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本发明提供汽化装置及其控制方法、存储介质、流体控制装置，汽化装置(100)具备：控制阀(2)，设置在液体材料流动的流道上；汽化部(3)，通过减压或加热使所述液体材料汽化；液体流量传感器(1)，测量流过流道的液体材料的流量；以及阀控制器(41...
该专利属于株式会社堀场STEC所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。

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