压力传感装置与其制造方法制造方法及图纸

一种压力传感装置包括具有通孔的软性绝缘基材、填满通孔的感压材料、电极对以及覆盖层。通孔的宽度大于50微米及通孔的深宽比大于2。感压材料的厚度实质上相同于软性绝缘基材的厚度。电极对具有第一电极及第二电极，其中软性绝缘基材位于第一电极与第二电极之间，而第一电极与第二电极通过感压材料而彼此电性连接。覆盖层设置在软性绝缘基材及感压材料上，其中覆盖层与软性绝缘基材之间的杨氏模量差值相对于软性绝缘基材小于50％。借此，提升压力传感装置的精度以提升压力感测装置的感测准确度。测准确度。测准确度。

【技术实现步骤摘要】
压力传感装置与其制造方法


[0001]本申请是有关于一种压力传感装置与其制造方法。

技术介绍

[0002]压力传感装置可感测到用户施加在其上的压力，借由压力产生的形变转换为电信号或者其他所需形式的信息输出。感力传感装置输出的信号可触发反馈模块，进而提供用户直观的感受，举例来说，触摸板可依据使用者不同的施压力度而提供不同的震动反馈。若是压力感测装置无法提供准确的信号，可能使反馈模块无法提供正确的反馈，则会造成使用者感知错误或操作不便。
[0003]当压力传感装置对非平面待测物进行压力量测时，压力感测装置因服贴于待测物的非平面表面上，使得压力传感器在开始量测前已发生形变，进而导致压力传感装置的感测精确度降低。因此，如何使压力传感装置的感测准确度不易受待测物的表面影响是非常重要的课题。

技术实现思路

[0004]根据本申请的一些实施例，一种压力传感装置包括具有通孔的软性绝缘基材、填满通孔的感压材料、电极对以及覆盖层。通孔的宽度大于50微米及通孔的深宽比大于2。感压材料的厚度实质上相同于软性绝缘基材的厚度。电极对具有第一电极及第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力传感装置，其特征在于，包括：软性绝缘基材，包括通孔，其中该通孔的宽度大于50微米及该通孔的深宽比大于2；感压材料，填满该通孔，该感压材料的厚度实质上相同于该软性绝缘基材的厚度；电极对，包括第一电极及第二电极，其中该软性绝缘基材位于该第一电极与该第二电极之间，而该第一电极与该第二电极通过该感压材料而彼此电性连接；以及覆盖层，设置在该软性绝缘基材及该感压材料上，其中该覆盖层与该软性绝缘基材之间的杨氏模量差值相对于该软性绝缘基材的杨氏模量小于50％。2.根据权利要求1所述的压力传感装置，其中该第一电极在该软性绝缘基材上的正投影与该第二电极在该软性绝缘基材上的正投影彼此分离。3.根据权利要求2所述的压力传感装置，其中该通孔为沟槽，该沟槽从该第一电极延伸至该第二电极。4.根据权利要求3所述的压力传感装置，其中该第一电极及该第二电极设置在该软性绝缘基材的同一侧上。5.根据权利要求3所述的压力传感装置，其中该沟槽的宽度至少大于50微米。6.根据权利要求1所述的压力传感装置，其中该电极组的材料包括银。7.一种制造压力传感装置的方法，其特征在于，包括：提供软性绝缘基材...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐筱婷，何明展，
申请(专利权)人：庆鼎精密电子淮安有限公司，
类型：发明
国别省市：