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本实用新型涉及固晶设备领域，公开了一种晶元盘上料结构，包括晶元盘校正装置、晶元盘储料装置、承托装置和用于将所述晶元盘储料装置上晶元盘移送至所述晶元盘校正装置上的上料机械手；所述承托装置设置于所述晶元盘校正装置和所述晶元盘储料装置之间，所述承...
该专利属于东莞市凯格精机股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市凯格精机股份有限公司授权不得商用。

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