退膜设备制造技术

本发明专利技术涉及一种退膜设备，包括机架，机架上设置有退膜腔体，退膜腔体的局部腔壁由启闭式的腔室门构成，退膜腔体上设置有用于撑托待退膜设备的载物台、用于输出等离子体束流的阳极层离子源装置、用于对退膜腔体进行抽气的抽气装置以及供应工艺气体的供气装置，阳极层离子源装置和载物台相对应布置。本发明专利技术提供的上述方案，可以有效解决退膜处理时导致工件损坏的情形，且适用于精密模具的退膜处理。且适用于精密模具的退膜处理。且适用于精密模具的退膜处理。

【技术实现步骤摘要】
退膜设备


[0001]本专利技术涉及镀膜领域，具体涉及一种退膜设备。

技术介绍

[0002]目前市场上的退膜设备，主要采用辉光放电的方式对工件进行退膜，这种方式往往会出现过渡退膜导致工件本身损坏的情况，从而给用户带来不必要的损失，不适合精密模具等产品的退膜需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种退膜设备，其可以防止退膜处理时造成工件损坏。
[0004]本专利技术采取的技术方案具体为：一种退膜设备，其特征在于：包括机架，机架上设置有退膜腔体，退膜腔体的局部腔壁由启闭式的腔室门构成，退膜腔体上设置有用于撑托待退膜设备的载物台、用于输出等离子体束流的阳极层离子源装置、用于对退膜腔体进行抽气的抽气装置以及供应工艺气体的供气装置，阳极层离子源装置和载物台相对应布置。
[0005]具体的方案为：载物台转动装配，载物台与驱动其进行转动的驱动机构相连接。
[0006]载物台与偏压装置相连接。
[0007]载物台上设置有对载物台上待退膜的工件进行冷却的冷却机构。
[0008]载物台包括冷却盘，冷却机构包括冷却盘内部设置的冷却腔室，冷却盘转动装配并与驱动机构相连接，冷却腔室与冷却水循环装置相连接。
[0009]冷却盘上表面中部设置有半球形的凸起部。
[0010]还包括对各装置运行状态进行调控的控制装置，腔室门用于组成退膜腔体的顶壁，腔室门翻转式装配，腔室门与调解期进行翻转的启闭机构相连接。
[0011]退膜腔体的前侧侧壁上设置有用于观察退膜腔体内退膜情况的观察窗。
[0012]阳极层离子源装置安装在腔室门上，启闭机构包括机架设置的第一气缸和第二气缸，第一气缸的活塞杆与腔室门的顶部铰接连接，第一气缸采用向上拉动腔室门的方式翻转打开腔室门，第二气缸的活塞杆与腔室门的侧边部铰接连接，第二气缸采用向上顶撑腔室门的方式翻转打开腔室门。
[0013]冷却盘装配在竖直布置的轴体的顶端，轴体的轴身上套设有内套管，内套管上套设有外套管，内套管、外套管和轴体装配固接为一体组成构成驱动机构的驱动轴体，驱动轴体转动安装在机架上设置的安装座上，内套管和外套管之间形成A腔道，内套管和外套管之间形成B腔道，外套管的下端管壁上设置有A孔，内套管的下端延伸至外套管下端的下侧且位于外套管下侧的内套管的管身上设置有B孔，A孔处装配有A旋转接头部，B孔处装配有B旋转接头部，A旋转接头部和B旋转接头部固定装配在安装座上，A旋转接头部和B旋转接头部上分别设置用于连接冷却水循环装置的A接口和B接口，轴体的下端延伸设置至内套管的下侧并与偏压装置相连接，冷却盘呈圆形，冷却腔室的中部设置有用于与驱动轴体进行装配的圆形装配部，圆形装配部的外围还依次设置有A环形分隔件、B环形分隔件，B环形分隔件
和冷却盘内壁之间形成C夹腔部，A环形分隔件和B环形分隔件之间形成B夹腔部，圆形装配部和A环形分隔件之间形成A夹腔部，B环形分隔件上设置有B缺口部，B环形分隔件和冷却盘内壁之间设置有C分隔件，C分隔件将B缺口部分隔形成B1连接口和B2连接口，A环形分隔件上设置有A缺口部，A环形分隔件和B环形分隔件之间设置有B分隔件，B分隔件将A缺口部分隔形成A1连接口和A2连接口，圆形装配部和A环形分隔件之间设置有A分隔件，A分隔件位于B分隔件、C分隔件之间，B分隔件、C分隔件将B夹腔部分隔成B1腔体和B2腔体，A分隔件、B分隔件将A夹腔部分割成A1腔体和A2腔体，圆形装配部上设置A连接口和B连接口，A腔道通过A连接口与A1腔体相连通连接，A1腔体通过A1连接口与B1腔体相连通连接，B1腔体通过B1连接口与C腔体相连通连接，C腔体通过B2连接口与B2腔体相连通连接，B2腔体通过A2连接口与A2腔体相连通连接，A2腔体通过B连接口与B腔道相连通连接，外套管的中部设置用于连接驱动机构的驱动件。
[0014]本专利技术提供的上述方案，可以有效解决退膜处理时导致工件损坏的情形，且适用于精密模具的退膜处理。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的结构示意图。
[0016]图2为腔室门打开状态的结构示意图。
[0017]图3为驱动轴和冷却盘装配状态示意图。
[0018]图4为图3的剖视图。
[0019]图5为冷却盘的剖视图。
[0020]图6为冷却腔室内部流道分隔示意简图。
[0021]图7为内轴套、外轴套的结构示意图。
[0022]图8为图7的剖视示意图。
[0023]10
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机架、11
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腔室门、12
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操作把手、13
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第一气缸、14
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第二气缸、15
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观察窗、20
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冷却盘、21
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凸起部、22
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冷却腔室、23
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A连接口、24
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B连接口、30
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控制装置、40
