一种新型的不停机换液装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种新型的不停机换液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有冷水管，所述冷水管的顶部一侧设置有抛光液回收箱，所述抛光液回收箱的一侧设置有温度传感器，所述冷水管的一侧表面设置有液位传感器，所述冷水管一侧的底座顶部设置有供液泵，所述冷水管靠近底部的一侧设置有抛光液出口，所述抛光液出口与供液泵之间通过管道贯通连接。该一种新型的不停机换液装置，采用抛光机同时连接一主、一副两组供液系统实现不停机换液，减少传统的停机换液造成的工时浪费，减少停机造成大盘温度变化对产品几何参数造成的影响，有效的实现抛光机的抛光液寿命到期后，直接切换加入新抛光液的副TANK系统供液，达到不停机换液的目的。的。的。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的不停机换液装置


[0001]本专利技术涉及半导体材料硅片加工
，具体为一种新型的不停机换液装置。

技术介绍

[0002]在半导体材料硅片抛光工序中，有三道粗抛，抛光机使用的抛光液每循环使用几个小时后就需要更换新的抛光液，传统的换液方式是先将抛光机停止运行，然后将TANK内到寿命的抛光液排空并加注新液，然后重新开机运行，抛光机停机换液影响生产效率，停机造成大盘温度变化影响产品几何参数。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种新型的不停机换液装置，以解决上述
技术介绍
中提出的传统换液方式是先将抛光机停止运行，然后将TANK内到寿命的抛光液排空并加注新液，然后重新开机运行，抛光机停机换液影响生产效率，停机造成大盘温度变化影响产品几何参数的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型的不停机换液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有冷水管，所述冷水管的顶部一侧设置有抛光液回收箱，所述抛光液回收箱的一侧设置有温度传感器，所述冷水管的一侧表面设置有液位传感器，所述冷水管一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的不停机换液装置，包括底座(5)，其特征在于：所述底座(5)的顶部一侧设置有冷水管(8)，所述冷水管(8)的顶部一侧设置有抛光液回收箱(13)，所述抛光液回收箱(13)的一侧设置有温度传感器(14)，所述冷水管(8)的一侧表面设置有液位传感器(12)，所述冷水管(8)一侧的底座(5)顶部设置有供液泵(4)，所述冷水管(8)靠近底部的一侧设置有抛光液出口(7)，所述抛光液出口(7)与供液泵(4)之间通过管道贯通连接。2.根据权利要求1所述的一种新型的不停机换液装置，其特征在于：所述供液泵(4)的顶部一侧设置有供液泵出口(3)，且冷水管(8)靠近底部的一侧设置有排液口(17)。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹文宝，黄盛军，王维师，白苏宁，王锴，菅明辉，曹锦伟，李仕权，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
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