一种小口径轴对称式光谱共焦测头制造技术

本发明专利技术是一种小口径轴对称式光谱共焦测头，包括镜筒，所述镜筒内设有轴对称式光纤发射集成模块，镜筒的一端引入光纤并连通至轴对称式光纤发射集成模块中，在所述镜筒内且位于轴对称式光纤发射集成模块的输出光路上设有色散透镜组，使得轴对称式光纤发射集成模块将光纤引入的复色光发射至色散透镜组，不同波长的光束经过色散透镜组色散分离及屈光聚焦后，其焦点于光路轴线上随波长的变化而依次分布，将复色光的波长分布与被测空间的位置信息映射相关起来，利用被测物回光波长检测实现其空间位置的监测。本发明专利技术结构能在保证测头高测量精度的同时，使得测头轴对称式设置且口径较小，提高测头的可集成性。提高测头的可集成性。提高测头的可集成性。

【技术实现步骤摘要】
一种小口径轴对称式光谱共焦测头


[0001]本专利技术涉及检测
，具体涉及一种小口径轴对称式光谱共焦测头。

技术介绍

[0002]针对日益广泛的高精度非接触精密测量需求，利用色散物镜将复色光波波长分布与空间位置映射相关的光谱共焦测量方式自1955年专利技术伊始即被各种精密测量行业所青睐，广泛应用于生物组织检测、化工原料精控、文物外形测绘、半导体制程监测等领域。随着半导体以及手机电脑3C行业的逐渐兴起，小微型零件的尺寸测量需求愈加强烈，小口径、集成性良好的光谱共焦测量测头逐渐成为精密测量研究的热点。
[0003]传统共焦测量测头一般采用光纤作为探测复色光源引入的方式，而光纤根据其发射端面的不同形制，主要存在垂直和倾斜两种标准。端面垂直式光纤可使光纤接头与共焦测量测头轴线重合配置，保证测头的径向尺寸可控，但此种方式会因光纤纤芯与空气界面的直接反射导致测量背景信号较高。端面倾斜的方式可显著减小端面的直接反射，但需进行倾斜安装，介于光纤接头的固有体积，此种非对称方式不可避免的会增加测头的径向尺寸，不利于测头在应用场景中的有效集成。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种小口径轴对称式光谱共焦测头，包括镜筒(5)，其特征在于，所述镜筒(5)内设有轴对称式光纤发射集成模块(1)，镜筒(5)的一端引入光纤(4)并连通至轴对称式光纤发射集成模块(1)中，在所述镜筒(5)内且位于轴对称式光纤发射集成模块(1)的输出光路上设有色散透镜组，使得轴对称式光纤发射集成模块(1)将光纤(4)引入的复色光发射至色散透镜组，不同波长的光束经过色散透镜组色散分离及屈光聚焦后，其焦点于光路轴线上随波长的变化而依次分布，将复色光的波长分布与被测空间的位置信息映射相关起来，利用被测物回光波长检测实现其空间位置的监测。2.根据权利要求1所述的小口径轴对称式光谱共焦测头，其特征在于，所述色散透镜组包括固定色散透镜组(2)和像差补偿色散透镜组(3)，所述固定色散透镜组(2)和像差补偿色散透镜组(3)位于镜筒(5)内且在轴对称式光纤发射集成模块(1)的输出光路上依次设置，分别用于色散分离和屈光聚焦，以降低整体镜组的像差总和。3.根据权利要求2所述的小口径轴对称式光谱共焦测头，其特征在于，所述固定色散透镜组(2)和像差补偿色散透镜组(3)由若干个单透镜组成，并且固定色散透镜组(2)和像差补偿色散透镜组(3)均采用对称式结构。4.根据权利要求2所述的小口径轴对称式光谱共焦测头，其特征在于，所述轴对称式光纤发射集成模块(1)包括光束扩散头(11)、扩散头固定套(12)和旋紧光阑(...

【专利技术属性】
技术研发人员：田发，戴霖，陈旺，刘钧，张文浩，
申请(专利权)人：苏州创视智能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：