本申请公开薄膜参数的获取方法、获取装置及终端设备。该方法包括：获取薄膜的函数关系式，函数关系式的自变量包括薄膜各层的厚度及光学常数，因变量包括薄膜的反射光偏振信息；将薄膜各层的厚度和光学常数的估计值代入函数关系式，得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值，薄膜的至少两层中各层的厚度估计值之间满足预设比例；当薄膜的反射光偏振信息的模拟值与薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值满足预设条件时，将薄膜各层的厚度的估计值作为厚度实际值，将薄膜各层的光学常数的估计值作为光学常数实际值。本申请方案通过满足预设比例的厚度估计值来拟合得到薄膜各层的光学常数和厚度的实际值，可以使计算出的厚度和光学常数的实际值更加准确。数的实际值更加准确。数的实际值更加准确。
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜参数的获取方法、获取装置及终端设备
[0001]本申请属于薄膜测量
，尤其涉及一种薄膜参数的获取方法、获取装置、终端设备及计算机可读存储介质。
技术介绍
[0002]椭圆偏振光谱是一种表面敏感、非破坏性和非侵入性的多层膜测量技术，它基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合获得薄膜样品的厚度以及光学常数。然而，在实际应用中往往会发现获得的厚度和光学常数并不准确。
技术实现思路
[0003]本申请提供了一种薄膜参数的获取方法、获取装置、终端设备及计算机可读存储介质，通过满足预设比例的厚度估计值来拟合得到薄膜各层的光学常数和厚度的实际值，可以使计算出的厚度和光学常数的实际值更加准确。
[0004]第一方面，本申请提供了一种薄膜参数的获取方法，包括：
[0005]获取薄膜的函数关系式，其中，函数关系式的自变量包括薄膜各层的厚度及各层的光学常数，函数关系式的因变量包括薄膜的反射光偏振信息；
[0006]将薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入函数关系式，计算得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值，其中，薄膜的至少两层中，各层的厚度的估计值之间满足预设比例；
[0007]当薄膜的反射光偏振信息的模拟值与薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值满足预设条件时，将薄膜各层的厚度的估计值作为厚度实际值，将薄膜各层的光学常数的估计值作为光学常数实际值。
[0008]可选地，在将薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入函数关系式，计算得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值之后，获取方法还包括：
[0009]当薄膜的反射光偏振信息的模拟值与薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值不满足预设条件时，对薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值5进行调整；
[0010]将各层厚度调整后的估计值确定为各层厚度新的估计值，各层光学常数调整后的估计值确定为各层光学常数新的估计值，返回执行将薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入函数关系式，计算得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值的步骤。
[0011]0可选地，对薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值进行调整，
[0012]包括：
[0013]利用梯度下降法对薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值进行调整。
[0014]可选地，预设条件包括：反射光偏振信息的模拟值与实验值的差值小于误5差阈值。
[0015]可选地，反射光偏振信息包括N、C和S；
[0016]其中，N＝cos2Ψ，C＝sin2ΨcosΔ，S＝sin2ΨsinΔ；
[0017]Ψ表示椭圆偏振光在薄膜表面的反射光的振幅比角，Δ表示椭圆偏振光在薄膜表面的反射光的相位差角。
[0018]0可选地，在将薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入函数关系式，计算得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值之前，获取方法还包括：
[0019]获取薄膜的至少两层中，各层分别对应的制作工艺的耗费时长；
[0020]根据各层分别对应的制作工艺的耗费时长，确定预设比例。
[0021]可选地，光学常数包括折射率和介电常数。
[0022]5第二方面，本申请提供了一种薄膜参数的获取装置，包括：
[0023]关系式获取单元，用于获取薄膜的函数关系式，其中，函数关系式的自变量包括薄膜各层的厚度及各层的光学常数，函数关系式的因变量包括薄膜的反射光偏振信息；
[0024]估计值计算单元，用于将薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入函数关系式，计算得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值，其中，薄膜的至少两层中，各层的厚度的估计值之间满足预设比例；
