干式气体洗涤器制造技术

公开了一种用于干式气体洗涤器的装置。用于干式气体洗涤器的装置包括：冷却腔室，所述冷却腔室由壳体限定，所述壳体具有用于接收排出流以供所述干式气体洗涤器处理的入口、用于提供所述排出流以供所述干式气体洗涤器处理的出口、以及在所述腔室内的至少一个冷却板，所述冷却板与所述壳体热耦合并被构造成当所述排出流从所述入口流动到所述出口时使所述排出流的流动方向偏离。以此方式，冷却腔室介于加工工具与干式气体洗涤器的树脂腔室之间，并且操作以在将排出流输送至树脂腔室之前冷却排出流。以这种方式冷却排出流有助于改善树脂的性能，即使当排出流处于升高的温度下时。即使当排出流处于升高的温度下时。即使当排出流处于升高的温度下时。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干式气体洗涤器


[0001]本专利技术的领域涉及用于干式气体洗涤器的装置。

技术介绍

[0002]干式气体洗涤器是已知的。干式气体洗涤器通常用于处理来自半导体加工工具的排出流。干式气体洗涤器进行干燥树脂消减以消减容易吸附树脂上的材料并与树脂上的材料进行反应的气体。尽管存在这种干式洗涤器，但是它们各自具有它们自身的缺点。因此，期望提供一种改进的干式气体洗涤器。

