一种晶元盘上料结构制造技术

本实用新型专利技术涉及固晶设备领域，公开了一种晶元盘上料结构，包括晶元盘校正装置、晶元盘储料装置、承托装置和用于将所述晶元盘储料装置上晶元盘移送至所述晶元盘校正装置上的上料机械手；所述承托装置设置于所述晶元盘校正装置和所述晶元盘储料装置之间，所述承托装置包括承托板和设置于所述承托板上的承托滑轨；所述上料机械手夹持晶元盘向所述晶元盘校正装置移动时，所述晶元盘抵于所述承托滑轨上并沿所述承托滑轨移动。本实用新型专利技术的晶元盘上料结构能很好地保持晶元盘的形状不会发生过大的形变，有利于提升对晶元盘的送料质量。有利于提升对晶元盘的送料质量。有利于提升对晶元盘的送料质量。

【技术实现步骤摘要】
一种晶元盘上料结构


[0001]本技术涉及固晶设备领域，尤其涉及一种晶元盘上料结构。

技术介绍

[0002]目前的晶元盘上料结构，机械手夹取晶元盘储料装置上的晶元盘，然后直接移送至晶元盘校正装置上，以使晶元盘上的晶元能直接向固晶机械手供料。
[0003]目前，由于晶元盘的直径较小，因此可以直接将晶元盘夹送至晶元盘校正装置上；当晶元盘直径较大时，采用机械手直接将晶元盘夹送至晶元盘校正装置上，晶元盘容易因悬空时间过长而受重力作用弯曲形变，进而导致晶元盘损坏；
[0004]有鉴于此，需要设计一种晶元盘上料装置，以避免晶元盘在送料过程中发生过大的形变。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供晶元盘上料装置，以避免晶元盘在送料过程中发生过大的形变。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种晶元盘上料结构，包括晶元盘校正装置、晶元盘储料装置、承托装置和用于将所述晶元盘储料装置上晶元盘移送至所述晶元盘校正装置上的上料机械手；
[0008]所述承托装置设置于所述晶元盘校正装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元盘上料结构，其特征在于，包括晶元盘校正装置(1)、晶元盘储料装置(2)、承托装置(3)和用于将所述晶元盘储料装置(2)上晶元盘移送至所述晶元盘校正装置(1)上的上料机械手(4)；所述承托装置(3)设置于所述晶元盘校正装置(1)和所述晶元盘储料装置(2)之间，所述承托装置(3)包括承托板(31)和设置于所述承托板(31)上的承托滑轨(32)；所述上料机械手(4)夹持晶元盘向所述晶元盘校正装置(1)移动时，所述晶元盘抵于所述承托滑轨(32)上并沿所述承托滑轨(32)移动。2.根据权利要求1所述的晶元盘上料结构，其特征在于，所述承托滑轨(32)平行设置有两条；所述上料机械手(4)上设置有夹爪(41)，所述夹爪(41)位于两条所述承托滑轨(32)之间，且所述承托板(31)上设置有供所述夹爪(41)通过的沟槽(33)。3.根据权利要求1所述的晶元盘上料结构，其特征在于，还包括移动平台(5)，所述晶元盘校正装置(1)安装在所述移动平台(5)上；所述移动平台(5)包括第一滑轨、滑动安装于所述第一滑轨上的固定板(51)、用于驱动所述固定板(51)沿所述第一滑轨移动的第一驱动装置、安装于所述固定板(51)上的第二滑轨、滑动安装于所述第二滑轨上的安装板(52)和用于驱动所述安装板(52)沿所述第二滑轨移动的第二驱动装置；所述晶元盘校正装置(1)安装于所述安装板(52)上，且所述第一滑轨垂直于所述第二滑轨。4.根据权利要求3所述的晶元盘上料结构，其特征在于，所述晶元盘校正装置(1)包括用于承载晶元盘的承载环(11)、用于将晶元盘压紧固定于所述承载环(11)上的压紧环(12)和用于张紧晶元盘上盘膜的张紧盘(13)；所述安装板(52)上还安装有用于带动所述承载环(11)靠近或者远离所述张紧盘(13)的升降机构(14)。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱国良，张晓伟，王永书，何伟洪，戴红葵，
申请(专利权)人：东莞市凯格精机股份有限公司，
类型：新型
国别省市：