驱动和感测应力释放装置制造方法及图纸

提供一种MEMS装置，包括：质量块，被配置为沿着第一轴和基本上垂直于所述第一轴的第二轴移动；驱动结构，耦合到所述质量块并且被配置为使所述质量块沿着所述第一轴移动；感测结构，耦合到所述质量块并被配置为检测所述质量块沿着所述第二轴的运动；应力释放结构，耦合到所述驱动结构或所述感测结构之一；和至少一个锚，耦合到MEMS装置的底层基底，其中应力释放结构耦合到至少一个锚，并且至少一个锚设置在应力释放结构外部。在应力释放结构外部。在应力释放结构外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】驱动和感测应力释放装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请根据35U.S.C.
§
119(e)要求2020年6月8日提交的、代理人案卷No.G0766.70318US00、专利技术名称为“驱动和感测应力释放装置”的美国临时专利申请序列No.63/036,273的权益，其全部内容通过引用并入本文。


[0003]本申请涉及用于微机电系统(MEMS)惯性传感器的应力释放结构。

技术介绍

[0004]MEMS装置可以包括通过一个或多个耦合器耦合在一起的多个移动质量块。例如，陀螺仪(有时简称为“gyros”)是对旋转敏感的设备，因此可用于检测旋转。MEMS陀螺仪通常包括可移动的主体，有时被称为“检测质量块”，向其施加电信号以产生主要沿特定轴的运动。这被称为驱动检测质量块，并且检测质量块被驱动所沿的轴有时被称为传动轴。当陀螺仪经历旋转时，检测质量块另外沿着不同于驱动轴的轴移动，有时称为感测轴。检测质量块沿感测轴运动的检测会提供陀螺仪所经历的旋转的指示。对于一些MEMS陀螺仪，驱动检测质量块可以包括使检测质量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微机电系统(MEMS)装置，包括：质量块，被配置为沿着第一轴和基本上垂直于所述第一轴的第二轴移动；驱动结构，耦合到所述质量块并且被配置为使所述质量块沿着所述第一轴移动；感测结构，耦合到所述质量块并被配置为检测所述质量块沿着所述第二轴的运动；和应力释放结构，包括耦合到所述驱动结构或所述感测结构之一的框架，其中所述框架包括：多个L形梁，包括在至少一个第一点处耦合到所述驱动结构或所述感测结构中的一个的第一L形梁、和在至少一个第二点处耦合到所述驱动结构或所述感测结构中的一个的第二L形梁；和多个U形梁，包括耦合到所述第一L形梁顶点的第一U形梁和耦合到是第二L形梁顶点的第二U形梁。2.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述驱动结构或所述感测结构中的一个基本上设置在所述应力释放结构的框架内。3.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述至少一个第一点包括多个点，并且所述至少一个第二点包括多点。4.权利要求2所述的MEMS装置，其中所述第一和第二U形梁耦合在一起。5.权利要求1所述的MEMS装置，其中所述应力释放结构耦合到设置在所述应力释放结构的框架外部的一个或多个锚。6.权利要求1所述的MEMS装置，其中:所述应力释放结构耦合到所述驱动结构；和所述MEMS装置还包括耦合到所述感测结构的第二应力释放结构。7.权利要求6所述的MEMS装置，还包括：第二驱动结构，耦合到所述质量块并且被配置为使所述质量块沿着所述第一轴移动；第二感测结构，耦合到所述质量块并被配置为检测所述质量块沿着所述第二轴的运动；耦合到所述第二驱动结构的第三应力释放结构；以及耦合到所述第二感测结构的第四应力释放结构。8.权利要求1所述的MEMS装置，还包括：一对杠杆，将所述驱动结构或所述感测结构中的一个耦合到所述质量块，其中所述一对杠杆中的每个包括箱形弹簧。9.一种微机电系统(MEMS)装置，包括：质量块，被配置为沿着第一轴和基本上垂直于所述第一轴的第二轴移动；驱动结构，耦合到所述质量块并且被配置为使所述质量块沿着所述第一轴移动；感测结构，耦合到所述质量块并被配置为检测所述质量块沿着所述第二轴的运动；应力释放结构，耦合到所述驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：G，
申请(专利权)人：美国亚德诺半导体公司，
类型：发明
国别省市：