一种VCSELArray激光器综合测试系统技术方案

本发明专利技术公开一种VCSEL Array激光器综合测试系统，涉及芯片测试装置技术领域，包括：机架，内部设置有装配空间；测试台，安装于装配空间内部；支撑架，安装在测试台上，且支撑架上开设有测试口；位移组件，安装于测试台上；测试组件，安装在支撑架上，且测试组件的测试端与测试口相对应；测试组件包括拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块，拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块间隔安装于支撑架上，且拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块位于测试口的四周，本发明专利技术解决了现有技术中VCSEL激光器测试装置功能单一，影响检测效率的技术问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种VCSEL Array激光器综合测试系统


[0001]本专利技术涉及芯片测试装置
，尤其涉及一种VCSEL Array激光器综合测试系统。

技术介绍

[0002]VCSEL激光器作为通信应用已有是Vert i cal Cavity Surface Emitt ing Laser(垂直腔面发射激光器)的首字母缩写，即垂直腔表面发射激光器.VCSEL是一种半导体激光二极管，以砷化镓等半导体材料为基础研制，有别于LED(发光二极管)和LD(LaserDiode，激光二极管)等其他光源。与传统的边发射(Edgeemitter)激光器不同，VCSEL是从顶部表面垂直发射高功率光学激光束，具有体积小、圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小、工作温度范围大、价格低廉、易集成为大面积阵列等优点，在过去的30年时间里，广泛应用于光通信，光互连等领域。
[0003]随着近几年3D结构光、d
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TOF等测距传感领域的突破性发展，VCSEL阵列(VCSEL Array)芯片在人脸识别、3D建模、激光雷达等方面获得非常广泛的应用。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，包括：机架，内部设置有装配空间；测试台，安装于所述装配空间内部；支撑架，安装在所述测试台上，且所述支撑架上开设有测试口；位移组件，安装于所述测试台上；测试组件，安装在所述支撑架上，且所述测试组件的测试端与所述测试口相对应；所述测试组件包括拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块，所述拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块间隔安装于所述支撑架上，且所述拍摄定位模块、LIV测试模块、近场测试模块和远场测试模块位于所述测试口的四周。2.根据权利要求1所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，它还包括多个减震组件，所述减震组件间隔设置于所述机架内部，且所述减震组件的顶部与所述测试台的底部连接。3.根据权利要求2所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述减震组件为减震器或者减震垫。4.根据权利要求1所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述位移组件包括：第一伺服模组，安装在所述测试台上方；第二伺服模组，安装于所述第一伺服模组的活动端，且所述第二伺服模组与所述第一伺服模组垂直；冷却单元，安装在所述第二伺服模组的输出端，且所述冷却单元用于完成待检测件的夹持后控温。5.根据权利要求4所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述冷却单元包括：中转块，安装在所述第二伺服模组的输出端；隔热板，安装在所述中转块上；连接器，安装在所述中转块上，且所述连接器的连接端朝向所述隔热板；制冷块，安装在所述隔热板上，且制冷块上装配所述待检测件；盖板，装配于所述制冷块上，且所述盖板的底部与所述制冷块的顶部之间留有放置所述待检测件的间隙。6.根据权利要求5所述的VCSEL Array激光器综合测试系统，其特征在于，所述拍摄定位模块包括：拍摄定位支架，竖向安装于所述支撑架上；第一升降气缸，安装于所述拍摄定位支架的侧面；视觉定位模块，安装于所述第一升降气缸的活塞端，且所述视觉定位模块的拍摄端与所述测试口相对应，所述视觉定位模块在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华，李家桐，薛银飞，
申请(专利权)人：上海菲莱测试技术有限公司，
类型：发明
国别省市：