一种高纯气体系统测试用工装夹具技术方案

本实用新型专利技术公开了一种高纯气体系统测试用工装夹具，包括固定底座，固定底座上设有圆形槽，圆形槽上安装有测试接头，测试接头由与圆形槽尺寸匹配的块体和外螺纹结构不同的柱体组成，固定底座的中心处设有环形凹圈，环形凹圈与底座之间形成凸起柱，凸起柱的外表面设有密封圈，密封圈位于环形凹圈内，螺孔与锁紧螺丝结构匹配，固定底座内部水平设有流道，流道为两端宽、中间窄的收孔结构设计。外界管道与流道通过对焊的方式连接在一起，被测试的工件直接安装在测试接头的柱体上，针对不同被测工件的阀门或管件，只需要准备多个具有不同外螺纹结构柱体的测试接头，松开锁紧螺丝，就可以实现快速更换高纯气体系统测试用工装夹具。以实现快速更换高纯气体系统测试用工装夹具。以实现快速更换高纯气体系统测试用工装夹具。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯气体系统测试用工装夹具


[0001]本技术涉及测试工装
，具体为一种高纯气体系统测试用工装夹具。

技术介绍

[0002]半导体的芯片或者半导体行业用设备、配件都受到产品交付的困扰。越来越多的国内企业开始投产生产半导体用零配件，特别是半导体用的高纯管阀件。
[0003]半导体用的管阀件，必须在高等级的无尘室里面进行装配和测试，产品的测试使用的气体也是高纯气体，这就对产品测试用的工艺装备提出了更高的要求。
[0004]传统的测试装备，大多采用螺纹连接，连接接口多，管道内流体死区很多，一方面藏污纳垢，不能满足高纯气体测试的要求。另外一方面，为了减少连接和死区，就大量采用焊接结构，导致测试工装只能一对一配套产品，灵活性和通用性很差。

技术实现思路

[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术的目的是提供一种高纯气体系统测试用工装夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高纯气体系统测试用工装夹具，包括固定底座，固定底座上设有圆形槽，圆形槽上安装有测试接头，测试接头由与圆形槽尺寸匹配的块体和外螺纹结构不同的柱体组成，固定底座的中心处设有环形凹圈，环形凹圈与底座之间形成凸起柱，凸起柱的外表面设有密封圈，密封圈位于环形凹圈内。
[0009]进一步的，测试接头的块体上设有锁紧螺丝，且锁紧螺丝为沉头设计。
[0010]进一步的，测试接头的块体以及圆形槽的底部设有螺孔，螺孔与锁紧螺丝结构匹配。
[0011]进一步的，固定底座内部水平设有流道，流道为两端宽、中间窄的收孔结构设计。
[0012]进一步的，凸起柱内部与流道连通，测试接头的柱体与凸起柱的上端面连通。
[0013](三)有益效果
[0014]本技术提供了一种高纯气体系统测试用工装夹具，具有以下有益效果：
[0015]1、外界管道与流道通过对焊的方式连接在一起，被测试的工件直接安装在测试接头的柱体上，针对不同被测工件的阀门或管件，只需要准备多个具有不同外螺纹结构柱体的测试接头，松开锁紧螺丝，就可以实现快速更换高纯气体系统测试用工装夹具。固定底座和测试接头采用分体式结构设计，测试不同的产品，只需要更换不同的测试接头就可以实现，可以大幅度降低测试工装的成本费用。
[0016]2、连通区域为电解抛光的内表面，内无气体死区，不会留存杂质，造成系统污染，可以保证测试气流的顺畅和洁净度。
附图说明
[0017]图1是本技术的使用场景的示意图。
[0018]图2是本技术工装夹具的分解示意图。
[0019]图3是本技术工装夹具的组合示意图。
[0020]图4是本技术工装夹具的剖视图。
[0021]图5是本技术的密封点示意图。
[0022]图中：4
‑
固定底座；40
‑
圆形槽；5
‑
测试接头；51
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块体；52
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柱体；401
‑
环形凹圈；402
‑
凸起柱；6
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密封圈；7
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锁紧螺丝；8
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螺孔；9
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流道；10
‑
密封点。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0024]下面根据本技术的整体结构，对其实施例进行说明。
[0025]一种高纯气体系统测试用工装夹具，如图1
‑
5所示，包括固定底座1，固定底座1上设有圆形槽40，圆形槽40上安装有测试接头5，测试接头5由与圆形槽40尺寸匹配的块体51和外螺纹结构不同的柱体52组成，固定底座1的中心处设有环形凹圈401，环形凹圈401与底座之间形成凸起柱402，凸起柱402的外表面设有密封圈6，密封圈6位于环形凹圈401内，凸起柱402和测试接头5采用金属对金属的硬密封结构，密封点位置在凸起柱402的上端面，当金属硬密封长期使用导致磨损的时候，密封圈6能起到二次安全密封的作用。
[0026]测试接头5的块体51上设有锁紧螺丝7，且锁紧螺丝7为沉头设计，测试接头5的块体51以及圆形槽40的底部设有螺孔8，螺孔8与锁紧螺丝7结构匹配，锁紧螺丝7安装到测试接头5的平面略低，可以保护操作者，在装拆零件的时候，不会发生擦刮伤。
[0027]固定底座1内部水平设有流道9，流道9为两端宽、中间窄的收孔结构设计，该设计是为了最大限度减小内部容积，因为测试用高纯气体介质的成本都非常高，内部容积的减小都代表了测试成本的降低。
[0028]凸起柱402内部与流道9连通，测试接头5的柱体52与凸起柱402的上端面连通，连通区域为电解抛光的内表面，不会沾染任何灰尘和杂质，可以保证测试气流的顺畅和洁净度。流道9与外界管道通过对焊的方式连接在一起，被测试的工件直接安装在测试接头5的柱体52上。
[0029]工作原理：外界管道与流道9通过对焊的方式连接在一起，被测试的工件直接安装在测试接头5的柱体52上，针对不同被测工件的阀门或管件，只需要准备多个具有不同外螺纹结构柱体52的测试接头5，松开锁紧螺丝7，就可以实现快速更换高纯气体系统测试用工装夹具，测试不同产品(被测工件)的目的，凸起柱402内部与流道9连通，测试接头5的柱体52与凸起柱402的上端面连通，连通区域为电解抛光的内表面，不会沾染任何灰尘和杂质，可以保证测试气流的顺畅和洁净度。
[0030]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，但本具体实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对技术的限制，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合，本领域技术人员在阅读完本说明书后可在
不脱离本技术的原理和宗旨的情况下，可以根据需要对实施例做出没有创造性贡献的修改、替换和变型等，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯气体系统测试用工装夹具，包括固定底座(1)，其特征在于：固定底座(1)上设有圆形槽(40)，圆形槽(40)上安装有测试接头(5)，测试接头(5)由与圆形槽(40)尺寸匹配的块体(51)和外螺纹结构不同的柱体(52)组成，固定底座(1)的中心处设有环形凹圈(401)，环形凹圈(401)与底座之间形成凸起柱(402)，凸起柱(402)的外表面设有密封圈(6)，密封圈(6)位于环形凹圈(401)内。2.根据权利要求1所述的一种高纯气体系统测试用工装夹具，其特征在于：测试接头(5)的块体(51)上设有锁紧螺丝(7)，且锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：方卫，
申请(专利权)人：上海亦觉流体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：