技术提供了一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具。
[0004]本技术解决上述技术问题所采用的技术方案如下:
[0005]一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具,包括旋转DD马达、平面吸盘、镂空吸附平台和平台固定夹板,所述旋转DD马达的输出轴上固定安装有所述平面吸盘,所述平面吸盘的上方安装有所述镂空吸附平台,所述镂空吸附平台的顶面设置有用于避让芯粒的避让槽,所述避让槽的内周环绕设置有抽气层,所述抽气层上设置有用于负压吸附的通气孔,所述避让槽的外周环绕设置有多个放置台,所述镂空吸附平台的底面设置有密封槽,所述密封槽内安装有密封圈,所述平面吸盘镶嵌在所述密封槽内,所述平面吸盘的外围通过所述平台固定夹板固定连接,所述镂空吸附平台和所述平台固定夹板固定连接。
[0006]可选的,还包括有旋转盘,所述旋转盘连接于所述旋转DD马达的输出轴上,所述旋转盘与所述平面吸盘通过螺栓固定连接。
[0007]可选的,所述平台固定夹板由两个半圆的环形组成,所述平台固定夹板的纵向上设置有多个螺栓孔,所述螺栓孔圆周均布在所述平台固定夹板的内侧。
[0008]可选的,所述镂空吸附平台的外周设置有多个螺栓孔,所述螺栓孔圆周均布在所述镂空吸附平台的外周,所述平台固定夹板通过螺栓与所述镂空吸附平台的上表面固定连接。
[0009]可选的,所述密封圈为硅胶密封圈。
[0010]可选的,所述镂空吸附平台为圆盘状,多个所述放置台间隔设置于所述镂空吸附平台的内缘,相邻的两个所述放置台之间形成有凹陷部。
[0011]可选的,所述避让槽为圆形槽。
[0012]可选的,沿所述抽气层至所述避让槽的圆心方向,所述抽气层的内侧壁厚度逐渐减小。
[0013]可选的,所述放置台为圆弧形,所述放置台的数量为4个,4个所述放置台间隔设置。
[0014]根据本技术提供的用于Micro LED检测的镂空吸附治具,通过在所述平面吸盘上方安装所述镂空吸附平台,从而对现有Micro LED检测运用的平面吸盘进行改良,改良后吸盘更适用多样式产品,可以放置上下面都有芯粒的产品;同时,减少吸附平台对产品的误伤概率,同时制作成本低,制作时间也短。
附图说明
[0015]图1是本技术一实施例提供的用于Micro LED检测的镂空吸附治具的爆炸示意图;
[0016]图2是本技术一实施例提供的用于Micro LED检测的镂空吸附治具的结构示意图;
[0017]图3是本技术一实施例提供的用于Micro LED检测的镂空吸附治具中镂空吸附平台的结构示意图;
[0018]说明书附图中的附图标记如下:
[0019]1‑
旋转DD马达,2

平面吸盘,3

镂空吸附平台,31

放置台,32

凹陷部,33

避让槽,4

平台固定夹板,5

硅胶密封圈,6

密封槽,7
‑‑
抽气层,71

通气孔。
具体实施方式
[0020]为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0021]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“侧面”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
[0022]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]如图1

2所示,在一实施例中,本申请提供一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具,包括旋转DD马达1、平面吸盘2、镂空吸附平台3和平台固定夹板4,所述旋转DD马达1的输出轴上固定安装有所述平面吸盘2,所述平面吸盘2的上方安装有所述镂空吸附平台3,所述镂空吸附平台3的顶面设置有用于避让芯粒的避让槽33,所述避让槽33的内周环绕设置有抽气层7,所述抽气层7上设置有用于负压吸附的通气孔71,所述避让槽33的外周环绕设置有多个放置台31,所述镂空吸附平台3的底面设置有密封槽6,所述密封槽6内安装有密封圈,所述平面吸盘2镶嵌在所述密封槽6内,所述平面吸盘2的外围通过所述平台固定夹板4
固定连接,所述镂空吸附平台3和所述平台固定夹板4固定连接。
[0024]本申请的所述旋转DD马达1作为整个吸附平台的旋转动力,所述旋转DD马达1转动带动所述平面吸盘2转动,所述平面吸盘2转动作为固定镂空吸附平台3的中转件,因此,所述平面吸盘2带动所述镂空吸附平台3旋转,所述镂空吸附平台3直接与产品接触,所述镂空吸附平台3的底面设置有密封槽6,所述密封槽6内安装有密封圈,所述平面吸盘2上方的凸起镶嵌在所述密封槽6内,所述密封圈将所述平面吸盘2和所述镂空吸附平台3连接起来,进行密封,防止漏气;所述平台固定夹板4由底面圆环和侧面挡板组成,所述侧面挡板设置在所述底面圆环的外圆的四周,所述平面吸盘2放置在所述底面圆环的上方,所述底面圆环对所述平面吸盘2进行支撑和限位,所述镂空吸附平台3位于所述平台固定夹板4的上方,所述镂空吸附平台3与所述平台固定夹板4通过螺栓固定连接,从而使所述镂空吸附平台3和所述平面吸盘2连为一体,所述平台固定夹板4与镂空吸附平台3进行固定,随着所述旋转DD马达1进行旋转。所述避让本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于Micro LED检测的镂空吸附治具,其特征在于:包括旋转DD马达、平面吸盘、镂空吸附平台和平台固定夹板,所述旋转DD马达的输出轴上固定安装有所述平面吸盘,所述平面吸盘的上方安装有所述镂空吸附平台,所述镂空吸附平台的顶面设置有用于避让芯粒的避让槽,所述避让槽的内周环绕设置有抽气层,所述抽气层上设置有用于负压吸附的通气孔,所述避让槽的外周环绕设置有多个放置台,所述镂空吸附平台的底面设置有密封槽,所述密封槽内安装有密封圈,所述平面吸盘镶嵌在所述密封槽内,所述平面吸盘的外围通过所述平台固定夹板固定连接,所述镂空吸附平台和所述平台固定夹板固定连接。2.根据权利要求1所述的用于Micro LED检测的镂空吸附治具,其特征在于:还包括有旋转盘,所述旋转盘连接于所述旋转DD马达的输出轴上,所述旋转盘与所述平面吸盘通过螺栓固定连接。3.根据权利要求1所述的用于Micro LED检测的镂空吸附治具,其特征在于:所述平台固定夹板由两个半圆的环形组成,所述平台固定夹板的纵向上设置有多个螺栓孔,所述螺栓孔圆周均布在所述平台固定...

【专利技术属性】
技术研发人员:伍琼樊为民孔一帆黄岚高锦龙
申请(专利权)人:深圳市壹倍科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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