洗涤器燃烧器制造技术

本发明专利技术提出一种洗涤器燃烧器，其包括：预加热喷射环，所述预加热喷射环由具有一定厚度的多孔材料形成，并且在形成在内部的预加热燃烧空间中预加热和喷射燃料气体；预加热引导环，所述预加热引导环配备有多个预加热引导孔，所述多个预加热引导孔包围上述预加热喷射环的外周向部分，并且从外周向部分穿透到内周向部分；以及预加热燃烧器模块，所述预加热燃烧器模块配备有壳体，所述壳体形成环形气体通道，所述环形气体通道与上述预加热引导环的外周向部分分离，并且上述燃料气体流过所述环形气体通道。气体通道。气体通道。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】洗涤器燃烧器


[0001]本专利技术涉及一种与用于处理在电子工业过程期间产生的排放气体的加热式洗涤器一起使用的洗涤器燃烧器。
[0002]本专利技术的
技术介绍

[0003]在诸如半导体生产过程、LCD生产过程和OLED生产过程的电子工业过程中产生的排放气体由VOC、PFC气体、水和其他物质组成。尤其是，PFC气体是在半导体蚀刻过程和化学沉积过程期间产生的气体组份中的一者，并且已知促进全球变暖。另外，PFC气体是化学上非常稳定的气体，并且已知当在处理期间时不分解。排放气体中包含的PFC气体由洗涤器使用加热方法、粘附方法或等离子体方法处理。
[0004]上述加热方法是处理PFC气体的最常用方法。借助常规的加热方法，排放气体使用氧气作为氧化剂在1300℃或以上被加热和分解，因此排放气体中包含的氮气和氧气发生反应并产生大量氮氧化物，其是有害物质。此外，由于排放气体中包含的氮氧化物的排放标准的加强，因此减少氮氧化物变得有必要。