技术实现思路

[0003]根据第一方面，提供了一种用于干式气体洗涤器的装置，包括：冷却腔室，所述冷却腔室由壳体限定，所述壳体具有用于接收排出流以供所述干式气体洗涤器处理的入口、用于提供所述排出流以供所述干式气体洗涤器处理的出口以及在所述腔室内的至少一个冷却板，所述冷却板与所述壳体热耦合并被构造成当所述排出流从所述入口流动到所述出口时使所述排出流的流动方向偏离。
[0004]第一方面认识到现有装置的问题在于，排出流可在升高的温度下到达干式气体洗涤器。该升高的温度可损害或降低干式气体洗涤器的有效性。因此，提供了一种装置。该装置可以用于干式气体洗涤器。该装置可包括冷却腔室。冷却腔室可以由壳体或外壳限定。壳体可以具有入口。入口可以接收待由干式气体洗涤器处理的排出流。壳体可具有出口，该出口提供待由干式气体洗涤器处理的排出流。壳体可具有定位在冷却腔室内的一个或多个冷却板。冷却板可以与壳体热耦合。也就是说，冷却板可以提供到壳体的导热路径。当排出流从入口行进至出口时，冷却板可偏离、改变或更改排出流在冷却腔室内的流动方向。以此方式，冷却腔室介于加工工具与干式气体洗涤器的树脂腔室之间，并且操作以在将排出流输送至树脂腔室之前冷却所述排出流。以这种方式冷却排出流有助于改善树脂的性能，即使当排出流处于升高的温度下时。
[0005]冷却腔室可以包括多个冷却板。增加冷却板的数量可以提高冷却腔室的冷却效率。
[0006]冷却板可沿着排出流在从入口流动到出口时的流动方向定位。
[0007]冷却板可以至少部分地延伸跨过所述腔室以提供无阻碍部分，从而便于从入口到出口的流动。
[0008]相邻的冷却板可至少部分地沿相反的方向延伸跨过所述腔室，以提供相反的无阻碍部分，从而偏离从入口至出口的流动方向。
[0009]冷却板可构造成至少部分地提供从入口到出口的蜿蜒流动方向。这有助于增加排出流在冷却腔室内的停留时间，并增加与排出流的热接触以改善排出流的冷却。
[0010]壳体可以是圆柱形的，并且冷却板可以至少部分地由圆扇形区段限定。
[0011]壳体可以包括至少部分地在入口和出口之间延伸的内部导管。提供内部导管有助
于进一步增强排出流的冷却。
[0012]内部导管可被定位成将从入口流到出口的排出流分成围绕冷却板流动的第一流和流过内部导管的第二流。
[0013]冷却板可以在内部管道和壳体之间延伸，以在内部管道和壳体之间提供热路径。
[0014]内部导管可包括靠近入口的至少一个入口孔口和靠近出口的至少一个出口孔口，以便于第二流从入口流动到出口。
[0015]所述至少一个孔口可以定向成促进第二流在远离出口的方向上流动。
[0016]至少一个孔口可定向成便于第二流在横向于第一流的流动方向的方向上流动。这有助于改善第一流和第二流的混合，以便进一步增强整体冷却。
[0017]所述至少一个孔口定位成首先将第一流和第二流重新会聚成流至出口的单个流。
[0018]内部导管可包括盲管，该盲管具有靠近出口的盲端，该盲端与壳体热耦合，以在内部导管和壳体之间提供热路径。这有助于通过提高内部管道和壳体之间的导热性来改善排出流的冷却。
[0019]至少一个孔口可以定位成靠近盲端。
[0020]冷却腔室可以包括与壳体热耦合的至少一个冷却翅片。这有助于改善壳体的冷却。
[0021]该装置可包括具有至少一个过滤器的粉末捕集器，该粉末捕集器位于冷却腔室的下游。
[0022]粉末捕集器可包括位于其外表面上的至少一个冷却翅片。
[0023]所述装置可包括树脂腔室，所述树脂腔室位于所述粉末捕集器的下游。
[0024]在所附独立和从属权利要求中阐述了进一步的特定和优选方面。从属权利要求的特征可以与独立权利要求的特征适当地组合，并且可以与除了在权利要求中明确阐述的那些组合之外的组合进行组合。
[0025]在装置特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将理解，这包括提供该功能或者被适配或构造成提供该功能的装置特征。
附图说明
[0026]现在将参考附图进一步描述本专利技术的实施例，在附图中：
[0027]图1示意性地示出了根据一个实施例的气体洗涤器的主要部件；
[0028]图2示出了根据一个实施例的冷却模块310；以及
[0029]图3更详细地示出了过滤器模块320。
具体实施方式
[0030]在任何更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。实施例提供了干式气体洗涤器的装置或部件。一种装置是设置在壳体或外壳内的冷却腔室，其输送待由干式气体洗涤器处理的排出流。冷却腔室具有一个或多个冷却板，所述冷却板与壳体热耦合并且偏离或改变流过冷却腔室的排出流的流动方向。这有助于增加排出流在其通过冷却腔室时的停留时间，这有助于将排出流冷却至更适合于树脂在干式气体洗涤器中的操作温度的温度。冷却板与壳体热耦合，以帮助改善从排出流到环境大气的热传导。冷却腔室可设置有在冷却
腔室内延伸的中心导管，其为排出流提供单独的流动路径，有效地将排出流分成两个流，一个流穿过中心导管，并且另一个流与冷却板相互作用。通过中心导管的排出流的部分通常比排出流的其余部分更热。中心导管还与壳体热耦合，并且通常与冷却板热耦合，以促进从排出流经由内部导管到壳体的热传递，这又有助于在排出流穿过冷却腔室时改善对排出流的冷却。离开导管的排出流通常被布置成与流过冷却板的排出流相交，以在排出流流出冷却腔室之前引起湍流并增加混合。冷却的排出流从冷却腔室提供至下游粉末捕集器，其有助于捕集冷却的排出流内的粉末或特定物质，过滤冷却的排出流，并且在排出流输送至干式气体洗涤器之前通过排出流与粉末捕集器之间的热传导进一步冷却排出流。因此，粉末捕集器的存在有助于减少可能损害干式气体洗涤器内的树脂的效率的颗粒物质或粉末的量，以及有助于在将排出流输送至干式气体洗涤器之前进一步冷却排出流，这有助于改善树脂的性能。
[0031]干式气体洗涤器
[0032]图1示意性地示出了根据一个实施例的气体洗涤器的主要部件。排出流被供应到入口100，并且在三通阀110的控制下，所供应的排出流被分成主工艺流200和旁路流300。当以主工艺流程200操作时，将排出流供应至主罐230。供给到主罐230的排出流通过安装在下方的冷却单元210被冷却。由冷却单元210产生的粉末由粉末捕集器220收集，并且排出流移动到上部树脂腔室。排出流被内部的树脂吸附并被排放到出口400。为了便于主罐230的维修，可以操作三通阀以激活旁路流300，在该处气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于干式气体洗涤器的装置，包括：冷却腔室，所述冷却腔室由壳体限定，所述壳体具有：入口，用于接收供所述干式气体洗涤器处理的排出流，出口，用于提供所述排出流以供所述干式气体洗涤器处理，以及在所述腔室内的至少一个冷却板，所述冷却板与所述壳体热耦合并且构造成当所述排出流从所述入口流动到所述出口时偏离所述排出流的流动方向。2.根据权利要求1所述的装置，包括多个冷却板。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述冷却板沿着所述排出流在从所述入口流动到所述出口时的所述流动方向定位。4.根据权利要求2或3所述的装置，其中，所述冷却板至少部分地延伸跨过所述腔室，以提供无阻碍部分，以便于从所述入口到所述出口的流动。5.根据权利要求2至4中任一项所述的装置，其中，相邻的冷却板至少部分地在所述腔室上相反地延伸，以提供相反的无阻碍部分，所述相反的无阻碍部分使从所述入口至所述出口的所述流动方向偏离。6.根据权利要求2至5中任一项所述的装置，其中，所述冷却板构造成至少部分地提供从所述入口到所述出口的蜿蜒流动方向。7.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述壳体包括至少部分地在所述入口与所述出口之间延伸的内部导管。8.根据权利要求7所述的装置，其中所述内部导管被定位成将从所述入口流动到所...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢明根，赵显闰，S，
申请(专利权)人：CSK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：