一种电子束自加热样品台制造技术

本发明专利技术公开了一种电子束自加热样品台，包括底座、样品支撑台；底座包括中空的底座主体以及与底座主体的内壁连接且延垂直于底座主体方向单侧延伸形成的中空的托架；样品支撑台为中空结构，包括中空的样品台以及中空的连接立柱，连接立柱设置于样品台底部；托架套设于连接立柱外侧；底座主体、连接立柱与样品台的中空部分形成供电子束通过的通道。本发明专利技术提供的样品台能够保证穿过样品的电子束不会被反射到测试样品以及测量热桥上，提高测试的精准度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束自加热样品台


[0001]本专利技术涉及扫描电镜
，尤其涉及一种电子束自加热样品台。

技术介绍

[0002]电子束自加热测试作为一种微纳尺度热传导测量方式，因其能获得纳米尺度空间分辨率的热阻分布而得到广泛关注。电子束自加热测试法最早由新加坡国立大学JohnT.L.Thong教授和李保文教授小组提出。该方法对热桥法进行改进，采用电子束局部加热样品，测量热桥两端温度变化，从而获得具有纳米级别的空间分辨率的样品热阻信息[非专利文献1]。该方法通过非接触的电子束加热模式，避免了热扫描显微镜技术中探针与样品接触所带来的接触热阻影响，同时也规避了热桥法中样品与悬空平台之间的接触热阻造成的实验误差。该测试方法的关键在于扫描电子显微镜中用聚焦的电子束加热悬空样品。因此，需要避免电子束穿透悬空样品后被下方的衬底散射到测试样品以及测量热桥上。对此，该测试需要样品悬空以及测试器件样品台提供尽可能长的电子束透过通道避免散射造成测试误差。
[0003]目前的大多数扫描电子显微镜样品台均为针对普通形貌观测的平面样品台，均未能满足电子束自加热测试所需的电子束透过通道以及配合测试器件电路连接的样品台需求。
[0004]非专利文献1：D.Liu,R.Xie,N.Yang,B.Li,andJ.T.L.Thong,“Profiling NanowireThermalResistancewithaSpatialResolutionofNanometers,”NanoLett.,vol.14,no.2,p.806,2014.<br/>
技术实现思路

