一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法技术

技术编号:37376818 阅读:13 留言:0更新日期:2023-04-27 07:19
本发明专利技术公开了一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,将适量球形二氧化硅微粉放入熔化的树脂里面,放入磨具圆筒中,将磨具圆筒放在压样机里将混合物压制成柱状,将柱状样品取出后在抛光机上用抛光砂片进行抛光,抛光时用水冲洗,抛光好的样品放入烘箱内烘干,将烘干后的样品在场发射扫描电镜内观察其抛光面,可以清晰的观察到球形二氧化硅微粉颗粒内部的微光结构。颗粒内部的微光结构。颗粒内部的微光结构。

【技术实现步骤摘要】
一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法


[0001]本专利技术术语物理检测分析领域,具体涉及一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法。

技术介绍

[0002]球形二氧化硅微粉由于具有高介电性、高耐热、高耐湿、高填充量、低膨胀、低应力、低杂质、低摩擦系数等优越性,在大规模集成电路封装,在航空、航天、精细化工、可擦写光盘,大面积电子基板、特种陶瓷及日用化妆品等高新
等有广泛的应用。球形二氧化硅微粉也是优质的填充材料,在环氧树脂体系中作为填料后,可节约30%的环氧树脂,市场前景十分广阔。随着我国电子信息的快速发展,手机、电脑等越来越多的电子信息产品的产销量开始进入世界前列,带动了我国集成电路市场规模的不断扩大,球形二氧化硅微粉在大规模、超大规模集成电路的基板和封装料中成为不可缺少的优质材料。目前制备球形二氧化硅微粉的方法主要有化学气相法、化学沉淀法、高频等离子法、高温熔融喷射法和溶胶凝胶法等化学制备方法。目前科研工作者在研究熔融球形二氧化硅微粉的制备方法及其球形颗粒的表面形貌研究上投入了很大的精力,但在熔融球形二氧化硅微粉颗粒的内部的微观结构尚未见研究。研究球形二氧化硅微粉的微观结构可以总结出球形二氧化硅微粉的球形机理,可以指导球形二氧化硅微粉生产企业改进生产技术,提高产品质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,能方便快捷的观察并分析球形二氧化硅微粉颗粒内部的微观结构。
[0004]为解决上述问题,本专利技术所采用的技术方案是:一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,包括以下步骤:
[0005]在>180℃的温度下熔化树脂。
[0006]进一步地,在熔化的树脂里面加入适量球形二氧化硅微粉,并搅拌均匀。
[0007]进一步地,将搅拌均匀的树脂、球形二氧化硅微粉混合物放入直径为10mm、高度为50mm的磨具圆筒中。
[0008]进一步地,将磨具圆筒放在压样机下在20MP的压力下,将树脂、球形二氧化硅微粉混合物压制成柱状。
[0009]进一步地,将圆柱从磨具中取出,在抛光机上用1000目的砂片抛光,并在抛光时用水冲洗。
[0010]进一步地,将抛光后的圆柱在120℃的烘箱内烘干。
[0011]进一步地,将烘干后的圆柱样品在场发射扫描电镜内观察球形二氧化硅微粉颗粒内部的微观结构。
[0012]本专利技术具有如下效果:
[0013]将球形二氧化硅微粉与树脂混合凝固成柱状,可以固定球形二氧化硅微粉颗粒,
便于观察。
[0014]将柱状样品在抛光机上打磨抛光,可以部分磨掉球形二氧化硅微粉颗粒,展示出其内部,抛光时用水清洗,可以将抛光面清洗干净,便于在场发射扫面电镜下用不同倍数观察。
附图说明
[0015]图1是本专利技术放大1000倍的场发射扫描电镜图片。
[0016]图2是本专利技术放大5000倍的场发射扫描电镜图片。
具体实施方式
[0017]下面结合实施例来进一步说明本专利技术,但本专利技术要求保护的范围并不局限于实施例表述的范围。
[0018]实施例1
[0019]将适量球形二氧化硅微粉放入在>180℃的温度下熔化的树脂里面,放入直径为10mm、高度为50mm的磨具圆筒中,将磨具圆筒放在压样机里在20MP的压力下压制成柱状,将柱状样品取出后在抛光机上用1000目的抛光砂片抛光,抛光时用水冲洗,抛光好的样品在120℃的烘箱内烘干,将烘干后的样品在场发射扫描电镜内观察抛光面。如图1、图2所示,可以清晰的观察球形二氧化硅微粉颗粒的内部微观结构。
[0020]以上具体实施方式仅用以说明本专利技术的技术方案而非限制,尽管参照实施列对本专利技术进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本专利技术的技术方案进行修改或者同等替换,而不脱离本专利技术技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本专利技术的权利要求范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种观察球形硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,其特征在于,包括以下步骤:将适量球形二氧化硅微粉放入熔化的树脂里面,放入磨具圆筒中,将磨具圆筒放在压样机里将混合物压制成柱状,将柱状样品取出后在抛光机上用抛光砂片进行抛光,抛光时用水冲洗,抛光...

【专利技术属性】
技术研发人员:李建德徐艳艳赵秀芳蒋丽微张鹏舒敏娣丰丹丹张誉文许帆高丽荣胡静
申请(专利权)人:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海研究院
类型:发明
国别省市:

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