一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子制造技术

本发明专利技术涉及石英电子元器件制作技术领域，具体涉及一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子；包括音叉搭载部、第一音叉臂、第二音叉臂、第一加电电极、第二加电电极、第三加电电极、第四加电电极和表面电极，第一音叉臂和第二音叉臂分别与音叉搭载部固定连接，第一加电电极和第二加电电极分别设置于音叉搭载部的正面，第三加电电极和第四加电电极分别设置于音叉搭载部的反面，且第一加电电极与第三加电电极导通，第二加电电极与第四加电电极导通，第一音叉臂具有第一通孔，第二音叉臂具有第二通孔，通过设置第一通孔和第二通孔，将音叉搭载部的正面和反面的电极进行连接导通，获得避免在作业误差中短路，提高良率的效果。提高良率的效果。提高良率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子


[0001]本专利技术涉及石英电子元器件制作
，尤其涉及一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子。

技术介绍

[0002]音叉振子的基本结构与驱动原理是公知的，具体如下：音叉振子功能区主要是音叉臂，其主要工作原理是在音叉臂侧面和凹槽区域分别形侧面电极和凹槽电极，侧面电极与凹槽电极施加不同极性电压，同时左右两条音叉臂的侧面电极电压极性不同、凹槽电极电压也相反，当侧面电极与槽电极电压极性为负，侧面电极与槽电极电压极性为正时，侧面电极与槽电极之间相互产生电场，电场方向为+X的方向时，晶片中产生拉伸的应力，电场方向为
‑
X的方向时，晶片中产生收缩的应力，则音叉臂的左侧和音叉臂的右侧在Y轴方向上拉伸，音叉臂的右侧和音叉臂的左侧在Y轴方向上收缩，形成音叉臂想外侧拉伸的形变。相反的，当侧面电极与槽电极电压极性为正，侧面电极与槽电极电压极性为负时，侧面电极与槽电极之间相互产生电场，在电场和压电效应作用下，音叉臂的左侧和音叉臂的右侧在Y轴方向上收缩，音叉臂的右侧和音叉臂的左侧在Y轴方向上拉伸，形成音叉臂想内侧收缩的形变。当侧面电极、槽电极与侧面电极、槽电极电压极性交变的情况下，音叉臂会发生拉伸、收缩的交替形变，从而产生相应的频率。
[0003]在小型化的发展驱动下，音叉振子的尺寸在不断缩小，因此在音叉臂上用于侧面电极与槽电极相连的有效区域大幅缩小，在作业误差中容易导致短路，不良率较高。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子，解决了在音叉臂上用于侧面电极与槽电极相连的有效区域大幅缩小，在作业误差中容易导致短路，不良率较高的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用的一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子，包括音叉搭载部、第一音叉臂、第二音叉臂、第一加电电极、第二加电电极、第三加电电极、第四加电电极和表面电极，所述第一音叉臂和所述第二音叉臂分别与所述音叉搭载部固定连接，所述第一加电电极和所述第二加电电极分别设置于所述音叉搭载部的正面，所述第三加电电极和所述第四加电电极分别设置于所述音叉搭载部的反面，且所述第一加电电极与所述第三加电电极导通，所述第二加电电极与所述第四加电电极导通，所述第一音叉臂具有第一通孔，所述第二音叉臂具有第二通孔，所述表面电极分别设置于所述第一音叉臂和所述第二音叉臂上。
[0006]其中，所述表面电极包括第一槽电极、第二槽电极、第三槽电极和第四槽电极，所述第一音叉臂具有第一凹槽和第二凹槽，所述第一槽电极设置于所述第一凹槽内，所述第二槽电极设置于所述第二凹槽内，所述第二音叉臂具有第三凹槽和第四凹槽，所述第三槽电极设置于所述第三凹槽内，所述第四槽电极设置于所述第四凹槽内。
[0007]其中，所述表面电极还包括第一侧面电极、第二侧面电极、第一微调电极和第二微调电极，所述一侧面电极设置于所述第一音叉臂的外侧壁，所述第二侧面电极设置于所述第二音叉臂的外侧壁，所述第一微调电极设置于所述第一音叉臂的正面，所述第二微调电极设置于所述第二音叉臂的正面。
[0008]其中，所述以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子还包括第一连接线，所述第一连接线分别与所述第一加电电极和所述第二槽电极连接。
[0009]其中，所述以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子还包括第二连接线，所述第二连接线分别与所述第四加电电极和所述第三槽电极连接。
