汽化装置及其控制方法、存储介质、流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供汽化装置及其控制方法、存储介质、流体控制装置，汽化装置(100)具备：控制阀(2)，设置在液体材料流动的流道上；汽化部(3)，通过减压或加热使所述液体材料汽化；液体流量传感器(1)，测量流过流道的液体材料的流量；以及阀控制器(41)，通过基于设定流量表示的设定值以及由所述液体流量传感器(1)测量的流量的测量值的PI控制或PID控制，控制所述控制阀(2)，所述汽化装置(100)还具备积分增益切换部(42)，该积分增益切换部(42)在由所述液体流量传感器(1)测量的流量的过渡响应期间，将对所述阀控制器(41)设定的积分增益从基准积分增益切换为与所述基准积分增益不同的修正积分增益。增益。增益。

【技术实现步骤摘要】
汽化装置及其控制方法、存储介质、流体控制装置


[0001]本专利技术涉及通过PI控制或PID控制对液体材料的流量进行控制的汽化装置。

技术介绍

[0002]例如，在半导体制造工序中，为了使液体材料汽化从而得到向真空室内导入的材料气体，使用汽化装置。如专利文献1所示，该汽化装置具备：控制阀，在内部将液体材料与载气混合；汽化部，设置在控制阀的下游侧，通过加热或减压使液体材料汽化；液体流量传感器，在控制阀的上游侧测量液体材料的流量；以及阀控制器，通过基于由用户设定的设定流量表示的设定值以及液体流量传感器测量的测量值的PID控制，对控制阀的开度进行控制。
[0003]可是，在这样的汽化装置中，如果设定阶跃状的设定流量，使控制阀从例如全闭的状态开始将液体材料维持在成为目标的一定流量值，则存在如下情况：使由液体流量传感器测量的流量的测量值与设定流量的最终的设定值一致需要时间。换句话说，在短时间内无法消除偏离、调节时间(settling time)无法控制在例如根据半导体制造工序中的要求而确定的容许时间内。另外，即使在从维持规定的流量的状态变更为更大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种汽化装置，其特征在于，所述汽化装置具备：控制阀，设置在液体材料流动的流道上；汽化部，通过减压或加热使所述液体材料汽化；液体流量传感器，测量流过流道的液体材料的流量；以及阀控制器，通过基于设定流量表示的设定值以及由所述液体流量传感器测量的流量的测量值的PI控制或PID控制，控制所述控制阀，所述汽化装置还具备积分增益切换部，所述积分增益切换部在由所述液体流量传感器测量的流量的过渡响应期间，将对所述阀控制器设定的积分增益从基准积分增益切换为与所述基准积分增益不同的修正积分增益。2.根据权利要求1所述的汽化装置，其特征在于，所述修正积分增益设定为比所述基准积分增益高的值。3.根据权利要求1或2所述的汽化装置，其特征在于，所述基准积分增益是以使当所述汽化部不存在的情况下的流量响应的调节时间成为预先确定的容许时间内的方式设定的值。4.根据权利要求3所述的汽化装置，其特征在于，所述修正积分增益是以使当所述汽化部存在且在所述过渡响应期间从所述基准积分增益向所述修正积分增益切换的情况下的流量响应的调节时间成为所述容许时间内的方式确定的值。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的汽化装置，其特征在于，在所述测量值收敛于所述设定值后，积分增益切换部将对所述阀控制器设定的积分增益从所述修正积分增益恢复为所述基准积分增益。6.根据权利要求1至5中任意一项所述的汽化装置，其特征在于，所述积分增益切换部将所述设定流量的上升开始时点作为基准在经过了规定时间后将对所述阀控制器设定的积分增益从所述基准积分增益切换为所述修正积分增益。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的汽化装置，其特征在于，从所述基准积分增益切换为所述修正积分增益的切换时机设定在从在固定于所述基准积分增益并持续控制所述控制阀的情况下的流量响应的上升开始时点到峰值时点为止的期间内。8.根据权利要求1至7中任意一项所述的汽化装置，其特征在于，所述积分增益切换部根据所述设定流量表示的设定值的大小或所述液体材料的种类，设定从所述基准积分增益切换为所述修正积分增益的切换时机。9.根据权利要求1至8中任意一项所述的汽化装置，其特征在于，所述汽化装置还具备修正积分增益变更部，所述修正积分增益变更部变更所述修正积分增益。10.根据权利要求9所述的汽化装置，其特征在于，所述修正积分增益变更部根据所述液体材料的种类、所述液体材料的设定流量、所述液体材料的设定压力、载气的设定流量、所述控制阀的上游侧的压力、所...

【专利技术属性】
技术研发人员：矢田秀贵，浅海裕一郎，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：