技术实现思路

[0005][待解决的问题][0006]本专利技术提供一种提高排放气体处理中的火焰稳定性和效率的洗涤器燃烧器。
[0007][解决问题的方法][0008]为了实现上述目的，根据本专利技术的洗涤器燃烧器由具有一定厚度的多孔材料组成，并且包括：预加热喷射环，所述预加热喷射环在形成在内部的预加热燃烧空间中预加热燃料气体并喷射所述燃料气体；预加热引导环，所述预加热引导环配备有从外周向部分穿透到内周向部分的多个引导孔；以及预加热燃烧器模块，所述预加热燃烧器模块与上述预加热引导环的外周向部分分离以形成呈环的形状的气体通道，上述燃料气体流过所述气体通道。此时，上述预加热引导环的内周向部分可以与上述预加热喷射环的外周向部分进行接触。
[0009]另外，上述预加热喷射环由多孔结构形成，并且可以由穿孔板、金属纤维、金属泡沫、填充珠、陶瓷泡沫、纳米尺寸多孔介质或多孔烧结金属形成。
[0010]另外，上述预加热燃烧器模块由至少两个层形成，并且上述预加热燃烧器模块可以以不同混合比喷射具有不同组份或燃料气体的燃料气体。
[0011]另外，上述洗涤器燃烧器位于上述预加热燃烧器模块的上部部分或下部部分处，并且形成从外周向部分穿透到内周向部分的多个喷射孔，并且可以进一步包括：混合喷射环，所述混合喷射环将混合燃料气体喷射到形成在内部的混合燃烧空间；混合引导环，所述混合引导环配备有从外周向部分穿透到内周向部分的多个混合引导孔；以及混合燃烧器模块，所述混合燃烧器模块与上述混合引导环的外周向部分分离并且配备有混合壳体，所述混合壳体形成呈环的形状的混合气体通道，上述混合燃料气体流过所述混合气体通道。此处，上述混合燃烧空间可以与上述预加热燃烧空间连接。
[0012]另外，上述混合燃烧器模块可以由至少两个层形成。
[0013]另外，所述洗涤器燃烧器位于上述预加热燃烧器模块的下部部分处或混合燃烧器模块的下部部分处，并且配备有下部喷射环的下部喷射模块可以被进一步包括，所述下部喷射环将下部燃料气体喷射到连接到上述预加热燃烧空间或混合燃烧空间的下部燃烧空间。
[0014]另外，上述下部喷射模块进一步包括下部壳体，所述下部壳体包围上述下部燃烧空间的外周向部分，在所述下部壳体上形成上述下部燃料气体流过的环形下部气体通道，并且配备有从外周向部分穿透到上述下部气体通道的下部外孔，并且上述下部喷射环位于上述下部气体通道的内侧处，并且可以包括喷射上述下部燃料气体的下部喷射孔。
[0015]另外，上述下部喷射模块配备有分离所述第一下部气体通道与所述第二下部气体通道的下部分离面板，并且上述下部外壁孔和上述下部喷射孔可以分别连接到上述第一下部气体通道和所述第二下部气体通道。
[0016]另外，所述洗涤器燃烧器可以进一步包括燃烧器，所述燃烧器预加热具有燃料达到条件(fuel reach condition)的混合气体、并且然后将所述气体重整为具有氢气达到条件(hydrogen reach condition)的混合气体以喷射到上述预加热燃烧空间。
[0017]另外，上述燃烧器形成有上部部分和下部部分开口的呈管的形状的壳体，并且由多孔材料形成，并且形成有位于上述壳体的内侧的上部部分处以预加热具有燃料达到条件的上述混合气体以及多孔材料的预加热层，并且可以包括将具有燃料达到条件的上述混合气体重整为具有氢气达到条件的上述混合气体的重整层。
[0018]另外，根据本专利技术的一实施例的洗涤器燃烧器包括：主燃烧器模块，所述主燃烧器模块将主燃料气体喷射到形成在内部的主燃烧空间；上部封头模块(upper head module)，所述上部封头模块位于上述主燃烧器模块的上部部分处以将废气供应到上述主燃烧空间，并且包括在底部处开口的燃烧器容纳凹槽以及配备有将上部燃料气体供应到上述燃烧器容纳凹槽的上部燃料供应通道的上部封头；以及上部燃烧器模块，所述上部燃烧器模块封闭上述燃烧器容纳凹槽的下部部分以在上部部分处形成上部气体通道，并且配备有将上部燃料气体供应到上述主燃烧空间的上部喷射面板。
[0019]另外，上述上部喷射面板由具有一定厚度的多孔材料组成，并且可以具有从上侧穿透到下侧的多个孔。
[0020]另外，上述上部封头配备有从外部上侧穿透到下侧的反向膨胀容纳封头通道，并且可以进一步包括穿透上述反向膨胀容纳封头通道并且暴露至上述上部封头的下侧的反向膨胀燃烧器。
[0021]另外，上述上部喷射面板配备有从上侧穿透到下侧的反向膨胀容纳喷射通道，并且上述反向膨胀燃烧器可以穿透上述反向膨胀容纳喷射通道并且在上述上部封头的下侧下方暴露。
