可回收利用坩埚制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可回收利用坩埚。包括埚壁、安装在所述埚壁上端的固定圈、以及安装在所述埚壁下端的埚碗，埚壁包括多个侧壁结构件，且侧壁结构件相互拼接；埚碗包括第一碗底和第二碗底；第一碗底为碗状结构，第二碗底通过嵌扣组件固定在第一碗底的底部；埚壁与固定圈之间、埚壁与埚碗之间均为可拆卸连接。通过该组合的方式，可以在坩埚报废后将为损毁部分重新加工分类进行组合，进行回收利用，解决的资源浪费的问题，低碳环保。低碳环保。低碳环保。

【技术实现步骤摘要】
可回收利用坩埚


[0001]本技术涉及坩埚
，特别是涉及一种可回收利用坩埚。

技术介绍

[0002]市场上对高品质直拉单晶硅的需求也越来越大，直拉单晶硅的制备是单晶炉中使用石墨加热器将硅原料熔化，采用直拉法将熔体硅生长为单晶硅的过程，为了防止外界对硅料的污染，采用高纯石英坩埚作为装硅料的器具，其外部为石墨/碳碳坩埚作为支撑，生产中硅料的熔点高达1500℃左右，石英坩埚在硅生长的过程中会变软，拉晶后残留的石英坩埚常紧贴外面的承托坩埚内壁，另外石英坩埚为一次性工装，需要随炉更换，在去除石英坩埚时容易损坏坩埚埚体，且在去除石英坩埚时产生外力从而导致坩埚发生破损。同时由于石英材料的特殊性质其受热收缩冷却后回弹膨胀，导致外面的承托坩埚受到石英坩埚的膨胀挤压也易造成承托坩埚开裂变形。
[0003]传统的承托坩埚有三维预制体胚体制作的整体坩埚、两瓣坩埚、三瓣坩埚、两节坩埚或多节坩埚等，目前碳碳材料制作的坩埚逐渐取代石墨材料制作的坩埚，这些碳碳坩埚在单晶硅生长的过程中局部发生破损或失效时会造成整个坩埚报废或造成整节坩埚或多节坩埚报废，这样对未破损未失效的部分是一个极大浪费，碳碳材料价格昂贵且资源稀缺，不仅增加企业的生产成本，也非常不符合绿色环保发展理念。这些报废坩埚中未破损未失效的部分有非常大的利用价值，经过报废坩埚收集回收统计，大部分报废坩埚均为坩埚碗部开裂报废导致整体坩埚报废。

