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提供一种MEMS装置，包括：质量块，被配置为沿着第一轴和基本上垂直于所述第一轴的第二轴移动；驱动结构，耦合到所述质量块并且被配置为使所述质量块沿着所述第一轴移动；感测结构，耦合到所述质量块并被配置为检测所述质量块沿着所述第二轴的运动；应力释...
该专利属于美国亚德诺半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国亚德诺半导体公司授权不得商用。

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