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安装座、41
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轴体、411
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A腔道、412
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B腔道、413
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A孔、414
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B孔、42
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内套管、43
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外套管、44
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A旋转接头部、45
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B旋转接头部、46
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A接口、47
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B接口、48
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绝缘件、51
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驱动件、52
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偏压装置、61
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圆形装配部、62
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A环形分隔件、63
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B环形分隔件、64
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冷却盘内壁、65
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A分隔件、66
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B分隔件、67
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C分隔件。
具体实施方式
[0024]为了使本专利技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本专利技术进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本专利技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本专利技术具体请求的保护范围进行严格限定。
[0025]如图1
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4所示，一种退膜设备，包括机架10，机架10上设置有退膜腔体，退膜腔体的局部腔壁由启闭式的腔室门11构成，退膜腔体上设置有用于撑托待退膜设备的载物台、用于输出等离子体束流的阳极层离子源装置、用于对退膜腔体进行抽气的抽气装置以及供应工艺气体的供气装置，阳极层离子源装置和载物台相对应布置。具体的方案为：载物台转动装配，载物台与驱动其进行转动的驱动机构相连接。载物台与偏压装置52相连接。载物台上设置有对载物台上待退膜的工件进行冷却的冷却机构。载物台包括冷却盘20，冷却机构包
括冷却盘20内部设置的冷却腔室22，冷却盘20转动装配并与驱动机构相连接，冷却腔室22与冷却水循环装置相连接。退膜腔体的前侧侧壁上设置有用于观察退膜腔体内退膜情况的观察窗1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退膜设备，其特征在于：包括机架，机架上设置有退膜腔体，退膜腔体的局部腔壁由启闭式的腔室门构成，退膜腔体上设置有用于撑托待退膜设备的载物台、用于输出等离子体束流的阳极层离子源装置、用于对退膜腔体进行抽气的抽气装置以及供应工艺气体的供气装置，阳极层离子源装置和载物台相对应布置。2.根据权利要求1所述的退膜设备，其特征在于：载物台转动装配，载物台与驱动其进行转动的驱动机构相连接。3.根据权利要求1所述的退膜设备，其特征在于：载物台与偏压装置相连接。4.根据权利要求1或2或3所述的退膜设备，其特征在于：载物台上设置有对载物台上待退膜的工件进行冷却的冷却机构。5.根据权利要求1或2或3所述的退膜设备，其特征在于：载物台包括冷却盘，冷却机构包括冷却盘内部设置的冷却腔室，冷却盘转动装配并与驱动机构相连接，冷却腔室与冷却水循环装置相连接。6.根据权利要求5所述的退膜设备，其特征在于：冷却盘上表面中部设置有半球形的凸起部。7.根据权利要求1或2或3所述的退膜设备，其特征在于：还包括对各装置运行状态进行调控的控制装置，腔室门用于组成退膜腔体的顶壁，腔室门翻转式装配，腔室门与调解期进行翻转的启闭机构相连接。8.根据权利要求1或2或3所述的退膜设备，其特征在于：退膜腔体的前侧侧壁上设置有用于观察退膜腔体内退膜情况的观察窗。9.根据权利要求7所述的退膜设备，其特征在于：阳极层离子源装置安装在腔室门上，启闭机构包括机架设置的第一气缸和第二气缸，第一气缸的活塞杆与腔室门的顶部铰接连接，第一气缸采用向上拉动腔室门的方式翻转打开腔室门，第二气缸的活塞杆与腔室门的侧边部铰接连接，第二气缸采用向上顶撑腔室门的方式翻转打开腔室门。10.根据权利要求5所述的退膜设备，其特征在于：冷却盘装配在竖直布置的轴体的顶端，轴体的轴身上套设有内套管，内套管上套设有外套...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，汪鹏，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：