一种单色仪FP滤波片阵列透过率自动测试装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种单色仪FP滤波片阵列透过率自动测试装置及方法，应用于FP腔滤波片阵列的绝对透过率测试领域，针对现有技术，无法准确测出尺寸较小滤波片的绝对透过率，也无法计算出滤波片的准确半峰宽、峰值波长等信息，也无法做到自动测试的问题；本发明专利技术通过使用离轴镜准直加聚焦方式减少损失光源能量，通过准直镜将原本单色仪出射光发散的光源准直，通过光阑调节的光束使其能更好的匹配被测FP腔滤波片的大小，通过可三维移动载物台移动FP腔滤波片阵列，以达到自动化测试目的。以达到自动化测试目的。以达到自动化测试目的。

【技术实现步骤摘要】
一种单色仪FP滤波片阵列透过率自动测试装置及方法


[0001]本专利技术属于FP腔滤波片阵列的绝对透过率测试领域，特别涉及一种FP腔滤波片阵列的绝对透过率测试装置及技术。

技术介绍

[0002]FP腔是法布里
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珀罗谐振腔的简称，由两块平面反射镜组成，通过调节腔内间距和入射角度改变出射光的中心波长。出射光半峰宽与反射率有关，当FP的反射率和腔长确定后，出射半峰宽不再改变。由于FP腔的可调性，当前大多的窄带滤波片都是FP腔式，其带来的问题就是测试FP腔类型滤波片需要垂直并且平行光入射到表面，结合当下有关光谱测试方法，大体为两类，一类是傅里叶光谱仪，二类是单色仪分光光谱仪。
[0003]首先是，傅里叶光谱仪是利用迈克尔干涉仪将使光发生干涉，然后照射到被测样品上，通过标准探测器收集信号，并依据傅里叶变换将强度与电机位置信息变换到强度与波数信息上，从而获得被测样品的光谱响应曲线，从曲线中获得滤波片的绝对透过率光谱曲线，但是傅里叶光谱仪存在以下几个问题，
[0004](1)一般傅里叶设备测试仓空间有限，只适用于小型样品测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于单色仪FP腔滤波片阵列的绝对透过率自动测试装置，其特征在于，包括：红外光源(1)、离轴抛物镜(2)、斩波器(3)、滤光轮(4)、聚焦镜(5)、单色仪(6)、非球面准直镜(7)、平面反射镜(8)、光阑及监视(9)、三维位移载物台(10)、标准探测器(11)、锁相放大器(12)、控制计算机(13)以及光学平台；红外光源(1)与离轴抛物镜(2)安装在一起，并固定于光学平台上，红外光源(1)发出的光源经离轴抛物镜(2)进行准直后出射；斩波器(3)安装于光学平台上，用于将离轴抛物镜(2)出射的光调制为交流信号；滤光轮(4)安装于光学平台上，用于对经斩波器(3)的光进行二次衍射排除；聚焦镜(5)安装在单色仪(6)的入光镜筒法兰上，将经过滤光轮(4)滤光之后的光聚焦于单色仪(6)的入光狭缝；单色仪(6)固定于光学平台上，对经聚焦镜(5)进入的光进行分光，并出射以出射狭缝为焦点的发散单色光源；非球面准直镜(7)固定于单色仪6的出光光筒上，焦点对齐单色仪(6)的出射狭缝，对单色仪(6)出射的发散单色光源进行准直；平面反射镜(8)与单色仪(6)的出射光源光路呈45
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安装，用于将经非球面准直镜(7)出射的准直光反射至光阑及监视(9)上；光阑及监视(9)设置于单色仪(6)的出射光源折返45
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光路上，用于调节经平面反射镜(8)反射的准直光的光束大小，并监视光束到样本的位置；所述样本为被测FP阵列；三维位移载物台(10)设置于单色仪(6)的出射光源折返45
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光路上，用于放置被测FP阵列并调节被测FP阵列位置；标准探测器(11)设置于单色仪(6)的出射光源折返45
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光路上，用于收集经过FP阵列后的光强，或收集背景光源；锁相放大器(12)安装于光学平台上，并连接标准探测器(11)、斩波器(3)和计算机(13)；计算机(13)用于控制红外光源(1)、斩波器(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张铭，赵征庭，李成世，张鸿波，刘子骥，
申请(专利权)人：成都盈盛源电气科技有限公司，
类型：发明
国别省市：