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本发明属于真空运动导入领域，具体地说是一种柔性连杆，用于将真空腔室外驱动部件的动力导入到真空腔室内，为真空腔室内的连杆机构提供动力；柔性连杆包括上连接块、滑套、弹性件及下滑杆，上连接块、滑套及弹簧均位于真空腔室内，上连接块的一端与连杆机构铰...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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