一种具备吸热器的40吋热场装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种具备吸热器的40吋热场装置，包括副室盲板观察窗和炉体，所述副室盲板观察窗外部开设有两组连接孔，且连接孔贯穿副室盲板观察窗两端面，所述副室盲板观察窗左侧连接有插销安装板，且插销安装板设置有两组，所述副室盲板观察窗中部安装有玻璃观察孔，所述副室盲板观察窗右端连接有活动紧箍，所述连接孔内部设置有连接水管，所述炉体内部开设有工作仓，该具备吸热器的40吋热场装置，通过设置换热管进行水冷吸热，能够快速降低炉内温度，通过纯水在换热管内部的流动间接带走炉内的温度，可以防止热场内部石墨件发生自燃的现象，提高了石墨件的热场的整体使用寿命。提高了石墨件的热场的整体使用寿命。提高了石墨件的热场的整体使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种具备吸热器的40吋热场装置


[0001]本专利技术涉及单晶硅生产
，具体为一种具备吸热器的40吋热场装置。

技术介绍

[0002]直拉法是生产单晶硅棒的最常用方法，主要用到的设备是单晶炉，在单晶硅生产中，目前主流的单晶炉有140炉、160炉型，随着产能的增加，投料量的加大，成本降低，160炉型会成为主流炉型，热场尺寸也由原来的32吋、36吋到现在的40吋热场，未来的40吋热场会逐步代替36吋热场，成为行业内的主流热场；提拉法制备单晶硅的生产过程包括以下工序：拆炉－装料－熔料－引晶－放肩－转肩－等径－收尾－RCZ加料－停炉，其中停炉工序，随着热场的增大，停炉到下一轮拆炉的时间也逐渐延长。
[0003]1、现有的工艺中通常采用大氩气来降温，带走的本身热量有限，短时间内无法达到拆炉条件，而现有的热场尺寸不断地增加，通过传统的氩气吹拂加自然冷却所耗费的时间也越来越长，浪费的工时严重，造成炉台产能低；
[0004]2、随着热场尺寸的增加，保温毡采用高效毡，层数的增加，炉内的热量也更多，更加集中无法快速散失。采用常规的氩气降温，无本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具备吸热器的40吋热场装置，包括副室盲板观察窗和炉体，其特征在于：所述副室盲板观察窗设计为圆环结构，其上开设有两组连接孔，且连接孔贯穿副室盲板观察窗前后两端面；所述副室盲板观察窗左侧连接有插销安装板，且插销安装板设置有两组，所述副室盲板观察窗中部安装有玻璃观察孔；所述副室盲板观察窗右端连接有活动紧箍，所述连接孔内部设置有连接水管，所述连接水管实现炉体内部与外部的水路连接；所述炉体内部开设有工作仓，所述工作仓设于副室的正下方，所述副室处装配有至少一个吸热器，所述吸热器可从副室内下降至加热器外周进行吸热。2.根据权利要求1所述的一种具备吸热器的40吋热场装置，其特征在于：所述连接水管外侧连接有外部水管，且连接水管与外部水管构成“L”形结构设计。3.根据权利要求1所述的一种具备吸热器的40吋热场装置，其特征在于：所述连接孔外围设置有螺栓孔，且螺栓孔以连接孔为中心环形阵列分布，所述连接水管外部连接有固定板，且固定板外部贯穿有...

【专利技术属性】
技术研发人员：马建强，徐志群，汪奇，马腾飞，
申请(专利权)人：高景太阳能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：