【技术实现步骤摘要】
一种热电器件及其制备方法
[0001]本专利技术涉及热电材料
,尤其涉及一种热电器件及其制备方法。
技术介绍
[0002]热电制冷是一种基于帕尔贴效应,以热电器件为基础的半导体制冷方式。热电器件具有结构紧凑、无运动部件、冷却速度容易控制、无振动运行、温度控制精确、可反向加热和冷却等优点。近年来,随着热电制冷领域研究的不断深入,热电制冷装置在军事、航天、科研、微电子、光电器件等领域得到了较广泛应用。目前,热电器件采用切割、抛光、沉积、刷焊、固晶、回流焊等工艺制备,具有以下缺点:1、制备工艺比较复杂;2、工艺比较多且复杂,导致良率低,整体材料使用率低;3、采用摆模固晶贴片工艺,排列精度低,无法满足高精度Micro/Mini TEC器件工艺需求。
技术实现思路
[0003]本专利技术要解决的技术问题在于,针对现有技术的缺陷,提供一种热电器件的制备方法。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种热电器件的制备方法,包括以下步骤:
[0005]S1、取陶瓷下基底,在陶瓷下基底表 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种热电器件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、取陶瓷下基底,在陶瓷下基底表面设置阵列排布的下电极层,在所述陶瓷下基底表面沉积矩阵化排列的阻隔墙,相邻所述阻隔墙之间设有预留空间;S2、遮挡所述阻隔墙,在所述预留空间中的下电极层表面沉积下阻隔层;S3、在所述下阻隔层表面交替喷墨打印P型热电材料墨水以及N型热电材料墨水,然后真空干燥、烘烤干燥固化,分别形成P型热电臂以及N型热电臂;S4、在所述P型热电臂和所述N型热电臂表面分别沉积上阻隔层;S5、在所述上阻隔层表面沉积上电极层,所述上电极层与所述P型热电臂和所述N型热电臂形成串联;S6、取陶瓷上基底并在表面涂覆有机粘接层,将陶瓷上基底粘接于所述上电极层上,即得热电器件。2.根据权利要求1所述的热电器件的制备方法,其特征在于,在S1步骤中,所述阻隔墙采用SiC、AlN中的至少一种材料沉积形成,沉积厚度为0.5mm~1.0mm。3.根据权利要求1所述的热电器件的制备方法,其特征在于,在S2步骤中,所述下阻隔层采用镍合金沉积形成,沉积厚度为0.05mm~0.1mm。4.根据权利要求1所述的热电器件的制备方法,其特征在于,在S3步骤中,所述P型热电材料墨水的打印厚度为0.25mm~0.75mm,所述N型热电材料墨水的打印厚度为0.25mm~0.75mm。5.根据权利要求1所述的热电器件的制备方法,其特征在于,在S3步骤中,所述P型热电材料墨水包括以下质量百分比的组分:10~30%Bi2Te3基P型热电材料、20~60%分散剂、余量为溶剂;所述N型热电材料墨水包括以下质量百分比的组分:10~30%Bi2Te3基N型热电材料、20~60%分散剂、余量为溶剂。6.根据权利要求5所述的热电器件的制备方...
【专利技术属性】
技术研发人员:段少锋,施翊璇,汤弢,
申请(专利权)人:纯钧新材料深圳有限公司,
类型:发明
国别省市:
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