易装卸样品托及真空系统技术方案

本公开提供了一种易装卸样品托及真空系统。样品托，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽中，基于弹性形变向位于托盘槽中的样品框施加弹力，实现样品框的固定。真空系统，包括真空腔，以及本公开提供的易装卸样品托，设置在所述真空腔内。设置在所述真空腔内。设置在所述真空腔内。

【技术实现步骤摘要】
易装卸样品托及真空系统


[0001]本公开涉及真空设备
，特别涉及一种易装卸样品托及真空系统。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备是真空系统的一种，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外等多种。在进行真空镀膜的过程中，通常会向真空腔中传送样品(例如晶圆、玻璃、巴条等)，镀膜形成于所述样品中。
[0003]实际工艺中，通常先将样品固定在样品托上传送到真空腔，之后密封真空腔并在达到真空条件时执行镀膜的工艺步骤。
[0004]现有公开的样品托，通常采用紧固件压紧的方式固定夹具(夹具中装配又多片堆叠的样品)，在镀膜过程中，因工作温度较高且无法使用润滑脂，紧固件受热后会变形导致捏合，从而无法将夹具无法取出，使夹具的拆卸不易操作。
[0005]此外，在镀膜过程中，紧固件的头部容易被镀层覆盖，导致扳手无法使用，也为夹具的拆卸造成了一定的难度。

技术实现思路

[0006]本公开提供了一种样品托，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品托，其特征在于，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽中，基于弹性形变向位于托盘槽中的样品框施加弹力，实现样品框的固定。2.如权利要求1所述的样品托，其特征在于，所述样品框包括：与托盘槽的侧壁相接触的多个第一侧壁，以及用于承载所述弹力的第二侧壁；所述第一侧壁设置有卡槽；所述托盘槽的内壁上设置有与所述卡槽相匹配的凸边。3.如权利要求2所述的样品托，其特征在于，所述弹性件包括：弹性曲片，沿着第二侧壁延伸方向延伸，弯曲的方向朝向所述第二侧壁；支撑平片，沿着第二侧壁延伸方向延伸，与所述弹性曲片相对设置且端部相连。4.如权利要求3所述的样品托，其特征在于，所述弹性曲片和所述支撑平片的端部焊接连接。5.如权利要求3所述的样品托，其特征在于，所述弹性件还包括：用于设置在第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌平，陈飞，王天邻，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：