【技术实现步骤摘要】
成膜装置及使用其的有机EL显示装置的制造方法
[0001]本申请是申请日为2018年7月27日、申请号为201810845796.9、专利技术名称为“成膜装置及使用其的有机EL显示装置的制造方法”的专利技术专利申请的分案。
[0002]本专利技术涉及一种成膜装置，特别是涉及用于使基板平坦地附着于静电吸盘的基板支承部。
技术介绍
[0003]最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携式终端等中以较快的速度代替以往的液晶面板显示器。另外，其应用领域正在扩展到汽车用显示器等中。
[0004]有机EL显示装置的元件具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物层及电极层通过将蒸镀材料经由形成有像素图案的掩模蒸镀到放置于真空腔室上部的基板(的下表面)而形成，所述蒸镀材料通过对设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源进行加热而蒸发。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包含：基板保持单元，所述基板保持单元包含支承所述基板的第一边的周缘部的第一支承部件、和支承所述基板的与所述第一边相对的第二边的周缘部的第二支承部件；以及静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述基板的上方，用于吸附所述基板，所述第一支承部件与所述第二支承部件的各自的基板支承面在与所述静电吸盘的吸附面交叉的方向上弹性地位移。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件的各自的所述基板支承面的高度变化。3.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件的每一个，包含用于支承基板的基板支承面部及以能够弹性位移的方式支承所述基板支承面部的弹性体部。4.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述弹性体部由于来自所述静电吸盘的压力而在所述方向上弹性位移。5.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述基板支承面部的位移轴与所述弹性体部的弹性位移轴互相偏离。6.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件的每一个，进一步包含有引导所述基板支承面部的位移的引导部，以使所述基板支承面部的位移方向与所述弹性体部的位移方向互相平行。7.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述弹性体部包含螺旋弹簧。8.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件的所述弹性体部的长度比所述第二支承部件的所述弹性体部的长度长。9.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件的所述弹性体部的弹性模量比所述第二支承部件的所述弹性体部的弹性模量大。10.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件包含沿着所述第一边排列的多个支承部件，所述第二支承部件包含沿着所述第二边排列的多个支承部件。11.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述支承部还包含支承所述基板的与所述第一边及所述第二边交叉的第三边的周缘部的第三支承部件、和支承所述基板的与所述第三边相对的第四边的周缘部的第四支承部件，所述第三支承部件及所述第四支承部件的各自的基板支承面能够在所述方向上位移。12.根据权利要求11所述的成膜装置，其中，所述第三支承部件包含沿着所述第三边排列的多个支承部件，所述第四支承部件包含沿着所述第四边排列的多个支承部件。
13.根据权利要求12所述的成膜装置，其中，所述第三支承部件及所述第四支承部件的所述弹性体部的弹性模量与所述第二支承部件的所述弹性体部相比弹性模量大，与所述第一支承部件的所述弹性体部相比弹性模量小。14.根据权利要求12所述的成膜装置，其中，所述第三支承部件及所述第四支承部件的所述弹性体部的长度比所述第二支承部件的所述弹性体部的长度长，比所述第一支承部件的所述弹性体部的长度短。15.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述掩模为金属制，所述成膜装置还包含：掩模台，所述掩模台为了保持所述掩模而设置在所述基板保持单元的下方；以及磁铁，所述磁铁设置在所述静电吸盘的上方，对所述掩模施加磁力而使所述基板与所述掩模紧贴。16.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件的各自的所述基板支承面通过螺旋弹簧、或者板簧、或者硅橡胶的弹性变形进行位移。17.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包含：基板保持单元，所述基板保持单元包含支承所述基板的第...
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