流量控制方法、系统及介质技术方案

本发明专利技术提供了一种流量控制方法、系统及介质。流量控制方法应用于流量闭环控制系统，流量闭环控制系统包括上位机、控压装置、流量控制装置和流量监测装置，流量控制方法包括：获取流量监测装置的实时流量值；当实时流量值与目标流量值不一致时，根据实时流量值与目标流量值之间的差值，调整控压装置的输出气压值，控压装置用于调节流量控制装置的输出流量。该方法通过获取实时流量值，向控压装置输出信号控制输出气压值以调节输出流量，实现闭环控制。该方法能够在流量闭环控制系统的输出流量出现波动时及时进行调节，避免因流量异常带来的损失。的损失。的损失。

【技术实现步骤摘要】
流量控制方法、系统及介质


[0001]本专利技术涉及流量控制
，尤其涉及一种流量控制方法、系统及介质。

技术介绍

[0002]流量是液压和气压系统中的一个重要参数，决定了整个系统和设备的性能，流量的精准控制是一项关键技术。在半导体工艺领域，流量的稳定性直接决定工艺效果，特别是刻蚀和化学清洗工艺。随着工艺的更新与发展，作用于晶圆表面的药水流量精度稳定性要求也越来越高。而精准控流是业内亟待解决的问题。
[0003]现有控制方案大多采用手动阀调节流量，调节后若有变化只能再次调节手动阀，并且还需要配合多级稳压阀以稳定流量波动。虽然有用于根据设定流量对流量进行实时调整的自动流量控制器，但这种控制器价格昂贵且进出口受到限制，实际使用中存在成本高、货期长，无法满足实际应用中需要大批量使用的需求。
[0004]而手动阀调节流量的调节准确性较差，即使配合多级稳压阀，流量精度也没办法保证。特别是刻蚀液随着使用药液性质发生变化的时候，导致流量变化时流量精度难以保证。且手动调节系统不具备自动调节能力，流量出现较大波动后，无法自动调节回到设定值。若本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流量控制方法，应用于流量闭环控制系统，所述流量闭环控制系统包括上位机、控压装置、流量控制装置和流量监测装置，其特征在于，所述方法包括：获取所述流量监测装置的实时流量值；当所述实时流量值与目标流量值不一致时，根据所述实时流量值与所述目标流量值之间的差值，调整所述控压装置的输出气压值，所述控压装置用于根据所述输出气压值调节流量控制装置的输出流量。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述实时流量值与所述目标流量值之间的差值，调整控压装置的输出气压值，包括：当所述实时流量值大于所述目标流量值时，减小所述控压装置的输出气压值，以调低所述流量控制装置的输出流量；当所述实时流量值小于所述目标流量值时，增大所述控压装置的输出气压值，以调高所述流量控制装置的输出流量。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述实时流量值与所述目标流量值之间的差值，调整控压装置的输出气压值，包括：计算所述实时流量值与所述目标流量值之间的差值的绝对值；确定所述绝对值对应的流量调节等级；根据所述流量调节等级，调整所述控压装置的输出气压值。4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述控压装置为电气比例阀、电控节流阀或伺服阀。5.根据权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，所述流量控制装置为稳压阀、针阀稳压组合阀或隔膜阀。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：孙俊主，于宏嘉，刘迟，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：