干涉轮廓设备振动状态的确定方法、装置及测量系统制造方法及图纸

本申请公开了一种干涉轮廓设备振动状态的确定方法、装置及测量系统。其中，该方法包括：响应于采集指令，控制干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取多帧干涉信号中相邻信号间的信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；依据比较结果确定振动系数，并确定干涉信号的采集频率；基于振动系数和采集频率确定干涉轮廓设备的振动状态。该方法通过利用干涉轮廓设备自身的信号采集设备采集干涉信号进行测量的方式，无需额外添加设备降低成本同时解决无法实时准确地监测振动数据，根据振动数据确定振动状态的技术问题。根据振动数据确定振动状态的技术问题。根据振动数据确定振动状态的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
干涉轮廓设备振动状态的确定方法、装置及测量系统


[0001]本申请涉及振动测量领域，具体而言，涉及一种干涉轮廓设备振动状态的确定方法、装置及测量系统。

技术介绍

[0002]光学干涉法是利用光的干涉现象进行干涉图像采集并分析计算得到表面高度差，从而获得表面三维形貌。光学干涉法具有非接触、检测速度快、纵向分辨率高等优点，被广泛应用于表面形貌测量中。由于干涉轮廓装置是微纳米级的测量系统，检测时受振动影响很大。而目前干涉轮廓装置测量振动的方法是使用额外的测振仪人工获取某段时间内的振动数据或测试人员肉眼观察采集到的干涉信号图像条纹跳动现象，使用测振仪不仅增添成本且测量现场因环境等变化振动情况不断改变，测振仪无法实时在线地反应干涉轮廓装置的振动数据，肉眼观察也无法准确地判断是否达到干涉轮廓装置在振动方面可测量的条件。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供了一种干涉轮廓设备振动状态的确定方法及装置，无需额外添加设备降低成本同时解决无法实时准确地监测振动数据，根据振动数据确定振动状态以及高成本的技术问题。
[0004]根据本申请实施例的一个方面，提供了一种干涉轮廓设备振动状态的确定方法，包括：响应于采集指令，控制干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取多帧干涉信号中相邻信号间的信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；依据比较结果确定振动系数，并确定多帧干涉信号的采集频率；基于振动系数和采集频率确定干涉轮廓设备的振动状态。
[0005]可选地，依据比较结果确定振动系数，包括：确定多帧干涉信号中每一帧干涉信号的信号强度；确定每一帧干涉信号与相邻干涉信号的信号强度差值；将各个信号强度差值的大小进行比较，在比较结果中确定各个信号强度差值中的最大值；将最大值确定为振动系数。
[0006]可选地，确定每一帧干涉信号与相邻干涉信号的信号强度差值，包括：遍历每一帧干涉信号中的所有像素点，确定每一帧干涉信号中所有像素点的灰度值；确定每一帧干涉信号中每个像素点灰度值与相邻干涉信号中相同位置的像素点灰度值的差值；将各个像素点灰度值的差值中的最大值确定为每一帧干涉信号与相邻干涉信号的信号强度差值。
[0007]可选地，基于振动系数确定干涉轮廓设备的振动变化量；基于采集频率确定干涉轮廓设备的振动频率；基于将振动变化量和振动频率，得到干涉轮廓设备的振动量；基于振动量确定振动状态。
[0008]可选地，基于振动变化量和振动频率加权求和、做差、做商、乘积中的一种计算，得到干涉轮廓设备的振动量。
[0009]可选地，基于采集频率确定干涉轮廓设备的振动频率，包括：确定目标帧干涉信号中振动变化量最大的像素点所在的目标位置，其中，目标帧信号属于多帧干涉信号；在目标位置按照采集频率采集信号，并确定采集到的信号数量；将信号数量与采集频率的积确定为干涉轮廓设备的振动频率。
[0010]可选地，基于振动量确定振动状态，还包括：在所述干涉轮廓设备的振动量小于预设振动量阈值的情况下，显示所述干涉轮廓设备的振动状态，用于表征所述干涉轮廓设备达到测量要求。
[0011]根据本申请实施例的另一个方面，还提供了一种干涉轮廓设备振动状态测量系统，包括：目标处理器和干涉轮廓设备；目标处理器与干涉轮廓设备连接；目标处理器用于响应于采集指令，控制干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取多帧干涉信号中相邻信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；依据比较结果确定振动系数，并确定多帧干涉信号的采集频率；基于振动系数和采集频率确定干涉轮廓设备的振动量，根据振动量确定振动状态；在所述干涉轮廓设备的振动量小于预设振动量阈值的情况下，目标处理器还用于控制所述干涉轮廓设备测量被测物体。
[0012]根据本申请实施例的另一个方面，还提供了一种干涉轮廓设备振动状态的确定装置，包括：采集模块，用于响应于采集指令，控制干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取模块，用于获取多帧干涉信号中相邻信号间的信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；第一确定模块，用于依据比较结果确定振动系数，并确定多帧干涉信号的采集频率；第二确定模块，用于基于振动系数和采集频率确定干涉轮廓设备的振动状态。