[0010]本专利技术的一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子，通过设置所述第一通孔和所述第二通孔，所述第一加电电极与所述第三加电电极通过所述音叉搭载部左侧面进行导通，所述第二加电电极与所述第四加电电极通过所述音叉搭载部右侧面进行导通，将所述音叉搭载部的正面和反面的电极进行连接导通，获得避免在作业误差中短路，提高良率的效果。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1是本专利技术的以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子的结构示意图。
[0013]图2是本专利技术的以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子的结构后视图。
[0014]1‑
音叉搭载部、2
‑
第一音叉臂、3
‑
第二音叉臂、4
‑
第一加电电极、5
‑
第二加电电极、6
‑
第三加电电极、7
‑
第四加电电极、8
‑
第一通孔、9
‑
第二通孔、10
‑
第一槽电极、11
‑
第二槽电极、12
‑
第三槽电极、13
‑
第四槽电极、14
‑
第一侧面电极、15
‑
第二侧面电极、16
‑
第一微调电极、17
‑
第二微调电极、18
‑
第一连接线、19
‑
第二连接线、20
‑
第一凹槽、21
‑
第二凹槽、22
‑
第三凹槽、23
‑
第四凹槽。
具体实施方式
[0015]请参阅图1和图2，其中图1是以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子的结构示意图，图2是以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子的结构后视图。
[0016]本专利技术提供了一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子，包括音叉搭载部1、第一音叉臂2、第二音叉臂3、第一加电电极4、第二加电电极5、第三加电电极6、第四加电电极7和表面电极，所述第一音叉臂2和所述第二音叉臂3分别与所述音叉搭载部1固定连接，所述第一加电电极4和所述第二加电电极5分别设置于所述音叉搭载部1的正面，所述第三加电电极6和所述第四加电电极7分别设置于所述音叉搭载部1的反面，且所述第一加电电极4与所述第三加电电极6导通，所述第二加电电极5与所述第四加电电极7导通，所述第一音叉臂2具有第一通孔8，所述第二音叉臂3具有第二通孔9，所述表面电极分别设置于所述第一音叉臂2和所述第二音叉臂3上。
[0017]在本实施方式中，设置所述第一通孔8和所述第二通孔9，所述第一加电电极4与所
述第三加电电极6通过所述音叉搭载部1左侧面进行导通，所述第二加电电极5与所述第四加电电极7通过所述音叉搭载部1右侧面进行导通，将所述音叉搭载部1的正面和反面的电极进行连接导通，将所述第一加电电极4、所述第四加电电极7分别与所述表面电极导通，获得避免在作业误差中短路，提高良率的效果。
[0018]进一步地，所述表面电极包括第一槽电极10、第二槽电极11、第三槽电极12和第四槽电极13，所述第一音叉臂2具有第一凹槽20和第二凹槽21，所述第一槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子，其特征在于，包括音叉搭载部、第一音叉臂、第二音叉臂、第一加电电极、第二加电电极、第三加电电极、第四加电电极和表面电极，所述第一音叉臂和所述第二音叉臂分别与所述音叉搭载部固定连接，所述第一加电电极和所述第二加电电极分别设置于所述音叉搭载部的正面，所述第三加电电极和所述第四加电电极分别设置于所述音叉搭载部的反面，且所述第一加电电极与所述第三加电电极导通，所述第二加电电极与所述第四加电电极导通，所述第一音叉臂具有第一通孔，所述第二音叉臂具有第二通孔，所述表面电极分别设置于所述第一音叉臂和所述第二音叉臂上。2.如权利要求1所述的以通孔导通正反面槽电极的石英音叉振子，其特征在于，所述表面电极包括第一槽电极、第二槽电极、第三槽电极和第四槽电极，所述第一音叉臂具有第一凹槽和第二凹槽，所述第一槽电极设置于所述第一凹槽内，所述第二槽电极设置于所述第二凹槽内，所述第二音叉臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：高志祥，姜凡，李坡，郑凯旋，
申请(专利权)人：南京中电熊猫晶体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：