一种扩展谐振腔多结垂直腔面发射激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种扩展谐振腔多结垂直腔面发射激光器，包括自下而上依次叠加设置的负电极、砷化镓基板、下反射镜N

【技术实现步骤摘要】
一种扩展谐振腔多结垂直腔面发射激光器


[0001]本专利技术属于垂直腔面发射激光器
，特别涉及一种扩展谐振腔多结垂直腔面发射激光器。

技术介绍

[0002]应用于激光雷达(LiDAR)系统上的940nm或者905nm或者是其他的波长的垂直腔面发射激光器都要求有较高的发射光功率，通常要求激光器工作在短脉冲下的发射光功率要超过50W。尤其是应用场景是车载激光雷达，激光在空气中传播光功率损耗很大，如果激光器的发射光功率太低，就很难满足车载激光雷达需要探测200米以上距离物体的要求。另外，如果垂直腔面发射激光器的发散角太大、光束质量低，会导致整个激光雷达光学系统的耦合效率低和成像效果差，最终会影响到对物体的探测灵敏度和探测距离。
[0003]公开号为CN114520461A的专利技术专利公开了一种具有多隧道结的VCSEL激光器及其制备方法，其存在以下缺陷：
[0004]1、在有源区和隧道结之间做限制层，限制层会导致光子在多个有源层之间的自由移动，该方案极大降低了发光效率；
[0005]2、在有源区之间增加了限制层，会导致激本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩展谐振腔多结垂直腔面发射激光器，其特征在于：包括自下而上依次叠加设置的负电极(1)、砷化镓基板(2)、下反射镜N
‑
DBR(3)、扩展多结谐振腔(18)、上反射镜P
‑
DBR(16)、正电极(17)，其中，所述扩展多结谐振腔(18)由多个有源区叠加组成，相邻的有源区之间通过隧道结连接，最顶部的有源区与上反射镜P
‑
DBR(16)之间通过隧道结连接。2.根据权利要求1所述的扩展谐振腔多结垂直腔面发射激光器，其特征在于：最底部的有源区与下反射镜N
‑
DBR(3)之间直接连接或...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑君雄，石恺丰，李惠，黄杰，王青，
申请(专利权)人：深圳市中科光芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：