光学检测装置和膜测试设备制造方法及图纸

本技术涉及一种光学检测装置和膜测试设备，其能够减少光路元件，更易于实现光路的小型化。该光学检测装置包括照明光源、光谱仪、筒镜、光纤组件以及物镜。该光纤组件包括光源光纤和光谱仪光纤；该光源光纤的照明输入端被独立布置以面向该照明光源；该光谱仪光纤的反射输出端被独立布置以面向该光谱仪；该光源光纤的照明输出端和该光谱仪光纤的反射输入端以该筒镜的光轴为对称轴被中心对称地布置且共同面向该筒镜，用于使经由该照明输出端输出的照明光传播至该筒镜以被调制，并使经由该筒镜调制的反射光传播至该反射输入端以被传输。该物镜与该筒镜同光轴地布置，并且该筒镜位于该物镜和该光纤组件之间的光路中。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及薄膜检测，特别是涉及一种光学检测装置和膜测试设备。

技术介绍

1、随着科学技术的发展，薄膜作为特殊形态的材料，已广泛渗透到当代科技的各个领域，而各种特殊用途对薄膜技术与薄膜材料提出了各种各样的要求。众所周知，薄膜的厚度影响着薄膜的光学性能、力学性能以及电磁性能等，如在半导体生产中，大多数半导体器件和集成电路的主体结构，通常是由各种形状和尺寸的薄层构成，其厚度和均匀性将直接决定了半导体材料的性能。由于薄膜的厚度通常很薄，一般在纳米至微米量级范围内，因此准确地测控薄膜厚度已经成为一种关键性技术。

2、目前，常用的测试方法一般可分为接触式测试和非接触式测试：接触式测试方法在接触过程中可能在薄膜表面产生划痕，因而有瑕疵；而非接触式测试方法通常是利用光学方法对薄膜进行测试，一般能够实现无损检测，已经成为薄膜测试的首选方法。例如，非接触式测试方法中的反射光谱法是利用薄膜的反射率来计算薄膜的光学常数，是测量薄膜的常用方法；其测量原理为：光信号入射到薄膜结构并反射，并利用光谱仪采集宽波段上反射光谱，以通过标准样品比对计算其反射率曲线，最后将该曲线与理本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.光学检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述光源光纤(41)的所述照明输出端(412)和所述光谱仪光纤(42)的所述反射输入端(422)沿着所述筒镜(30)的光轴方向同端安装，以形成所述光纤组件(40)的合束端(400)；所述光纤组件(40)的所述合束端(400)与所述筒镜(30)同光轴地布置。

3.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述筒镜(30)被可移动地设置于所述物镜(50)和所述光纤组件(40)的所述合束端(400)之间的光路中，用于调节所述筒镜(30)与所述物镜(50)的前焦面(500)之间的距...

【技术特征摘要】

1.光学检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述光源光纤(41)的所述照明输出端(412)和所述光谱仪光纤(42)的所述反射输入端(422)沿着所述筒镜(30)的光轴方向同端安装，以形成所述光纤组件(40)的合束端(400)；所述光纤组件(40)的所述合束端(400)与所述筒镜(30)同光轴地布置。

3.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述筒镜(30)被可移动地设置于所述物镜(50)和所述光纤组件(40)的所述合束端(400)之间的光路中，用于调节所述筒镜(30)与所述物镜(50)的前焦面(500)之间的距离，以使经由所述筒镜(30)调制的照明光在所述物镜(50)的所述前焦面(500)上形成照明中继像。

4.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述物镜(50)被可移动地设置于所述筒镜(30)的物侧，用于调节所述物镜(50)分别与所述筒镜(30)和该待测样品之间的距离，使得经由所述筒镜(30)调制成的照明中继像和经由所述物镜(50)调制成的反射中继像以所述光轴(300)为对称轴被中心对称地分布于所述物镜(50)的前焦面(500)。

5.根据权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述光学检测装置进一步包括用于承载该待测样品...

【专利技术属性】
技术研发人员：王劫予，李金，张金标，
申请(专利权)人：长川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：