一种测量高反射倾斜镜迟滞效应的方法技术

本发明专利技术提供一种测量高反射倾斜镜迟滞效应的方法，将待测高反射倾斜镜作为衰荡腔腔镜，对倾斜镜分别施加正向和方向驱动，记录该过程中的腔内损耗变化，通过腔内损耗变化规律可解算倾斜镜驱动过程中实际的角度倾斜量，从而完成倾斜镜在正向和反向驱动中的迟滞效应测量。该方法基于光腔衰荡技术的高灵敏度特性，通过构建衰荡腔腔内损耗与腔镜倾斜角度的数理关系，实现对高反射倾斜镜迟滞效应的高灵敏度测量，可作为高反射倾斜镜相关性能测试的一种有效手段。一种有效手段。一种有效手段。

【技术实现步骤摘要】
一种测量高反射倾斜镜迟滞效应的方法


[0001]本专利技术涉及激光
，具体涉及一种测量高反射倾斜镜迟滞效应的方法，可应用于自适应光学、空间光通信、天文望远镜等领域。

技术介绍

[0002]倾斜镜是自适应光学、空间光通信等领域的重要器件之一。其自身可产生高速倾斜量，用于补偿大气湍流等因素导致的倾斜像差。由于倾斜镜驱动材料自身的迟滞特性，可能在实际应用中对倾斜镜的闭环控制造成影响。以压电倾斜镜为例，其驱动材料压电陶瓷在升压和降压过程中，材质位移曲线不重合(刘鑫，李新阳，杜睿，压电倾斜镜迟滞非线性建模及拟补偿控制，光电工程，2020(47)，4,180654)，从而导致迟滞效应产生。为有效补偿迟滞效应影响，对迟滞效应进行高灵敏度测量就具有重要意义。
[0003]针对倾斜镜迟滞效应的测量，目前还缺乏高精度和高灵敏度的技术手段。目前主要的测量手段均依赖探测光束的光斑定位(中国专利CN110530612A，“一种使用PSD测试倾斜镜的系统及其测试方法”；中国专利CN104215431A，“一种快速倾斜镜性能测试装置”)，在实际应用中，以上手段本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量高反射倾斜镜迟滞效应的方法，其特征在于，实现步骤如下：步骤(1)、搭建光腔衰荡系统，包括激光光源、耦合腔镜、平凹腔镜、光电探测器、待测高反射倾斜镜、数据采集模块和处理机，其中，平凹腔镜、耦合腔镜和待测高反射倾斜镜构成折叠型衰荡腔，激光光源发出激光光束，经耦合腔镜进入衰荡腔内，衰荡腔内光强信号经平凹腔镜透射进入光电探测器，光电探测器探测的衰荡腔透射信号交由数据采集模块和处理机进行处理；步骤(2)、向衰荡腔内注入激光光束，同时利用光电探测器和数据采集模块实时监测并记录腔内透射信号；步骤(3)、向待测倾斜镜分别施加正向和反向驱动，每施加一次驱动，采集对应的透射信号并经处理机处理得到腔内损耗，根据腔内损耗随正反向驱动的变化曲线即可完成迟滞效应的测量。2.根据权利要求1所述的一种测量高反射倾斜镜迟滞效应的方法，其特征在于：步骤(1)所述的激光光源为连续波激光器，其输出中心波长λ与高反射倾斜镜在该波长的反射率R

【专利技术属性】
技术研发人员：何星，田中州，杨康建，王帅，杨平，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：