[0025]实际值确定单元，用于当薄膜的反射光偏振信息的模拟值与薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值满足预设条件时，将薄膜各层的厚度的估计值作为厚度实际值，将薄膜各层的光学常数的估计值作为光学常数实际值。
[0026]第三方面，本申请提供了一种终端设备，上述终端设备包括存储器、处理器以及存储在上述存储器中并可在上述处理器上运行的计算机程序，上述处理器执行上述计算机程序时实现如上述第一方面的方法的步骤。
[0027]第四方面，本申请提供了一种计算机可读存储介质，上述计算机可读存储介质存储有计算机程序，上述计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面的方法的步骤。
[0028]第五方面，本申请提供了一种计算机程序产品，上述计算机程序产品包括计算机程序，上述计算机程序被一个或多个处理器执行时实现如上述第一方面的方法的步骤。
[0029]本申请与现有技术相比存在的有益效果是：本申请方案首先获取待测量的薄膜的函数关系式(即建立好的模型)，然后，将薄膜各层的厚度和光学常数的估计值代入到函数关系式中，可以得到薄膜的反射光偏振信息的模拟值，当薄膜的反射光偏振信息的模拟值与薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值满足预设条件时，将薄膜各层的厚度的估计值作为厚度实际值，将薄膜各层的光学常数的估计值作为光学常数实际值。与相关技术不同的是，本申请方案预先基于薄膜的制作工艺信息确定了该薄膜中某些层之间厚度的比例关系。通过满足预设比例的厚度估计值来拟合得到薄膜各层的光学常数和厚度的实际值，可以使计算出的厚度和光学常数的实际值更加准确。
[0030]可以理解的是，上述第二方面至第五方面的有益效果可以参见上述相关描述，在此不再赘述。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附
图获得其他的附图。
[0032]图1是本申请实施例提供的薄膜参数的获取方法的应用环境示意图；
[0033]图2是本申请实施例提供的薄膜参数的获取方法的实现流程示意图；
[0034]图3是本申请实施例提供的薄膜参数的获取装置的示意图；
[0035]图4是本申请实施例提供的终端设备的结构框图。
具体实施方式
[0036]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。
[0037]为了说明本申请实施例所提出的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
[0038]下面对本申请申请实施例提供的一种薄膜参数的获取方法的应用环境进行描述。请参阅图1，该薄膜参数的获取方法的应用环境包括：
[0039]椭圆偏振光谱仪，该椭圆偏振光谱仪包括光源和探测器，其中，光源用于发射光线。光源发射的光线经薄膜样品反射后，被探测器接收。探测本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种薄膜参数的获取方法，其特征在于，包括：获取薄膜的函数关系式，其中，所述函数关系式的自变量包括所述薄膜各层的厚度及各层的光学常数，所述函数关系式的因变量包括所述薄膜的反射光偏振信息；将所述薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入所述函数关系式，计算得到所述薄膜的反射光偏振信息的模拟值，其中，所述薄膜的至少两层中，各层的厚度的估计值之间满足预设比例；当所述薄膜的反射光偏振信息的模拟值与所述薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值满足预设条件时，将所述薄膜各层的厚度的估计值作为厚度实际值，将所述薄膜各层的光学常数的估计值作为光学常数实际值。2.如权利要求1所述的获取方法，其特征在于，在所述将所述薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入所述函数关系式，计算得到所述薄膜的反射光偏振信息的模拟值之后，所述获取方法还包括：当所述薄膜的反射光偏振信息的模拟值与所述薄膜的反射光偏振信息的实验值的差值不满足所述预设条件时，对所述薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值进行调整；将各层厚度调整后的估计值确定为各层厚度新的估计值，各层光学常数调整后的估计值确定为各层光学常数新的估计值，返回执行所述将所述薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值代入所述函数关系式，计算得到所述薄膜的反射光偏振信息的模拟值的步骤。3.权利要求2所述的获取方法，其特征在于，所述对所述薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值进行调整，包括：利用梯度下降法对所述薄膜各层的厚度的估计值和各层的光学常数的估计值进行调整。4.如权利要求1所述的获取方法，其特征在于，所述预设条件包括：所述反射光偏振信息的模拟值与所述实验值的差值小于误差阈值。5.如权利要求4所述的获取方法，其特征在于，所述反射光偏振信息包括N、C...
【专利技术属性】
技术研发人员：王帅，韩玉永，张宇帆，张雪娜，洪峰，
申请(专利权)人：深圳市埃芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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