[0013]根据本申请实施例的再一个方面，还提供了一种非易失性存储介质，非易失性存储介质包括存储的程序，其中，在程序运行时控制非易失性存储介质所在设备执行上述干涉轮廓设备振动状态的确定方法。
[0014]根据本申请实施例的再一个方面，还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，处理器用于运行程序，其中，程序运行时执行上述干涉轮廓设备振动状态的确定方法。
[0015]在本申请实施例中，通过利用干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取多帧干涉信号中相邻信号间的信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；依据比较结果确定振动系数，并确定所述多帧干涉信号的采集频率；基于所述振动系数和所述采集频率确定所述干涉轮廓设备的振动状态的方式，达到了直接利用干涉轮廓设备来确定所述干涉轮廓设备的振动状态的效果，该方法避免了利用人工肉眼去观测干涉轮廓设备的振动状态，只需要利用现有的干涉轮廓设备就可以实现对振动状态的确定，进而解决无法实时准确地监测振动数据，根据振动数据确定振动状态的技术问题。
附图说明
[0016]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0017]图1是根据本申请实施例的一种干涉轮廓设备的振动状态的确定方法的计算机终端(或移动设备)的硬件结构框图；
[0018]图2是根据本申请的一种干涉轮廓设备的振动状态的确定方法的流程示意图；
[0019]图3根据本申请实施例的一种Mirau型干涉轮廓设备结构示意图；
[0020]图4是根据本申请实施例的一种Linnik型干涉轮廓设备结构示意图；
[0021]图5是根据本申请实施例的一种Michelson型干涉轮廓设备结构示意图；
[0022]图6是根据本申请实施例的一种Fizeau型干涉轮廓设备结构示意图；
[0023]图7是根据本申请实施例的一种Twyman
‑
Green型干涉轮廓设备结构示意图；
[0024]图8是根据本申请实施例的一帧可选的干涉信号示意图；
[0025]图9a至图9e是根据本申请实施例的连续五帧干涉信号示意图；
[0026]图10是根据本申请实施例的一种可选的振动系数确定方法流程示意图；
[0027]图11是根据本申请实施例的一种可选的每一帧干涉信号与相邻帧干涉信号的信号强度差值确定方法流程示意图；
[0028]图12是根据本申请实施例的一种可选的基于振动系数和采集频率确定干涉轮廓设备的振动状态的方法流程示意图；
[0029]图13是根据本申请实施例的一种可选的基于采集频率确定干涉轮廓设备的振动频率的方法流程示意图；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干涉轮廓设备振动状态的确定方法，其特征在于，包括：响应于采集指令，控制干涉轮廓设备中的信号采集模块采集多帧干涉信号；获取所述多帧干涉信号中相邻信号间的信号强度差值，并比较各个信号强度差值的大小；依据比较结果确定振动系数，并确定所述多帧干涉信号的采集频率；基于所述振动系数和所述采集频率确定所述干涉轮廓设备的振动状态。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，依据比较结果确定振动系数，包括：确定所述多帧干涉信号中每一帧干涉信号的信号强度；确定所述每一帧干涉信号与相邻干涉信号的信号强度差值；将所述各个信号强度差值的大小进行比较，在所述比较结果中确定所述各个信号强度差值中的最大值；将所述最大值确定为所述振动系数。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定所述每一帧干涉信号与相邻干涉信号的信号强度差值，包括：遍历所述每一帧干涉信号中的所有像素点，确定所述每一帧干涉信号中所有像素点的灰度值；确定所述每一帧干涉信号中每个像素点灰度值与相邻干涉信号中相同位置的像素点灰度值的差值；将各个所述像素点灰度值的差值中的最大值确定为所述每一帧干涉信号与相邻干涉信号的信号强度差值。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述振动系数和所述采集频率确定所述干涉轮廓设备的振动状态，包括：基于振动系数确定所述干涉轮廓设备的振动变化量；基于所述采集频率确定所述干涉轮廓设备的振动频率；基于所述振动变化量和所述振动频率，得到所述干涉轮廓设备的振动量；基于振动量确定振动状态。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，基于所述振动变化量和所述振动频率加权求和、做差、做商、乘积中的一种计算，得到所述干涉轮廓设备的振动量。6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述基于所述采集频率确定所述干涉轮廓设备的振动频率，包括：确定目标帧干涉信号中所述振动...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙焱群，夏勇，
申请(专利权)人：长川科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：