铝钛合金声波装置制造方法及图纸

铝钛合金声波装置，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；第一电极膜布置在压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；第二电极膜从压电基板的上表面延伸至第一电极膜的上表面的一部分；第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，第二电极膜还包括分层金属膜，分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；金属膜为铝钛合金，第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至第二电极膜的侧面；本发明专利技术能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。电极不太可能断裂或短路。电极不太可能断裂或短路。

【技术实现步骤摘要】
铝钛合金声波装置


[0001]本专利技术涉及声波器件领域，具体涉及铝钛合金声波装置。

技术介绍

[0002]声波器件被广泛用作带通滤波器和双工器，用于安装在诸如蜂窝电话之类的通信设备中的射频(RF)电路上。已知的弹性波装置包括使用弹性表面波的弹性表面波装置和使用弹性边界波的弹性边界波装置。现有技术存在的问题是当由IDT电极引起的声波振动施加到布线电极时，会发生迁移；此外，当由于高频电力通过布线电极而产生的热量施加到布线电极时，可能会发生迁移，特别是在铝或金的布线电极中更容易发生迁移。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的上述缺陷，本专利技术的目的在于提供铝钛合金声波装置，能够有效地抑制限定布线电极的电极膜中的迁移，使得布线电极不太可能断裂或短路。
[0004]本专利技术是这样实现的，本专利技术铝钛合金声波装置所采用的技术方案是：铝钛合金声波装置，其特征在于，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.铝钛合金声波装置，其特征在于，包括压电基板、第一电极膜、第二电极膜；所述第一电极膜布置在所述压电基板的顶表面上，并且限定包括IDT电极的电极；所述第二电极膜从所述压电基板的上表面延伸至所述第一电极膜的上表面的一部分；所述第二电极膜包括布线电极和焊盘电极，所述第二电极膜还包括分层金属膜，所述分层金属膜包括多层沉积的多个金属膜；所述金属膜为铝钛合金，所述第二电极膜的分层金属膜的最下层设置为延伸至所述第二电极膜的侧面。2.根据权利要求1所述的铝钛...

【专利技术属性】
技术研发人员：覃超，郑楠，
申请(专利权)人：深圳市中金岭南鑫越新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：