[0022]另外，上述反向膨胀燃烧器可以包括配备有呈管的形状的第一主体的第一喷嘴、配备有被定位成包围上述第一主体的外周向部分的第二主体的第二喷嘴以及配备有被定位成包围上述第二主体的外周向部分的第三主体的第三喷嘴。
[0023]另外，上述第一喷嘴可以喷射氧化剂，上述第二喷嘴可以喷射燃料或其中燃料与氧化剂混合的混合气体，并且上述第三喷嘴可以喷射具有氧化剂的混合气体或其中燃料与
氧化剂混合的混合气体。
[0024]另外，上述洗涤器燃烧器可以进一步包括定位在上述主体与第二主体之间以维持上述第一主体与第二主体之间的分离空间的第一分离部件以及定位在上述第二主体与第三主体之间以维持上述第二主体与第三主体之间的分离距离的第二分离部件。
[0025][本专利技术的效果][0026]根据本专利技术的洗涤器燃烧器由混合燃烧器模块和预加热燃烧器模块组成，所述混合燃烧器模块和预加热燃烧器模块具有竖直分层的不同结构，以增加火焰稳定性和排放气体处理效率。
[0027]另外，关于根据本专利技术的洗涤器燃烧器，不同地调节供应到混合燃烧器模块的氧化剂的类型和量和供应到预加热燃烧器模块的氧化剂的类型和量以及供应到每一模块的燃料的量以增加处理排放气体的效率。
[0028]另外，关于根据本专利技术的洗涤器燃烧器，配备有多孔喷射环的至少两个预加热燃烧器模块根据流入半导体工艺的排放气体的组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种洗涤器燃烧器，其包括：预加热喷射环，所述预加热喷射环由具有一定厚度的多孔材料形成，并且在形成在内部的预加热燃烧空间中预加热和喷射燃料气体；预加热引导环，所述预加热引导环配备有多个预加热引导孔，所述多个预加热引导孔包围上述预加热喷射环的外周向部分，并且从外周向部分穿透到内周向部分；以及预加热燃烧器模块，所述预加热燃烧器模块配备有壳体，所述壳体形成环形气体通道，所述环形气体通道与上述预加热引导环的外周向部分分离，并且上述燃料气体流过所述环形气体通道。2.根据权利要求1所述的洗涤器燃烧器，其中上述预加热引导环的内周向部分与上述预加热喷射环的外周向部分接触。3.根据权利要求1所述的洗涤器燃烧器，其中上述预加热喷射环是由穿孔板、金属纤维、金属泡沫、填充珠、陶瓷泡沫、纳米尺寸多孔介质或多孔烧结金属形成的多孔结构。4.根据权利要求1所述的洗涤器燃烧器，其中存在分层的至少两个预加热燃烧器模块，并且其中上述预加热燃烧器模块以不同混合比喷射不同组份或燃料气体。5.根据权利要求1所述的洗涤器燃烧器，其进一步包括混合燃烧器模块，所述混合燃烧器模块配备有：混合喷射环，所述混合喷射环位于上述预加热燃烧器模块的上部部分或下部部分处，所述混合喷射环上形成从外周向部分穿透到内周向部分的多个喷射孔，并且所述混合喷射环在形成在内侧处的混合燃烧空间中喷射混合燃料气体；混合引导环，所述混合引导环与上述预加热喷射环的外周向部分分离，并且配备有从外周向部分穿透到内周向部分的多个引导孔；以及混合壳体，所述混合壳体与上述混合引导环的外周向部分分离以形成混合气体通道，上述混合燃料气体流过所述混合气体通道。6.根据权利要求5所述的洗涤器燃烧器，其中上述混合燃烧空间连接到上述预加热燃烧空间。7.根据权利要求5所述的洗涤器燃烧器，其中存在分层的至少两个混合燃烧器模块。8.根据权利要求5所述的洗涤器燃烧器，其进一步包括下部喷射模块，所述下部喷射模块位于上述预加热燃烧器模块或位于相对低部分处的混合燃烧器模块的下部部分处，并且在内部配备有下部喷射环，所述下部喷射环将下部燃料气体喷射到与上述预加热燃烧空间或混合燃烧空间连接的下部燃烧空间。9.根据权利要求7所述的洗涤器燃烧器，其中上述下部喷射模块在内部进一步包括下部壳体，所述下部壳体包围上述下部燃烧空间的外周向部分以形成上述下部燃料气体流过的呈环的形状的下部气体通道，并且所述下部壳体配备有从外周向部分穿透到上述下部气体通道的下部外壁孔，并且其中上述下部喷射环包括下部喷射孔，所述下部喷射孔位于上述下部气体通道内部并且喷射上述下部燃料气体或氧化剂。10.根据权利要求8所述的洗涤器燃烧器，其中上述下部喷射模块配备有下部分离面板，所述下部分离面板分离竖直位于上述下部气体通道处的第一下部气体通道...

【专利技术属性】
技术研发人员：李弼珩，李荣雄，卢明根，赵显闰，
申请(专利权)人：CSK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：