用于真空系统的单向止回阀和止回阀设备技术方案

一种真空系统单向阀，其包括：挡板，其用于延伸横跨真空系统中的流动路径；以及阀构件。挡板包括孔口，该孔口的周边包括阀座。阀构件包括被构造成与阀座配合的弯曲的密封表面。阀构件和孔口被构造成使得阀构件在关闭位置中遮挡孔口并与阀座密封以阻碍流体从出口端到入口端的流动，并且在使用中可移位以远离阀座移动并在打开位置中允许从入口端到出口端的流体流动；挡板的包围孔口的表面的至少一部分朝向阀的入口端倾斜，使得孔口在入口端处比其在出口端处小。在出口端处小。在出口端处小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于真空系统的单向止回阀和止回阀设备


[0001]本专利技术的领域涉及用于真空系统中的单向阀。本申请要求于2020年8月13日提交的GB2012603.3的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术介绍

[0002]在真空系统中使用单向阀，以允许流体沿一个方向被泵送并抵抗流体从较高压力区域返回到真空区域。这些单向阀例如被用作内部减压阀(诸如，吹泄阀)，或用作干泵中的排气止回阀，或用作减排(abatement)系统中的单向阀。在真空系统内发现的压力差可能很高并且这些需要有效密封。
[0003]对于具有苛刻的热和化学条件的应用(诸如，半导体应用)，处理室常常包含强酸/碱气体、以及固体和可冷凝的副产品。包含弹性体(这些材料通常用于在这种阀中进行密封)的止回阀的使用变得越来越受较高的泵和管操作温度要求的限制，尤其是在腐蚀性环境内。
[0004]将期望提供一种改进的单向阀，其对腐蚀性和热过程气体具有抵抗力并提供有效密封。

技术实现思路

[0005]一个方面提供了一种真空系统单向阀，其包括：挡板，其用于延伸横跨所述真空系统中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种真空系统单向阀，其包括：挡板，其用于延伸横跨所述真空系统中的流动路径，所述挡板包括孔口，所述孔口的周边包括阀座；阀构件，其包括被构造成与所述阀座配合的弯曲的密封表面，所述阀构件和所述孔口被构造成使得所述阀构件在关闭位置中遮挡所述孔口并与所述阀座密封以阻碍流体从出口端到入口端的流动，并且在使用中能够移位以远离所述阀座移动并在打开位置中允许从所述入口端到所述出口端的流体流动；所述挡板的包围所述孔口的所述表面的至少一部分朝向所述阀的所述入口端向内倾斜，使得所述孔口在所述入口端处比其在所述出口端处小；并且其中，所述孔口的所述倾斜表面的直径方向上相对的部分包围介于30
°
和70
°
之间的角度。2.根据权利要求1所述的真空系统单向阀，其中，所述孔口的所述倾斜表面的所述直径方向上相对的部分包围介于30
°
和55
°
之间的角度。3.根据权利要求1或2所述的真空系统单向阀，其中，所述孔口的所述倾斜表面的所述直径方向上相对的部分包围介于30
°
和45
°
之间的角度。4.根据任一前述权利要求所述的真空系统单向阀，其中，形成所述阀构件的材料具有介于0.01Ra和0.5Ra之间的粗糙度。5.根据任一前述权利要求所述的真空系统单向阀，其中，形成所述阀座的材料具有介于0.1Ra和1.0Ra之间、优选地介于0.3Ra和0.5Ra之间的粗糙度。6.根据任一前述权利要求所述的真空系统单向阀，其中，所述阀构件和所述阀座由不锈钢形成。7.根据权利要求1至5中任一项所述的真空系统单向阀，其中，所述阀构件和所述阀座由不同的金属形成。8.根据前一权利要求所述的真空系统单向阀，其中，包围所述孔口的所述表面的所述倾斜部分从...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙彩楠，I，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：