[0005]针对上述技术问题，本专利技术提供一种用于扫描电镜的电子束自加热样品台。该样品台提供的电子束透过通道，可以保证穿过样品的电子束不会被反射到测试样品以及测量热桥上，提高测试的精准度。
[0006]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0007]本专利技术提供一种电子束自加热样品台，包括底座、样品支撑台；所述底座包括中空的底座主体以及与底座主体的内壁连接且延垂直于所述底座主体方向单侧延伸形成的中空的托架；所述样品支撑台为中空结构，包括中空的样品台以及中空的连接立柱，所述连接立柱设置于所述样品台底部；所述托架套设于连接立柱外侧；所述底座主体、所述连接立柱与所述样品台的中空部分形成供电子束通过的通道。
[0008]作为优选地实施方式，所述通道的截面为圆形；
[0009]优选地，所述圆形截面的直径≥2mm，且≤5mm；
[0010]优选地，所述通道的长度≥20mm，且≤30mm；
[0011]作为优选地实施方式，所述托架嵌套于连接立柱外侧；
[0012]优选地，所述托架的高度与所述连接立柱的高度一致。
[0013]作为优选地实施方式，还包括用于紧固所述连接立柱和托架的紧固组件；
[0014]优选地，所述紧固组件包括紧固螺钉；所述托架的侧壁上设置有至少两个通孔，所述紧固螺钉设置于通孔内，所述紧固螺钉的圆柱端与连接立柱的侧面抵接；
[0015]优选地，所述至少两个通孔相对于托架的轴心呈对称分布；
[0016]优选地，所述至少两个通孔的高度在所述托架的高度的三分之一到三分之二处；
[0017]优选地，所述紧固螺钉为内六角凹端紧定螺钉。
[0018]作为优选地实施方式，所述底座主体的侧面开设有至少两个U型槽；
[0019]优选地，所述至少两个U型槽呈对称分布；
[0020]优选地，所述U型槽内设置有固定螺丝。
[0021]作为优选地的实施方式，还包括设置于所述样品台上表面的样品夹持组件；
[0022]优选地，所述样品夹持组件为弹性组件；所述弹性组件包括固定端和夹持端；所述固定端通过螺母固定于所述样品台的上表面，所述夹持端延垂直于所述样品台上表面的方向抵压样品台上所承载的待测样品；
[0023]优选地，所述样品夹持组件包括至少两组弹性组件；
[0024]优选地，所述至少两组弹性组件呈对称分布；
[0025]优选地，所述弹性组件为弹簧片。
[0026]上述技术方案具有如下优点或者有益效果：
[0027]本专利技术提供的电子束自加热样品台通过底座主体、连接立柱与样品台的中空部分为电子束提供透过通道，保证穿过样品的电子束不会被反射到测试样品以及测量热桥上而引起测试误差；
[0028]本专利技术提供的电子束自加热样品台通过底座与样品支撑台的嵌套连接，可以灵活调节样品台的平面方向，方便测试人员连接测试器件的电路；
[0029]本专利技术提供的电子束自加热样品台上还可以开设具有一定长度的U型槽，搭配固定螺丝后，可通过调节固定螺丝在U型槽内的位置，灵活适配不同底座尺寸的扫描电镜。
附图说明
[0030]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本专利技术的主旨。
[0031]图1是本专利技术实施例1提供的电子束自加热样品台的结构示意图；
[0032]图2是本专利技术实施例1提供的电子束自加热样品台的底座的结构示意图；
[0033]图3是本专利技术实施例1提供的电子束自加热样品台的底座的主视图和俯视图；
[0034]图4是本专利技术实施例1提供的电子束自加热样品台的样品支撑台的结构示意图；
[0035]图5是本专利技术实施例1提供的电子束自加热样品台的样品支撑台的三视图；
[0036]图中所示：1
‑
底座、2
‑
样品支撑台、3
‑
底座主体、4
‑
托架、5
‑
样品台、6
‑
连接立柱、(7
‑
1、7
‑
2)
‑
通孔、(8
‑
1、8
‑
2、8
‑
3)
‑
U型槽、9
‑
样品夹持组件、(9
‑
1、9
‑
2)
‑
弹簧片、10
‑
固定端、11
‑
夹持端、(12
‑
1、12
‑
2)
‑
螺母、13
‑
待测样品。
具体实施方式
[0037]下面结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的说明，显然所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对附图中提供的本专利技术实施例中的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术的保护范围。
[0038]在本专利技术的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束自加热样品台，其特征在于，包括底座、样品支撑台；所述底座包括中空的底座主体以及与底座主体的内壁连接且延垂直于所述底座主体方向单侧延伸形成的中空的托架；所述样品支撑台为中空结构，包括中空的样品台以及中空的连接立柱，所述连接立柱设置于所述样品台底部；所述托架套设于连接立柱外侧；所述底座主体、所述连接立柱与所述样品台的中空部分形成供电子束通过的通道。2.根据权利要求1所述的电子束自加热样品台，其特征在于，所述通道的截面为圆形；优选地，所述圆形截面的直径≥2mm，且≤5mm；优选地，所述通道的长度≥20mm，且≤30mm。3.根据权利要求1所述的电子束自加热样品台，其特征在于，所述托架嵌套于连接立柱外侧；优选地，所述托架的高度与所述连接立柱的高度一致。4.根据权利要求1所述的电子束自加热样品台，其特征在于，还包括用于紧固所述连接立柱和托架的紧固组件。5.根据权利要求4所述的电子束自加热样品台，其特征在于，所述紧固组件包括紧固螺钉；所述托架的侧壁上设置有至少两个通孔，所述紧固螺钉设置于通孔内，所述紧固螺钉...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏雪，么依民，韩猛，叶振强，
申请(专利权)人：深圳先进电子材料国际创新研究院，
类型：发明
国别省市：