技术实现思路

[0004]基于此，针对上述问题，本技术提供了一种可回收利用坩埚。可实现在坩埚局部发生破损时，对未破损部分进行回收再利用。
[0005]一种可回收利用坩埚，包括埚壁、安装在所述埚壁上端的固定圈、以及安装在所述埚壁下端的埚碗；
[0006]所述埚壁包括多个侧壁结构件，且所述侧壁结构件相互拼接；
[0007]所述埚碗包括第一碗底和第二碗底；所述第一碗底为碗状结构，第二碗底通过嵌扣组件固定在所述第一碗底的底部；
[0008]所述埚壁与所述固定圈之间、所述埚壁与所述埚碗之间均为可拆卸连接。
[0009]在其中一个实施例中，所述侧壁结构件为长条状弧形结构；
[0010]在所述侧壁结构件沿横向的一侧设有拼接凸起，另一侧设有拼接凹槽；通过将所述拼接凸起固定在所述拼接凹槽内，使相邻两所述侧壁结构件之间相互固定。
[0011]在其中一个实施例中，在所述侧壁结构件沿竖向两端分别设有凸起连接件；
[0012]所述固定圈上设置有第一凹槽，所述第一碗底上部设有第二凹槽；
[0013]所述侧壁结构件沿竖向两端的凸起连接件分别与所述第一凹槽、所述第二凹槽相连接。
[0014]在其中一个实施例中，所述凸起连接件与所述第一凹槽、所述第二凹槽的连接处采用轴销或螺纹连接件固定。
[0015]在其中一个实施例中，所述嵌扣组件包括设置在第一碗底底部的限位部和过渡部，以及设置在第二碗底边沿的挂靠部和承靠部。
[0016]在其中一个实施例中，所述挂靠部为凸起结构，所述限位部为凹槽结构，所述挂靠部固定在所述限位部中；
[0017]所述过渡部与所述承靠部为具有一定倾斜角度的斜面，当所述挂靠部固定于上述限位部中时，所述过渡部与所述承靠部的斜面紧密贴合。
[0018]在其中一个实施例中，所述凸起连接件与所述第一凹槽、所述第二凹槽的连接处采用通丝螺杆连接。
[0019]在其中一个实施例中，所述埚壁、所述固定圈及所述埚碗均采用碳碳复合材料制成。
[0020]在其中一个实施例中，所述埚壁、所述固定圈及所述埚碗表面均涂覆有抗氧化层。
[0021]在其中一个实施例中，所述抗氧化层厚度为4μm至100μm。
[0022]与传统结构相比，本技术提供的可回收利用坩埚具有以下效果：
[0023]1.在整体坩埚报废后，可将未损毁部分加工为固定圈、侧壁及埚碗结构，以及将侧壁加工为多个可拼接的侧壁结构件；通过组合的方式得到完整的坩埚结构，同时，当组合坩埚部分报废后，再次将未报废部分拆卸下来循环再利用，解决了资源浪费问题，低碳环保。
[0024]2.通过第一碗底与第二碗底的设置，在埚碗部分报废的情况下，通过更换第一碗底或者第二碗底，从而保证坩埚在报废后，更多的部分可被回收利用。
附图说明
[0025]图1为本技术一实施例中可回收利用坩埚结构示意图；
[0026]图2为本技术中图1标识部分A放大示意图；
[0027]图3为本技术中图1标识部分B放大示意图；
[0028]图4为本技术一实施例中埚壁结构示意图
[0029]图5为本技术一实施例中侧壁结构件结构示意图；
[0030]图6为本技术一实施例中第一碗底结构示意图；
[0031]图7为本技术一实施例中第二碗底结构示意图。
[0032]附图标记说明：
[0033]固定圈1、第一凹槽11、第一连接孔12；
[0034]埚壁2、侧壁结构件20、拼接凹槽201、拼接凸起202、第一凸起连接件21、第二连接孔22、第二凸起连接件23、第三连接孔24；
[0035]第一碗底3、第二凹槽31、第四连接孔32、过渡部33、与限位部34；
[0036]第二碗底4、挂靠部41、承靠部42。
具体实施方式
[0037]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分
理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0038]术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0039]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0040]本技术所提供的可回收利用坩埚，主要是通过收集报废坩埚并筛选出有使用价值的部分，将有使用价值的部分进行分类，大致分为整体埚类a、埚碗类b、固定圈类c以及埚壁类d四大类。将上述已分类的报废坩埚进行不同的机械加工，针对整体埚类a中破损面积较小部分进行机械加工切割分离得到未破损的埚碗、埚壁或固定圈；针对埚碗类b和固定圈类c进行破本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可回收利用坩埚，包括埚壁、安装在所述埚壁上端的固定圈、以及安装在所述埚壁下端的埚碗，其特征在于：所述埚壁包括多个侧壁结构件，且所述侧壁结构件相互拼接；所述埚碗包括第一碗底和第二碗底；所述第一碗底为碗状结构，第二碗底通过嵌扣组件固定在所述第一碗底的底部；所述埚壁与所述固定圈之间、所述埚壁与所述埚碗之间均为可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的可回收利用坩埚，其特征在于，所述侧壁结构件为长条状弧形结构；在所述侧壁结构件沿横向的一侧设有拼接凸起，另一侧设有拼接凹槽；通过将所述拼接凸起固定在所述拼接凹槽内，使相邻两所述侧壁结构件之间相互固定。3.根据权利要求2所述的可回收利用坩埚，其特征在于，所述固定圈上设置有第一凹槽，所述第一碗底上部设有第二凹槽；在所述侧壁结构件沿竖向的两端分别设有凸起连接件；所述侧壁结构件沿竖向两端的凸起连接件分别与所述第一凹槽、所述第二凹槽相连接。4.根据权利要求3所述的可回收利用坩埚，其特征在于，所述凸起连接件与所述第一凹槽、所述第二凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺小娟，张资赫，伍盼阳，李猛，
申请(专利权)人：湖南金创新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：