【技术实现步骤摘要】
一种柔性连杆
[0001]本专利技术属于真空运动导入领域,具体地说是一种柔性连杆,可以将真空外驱动部件的直线运动导入到真空内,驱动真空内的部件运动,常用于为真空腔室内的连杆机构提供动力源。
技术介绍
[0002]工业上常见的驱动部件因为放气、摩擦产生粉尘等问题,一般不能在真空系统中使用。真空系统常常将驱动部件放在真空外,利用电磁、波纹管等手段将运动导入到真空系统中。然而这些手段导入真空系统后,运动都比较简单,难以驱动相对比较复杂的连杆机构。
技术实现思路
[0003]为了解决现有驱动部件难以驱动相对比较复杂的连杆机构的问题,本专利技术的目的在于提供一种柔性连杆。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]本专利技术的柔性连杆用于将真空腔室外驱动部件的动力导入到真空腔室内,为真空腔室内的连杆机构提供动力;所述柔性连杆包括上连接块、滑套、弹性件及下滑杆,其中上连接块、滑套及弹簧均位于真空腔室内,所述上连接块的一端与连杆机构铰接,所述下滑杆的一端与上连接块的另一端相连,所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性连杆,用于将真空腔室外驱动部件的动力导入到真空腔室内,为真空腔室内的连杆机构提供动力;其特征在于:所述柔性连杆包括上连接块(1)、滑套(2)、弹性件及下滑杆(4),其中上连接块(1)、滑套(2)及弹簧(3)均位于真空腔室内,所述上连接块(1)的一端与连杆机构铰接,所述下滑杆(4)的一端与上连接块(1)的另一端相连,所述下滑杆(4)的另一端由真空腔室壁(7)穿出、并与真空腔室外的驱动部件相连;所述滑套(2)套设于下滑杆(4)上,并卡接于所述上连接块(1)上,所述下滑杆(4)可相对上连接块(1)及滑套(2)滑动,所述滑套(2)与真空腔室壁(7)之间的下滑杆(4)上设有使上连接块(1)及滑套(2)复位的弹性件。2.根据权利要求1所述的柔性连杆,其特征在于:所述上连接块(1)另一端前后两侧中的至少一侧为开放结构,所述滑套(2)及下滑杆(4)由开放的一侧安装于上连接块(1)内,与所述上连接块(1)进行连接。3.根据权利要求2所述的柔性连杆,其特征在于:所述上连接块(1)的另一端沿下滑杆(4)的滑动方向设有“凸”型槽(10),所述“凸”型槽(10)前后两侧中的至少一侧为开放结构,所述开放结构为上连接块(1)的另...
【专利技术属性】
技术研发人员:张学良,佟雷,袁方,赵崇凌,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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