一种新型直槽口底加热器制造技术

本实用新型专利技术属于直拉单晶加热炉技术领域，具体涉及一种新型直槽口底加热器。本实用新型专利技术提供了一种新型直槽口底加热器，包括加热体，加热体包括：一加热环，加热环的左右两端分别串联连接有第一加热体和第二加热体，第一加热体和第二加热体远离加热环的一端分别一体成型串联一个电极，每个电极上开设有一个电极孔，两个电极孔的连线为第一轴线，电极孔为沿第一轴线延伸的长条形通孔；第一加热体包括两个相互并联且以第一轴线为轴对称设置的蛇形加热体，第一加热体、第二加热体和加热环一体成型设置。本实用新型专利技术采用轴对称的加热体结构，变形更均匀可控，同时电极上的电极孔采用长条形通孔，抵消变形带来的孔位移，使加热器更容易安装。更容易安装。更容易安装。

【技术实现步骤摘要】
一种新型直槽口底加热器


[0001]本技术属于直拉单晶加热炉
，具体涉及一种新型直槽口底加热器。

技术介绍

[0002]直拉单晶硅的生长过程中首先要将多晶硅原料装于石英坩锅内并在1420℃以上的温度下熔融，温度稳定到目标温度后将确定晶向的单晶硅籽晶与熔体熔接后引晶，再经过放肩、转肩、等径、收尾、冷却等工序完成单晶硅的的生长过程，其整个过程在单晶加热炉内完成。
[0003]单晶炉使用的热场包括主加热器和底加热器，目前单晶炉的底加热器多采用串联的结构，材质多为等静压石墨，通过电极脚固定在加热炉内，然而等静压石墨抗拉强度较低，在通电升温降温的过程中，容易发生变形，变形之后整个底加热器将无法正常安装，由此可能引起加热器的返工甚至报废。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术存在的不足，提供了一种新型直槽口底加热器。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种新型直槽口底加热器，包括加热体，所述加热体包括：一加热环，所述加热环的左右两端分别串联连接有第一加热体和第二加热体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型直槽口底加热器，包括加热体和两个电极（2），其特征在于，所述加热体包括：一加热环（11），所述加热环（11）的左右两端分别串联连接有第一加热体（12）和第二加热体（13），所述第一加热体（12）和第二加热体（13）相互对称，所述第一加热体（12）和第二加热体（13）远离加热环（11）的一端分别一体成型串联一个电极（2），每个电极（2）上开设有一个电极孔（21），两个所述电极孔（21）的连线为第一轴线（3），电极孔（21）为沿所述第一轴线（3）延伸的长条形通孔；所述第一加热体（12）包括两个相互并联且以第一轴线（3）为轴对称设置的蛇形加热体（14），所述第一加热体（12）、第二加热体（13）和加热环（11）一体成型设置。2.根据权利要求1所述的一种新型直槽口底加热器，其特征在于：所述蛇形加热体（14）包括与所述加热环（11）相互同心且半径逐渐增大的四个加热条（141），四个所述加热条（141）通过三个弯曲部一体成型连接。3.根据权利要求2所述的一种新型直槽口底加热器，其特征在于：所述弯曲部从内到外分别为第...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭嘉伟，王楠，张宇辉，董智慧，
申请(专利权)人：乌海市京运通新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：