金属或陶瓷粉末扫描电镜样品的制备方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种金属或陶瓷粉末扫描电镜样品的制备方法及装置，涉及材料检测技术领域。本发明专利技术提供的金属或陶瓷粉末扫描电镜样品的制备方法，包括以下步骤：将金属镶嵌料进行悬浮熔化，熔融的金属镶嵌料落入待检测粉末材料中，对待检测粉末材料进行镶嵌，得到金属或陶瓷粉末扫描电镜样品。本发明专利技术能够实现短时间内制备镶嵌牢固的金属或陶瓷粉末扫描电子显微镜样品，显著提高粉末材料扫描电镜样品的分析表征质量。析表征质量。析表征质量。

【技术实现步骤摘要】
金属或陶瓷粉末扫描电镜样品的制备方法及装置


[0001]本专利技术涉及材料检测
，具体涉及一种金属或陶瓷粉末扫描电镜样品的制备方法及装置。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(SEM)是一种利用聚焦高能电子束扫描样品表面，通过对电子束与样品相互作用产生的多种信号进行收集分析获得样品表面形貌的精密仪器。其放大倍数大、景深大同时结合其他设备可以实现对材料元素组成、晶体学特征等信息的收集，在材料研究领域发挥着重要作用，可用于陶瓷、金属、高分子等多种材料结构与形貌的表征。
[0003]粉末材料是扫描电子显微镜样品制备的难点之一。由于粉末材料尺寸小、质量轻，因此在采用扫描电子显微镜观测样品时常采用导电胶带黏附、冷镶嵌或热镶嵌的方法进行固定。然而黏附固定的细小的颗粒在测试过程中很容易漂浮，从而导致扫描电子显微镜高真空腔体的污染。而冷镶嵌通常采用树脂材料进行包覆，树脂较差的导电性会导致成像效果降低，难以在高倍数下对材料进行清晰表征。热镶嵌需要在加热的同时施加压力，部分对温度与应力敏感的材料易遭到破坏。电子背散射衍射(EBSD)是一种装配在扫描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属或陶瓷粉末扫描电镜样品的制备方法，包括以下步骤：将金属镶嵌料进行悬浮熔化，熔融的金属镶嵌料落入待检测粉末材料中，对待检测粉末材料进行镶嵌，得到金属或陶瓷粉末扫描电镜样品；所述待检测粉末材料为金属粉末和陶瓷粉末中的一种或几种。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述待检测粉末材料的直径为微米级～毫米级。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属镶嵌料的熔点低于待检测粉末材料的熔点，且熔融的金属镶嵌料不与待检测粉末材料发生反应。4.根据权利要求1或3所述的制备方法，其特征在于，所述悬浮熔化的温度为金属镶嵌料熔化后过热50～300K。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属镶嵌料包括金属单质或合金。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮莹，杨明辉，魏炳波，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：