一种垂直腔面发射激光器的封装方法技术

技术编号:46228081 阅读:8 留言:0更新日期:2025-08-26 19:31
本发明专利技术涉及激光器封装技术领域,具体涉及一种垂直腔面发射激光器的封装方法,该方法包括:TO封装之前,获取若干个Z轴距离下的管座图像;根据每个距离下的管座图像分析管座图像模糊情况,确定每个距离下的管座图像的优选发光点中心位置;根据相邻距离下的管座图像中优选发光点中心位置的变化情况确定TO管帽的倾斜程度,利用倾斜程度进行管座的同轴偏移量矫正;基于同轴偏移量矫正后的TO管座与TO管帽的对准结果,进行TO封装。本发明专利技术通过克服图像模糊导致的反光中心位置确认偏移的缺陷,显著增强了TO器件的耦合效率和封装一致性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器封装,具体涉及一种垂直腔面发射激光器的封装方法


技术介绍

1、随着光通信、激光雷达、3d感知等领域的迅猛发展,垂直腔面发射激光器(vcsel,vertical-cavity surface-emitting laser)因其低功耗、高调制速率和阵列化集成能力,成为光电器件中应用最广泛的光源之一。在高性能、高密度封装趋势的推动下,to(transistor outline,晶体管外形)封装凭借其良好的散热能力、机械稳定性以及与光纤、透镜等器件的兼容性,依然在vcsel器件中占据重要地位。现有to封装方式普遍采用单目视觉获取vcsel器件的透镜与芯片的图像,采用传统图像处理算法(如霍夫圆检测)判断芯片与透镜的相对位置,并进行同轴度偏差分析与调整。

2、在激光器封装过程中,to封装的透镜与芯片之间的精密对准,是保证器件光电性能稳定输出的关键环节。然而,由于to管帽所配套的非标准化透镜在焦距、球差等方面存在微小差异,且to管座在对准过程中可能存在倾斜,导致拍摄到的发光点图像可能出现模糊边缘,使得在判断发光点中心位置时产生误差,降低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述根据每个距离下的管座图像分析管座图像模糊情况,确定每个距离下的管座图像的优选发光点中心位置,包括:

3.根据权利要求2所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述基于各个边缘连通域确定管座图像的模糊程度,包括:

4.根据权利要求3所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述根据每个边缘连通域与所有圆心位置下的圆的交点数目、每个边缘连通域对应的边缘像素点数目和每个边缘像素点的梯度值,确定每个边...

【技术特征摘要】

1.一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述根据每个距离下的管座图像分析管座图像模糊情况,确定每个距离下的管座图像的优选发光点中心位置,包括:

3.根据权利要求2所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述基于各个边缘连通域确定管座图像的模糊程度,包括:

4.根据权利要求3所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述根据每个边缘连通域与所有圆心位置下的圆的交点数目、每个边缘连通域对应的边缘像素点数目和每个边缘像素点的梯度值,确定每个边缘连通域的弥散圆程度,包括:

5.根据权利要求4所述的一种垂直腔面发射激光器的封装方法,其特征在于,所述根据所述管座图像的模糊程度,结合所述边缘连通域的预测圆心位置,确定每个所述边缘连通域的梯度修正程度,包括:

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑君雄郭丁凯黄爽郑春海
申请(专利权)人:深圳市中科光芯半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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