【技术实现步骤摘要】
一种DCB增加铜厚的方法
[0001]本专利技术涉及陶瓷覆铜基板制备的
,更具体地说,它涉及一种DCB增加铜厚的方法。
技术介绍
[0002]申请人于2022年07月19日申请了一篇增加DCB铜厚的方法,其专利号为202210845532X。
[0003]上述专利提供了一种增加DCB铜厚的方法,通过采用干法热氧化烧结的方式对铜片底面进行氧化烧结,得到增厚的覆铜陶瓷基板。
[0004]本专利技术提供另一种方法来增加DCB的铜厚。
技术实现思路
[0005]针对现有技术存在的不足,本专利技术的目的在于提供一种DCB增加铜厚的方法,通过湿法氧化铜片后与陶瓷覆铜基板进行烧结,稳定性高,工艺环保。
[0006]本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种DCB增加铜厚的方法,包括以下步骤:
[0007]1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;
[0008]2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;
[0009]3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;
[0010]4)氧化完成后进行水洗、烘干;
[0011]堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。
[0012]本专利技术进一步设置为:在步骤3中,湿法氧化后在铜片表面形成均匀的氧化亚铜层,其反应过程为:4Cu+2KMnO4→
2Cu2O+K2MnO4+MnO2。 />[0013]本专利技术进一步设置为:在步骤5中,将具有氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上加热,氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜
‑
氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,并形成镶嵌结构。
[0014]本专利技术进一步设置为:在加热完成后放入振动盘中进行机械振动,振动完成后进行降温冷却,在降温的过程中,铜
‑
氧化亚铜共晶液逐渐凝固,在铜
‑
陶瓷的界面上形成了Cu
‑
CuAlO2的结合面、Al2O3‑
CuAlO2的结合面以及Cu2O
‑
CuAlO2的结合面。
[0015]本专利技术进一步设置为:振动时间为5
‑
10s;并且降温至零下20
‑
零下60℃,降温时间为3
‑
5min,然后恢复至常温。
[0016]本专利技术进一步设置为:该反应过程包括:Cu2O+Al2O3→
2CuAlO2。
[0017]本专利技术进一步设置为:在湿法氧化工艺中,高锰酸钾浓度为25g/L,氧化液浓度控制在0.14
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0.17mol/L,PH控制在2.5
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3.5;氧化液密度控制在1.09
‑
1.11g/cm3,氧化液温度控制在65
‑
70℃,氧化时间30s。
[0018]本专利技术进一步设置为:在步骤1中,当DCB铜片厚度为0.4mm时,厚度组合方式为两片0.2mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.45mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.5mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.3mm铜片堆叠复合或两片0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.55mm时,厚度组合方式为0.25mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.6mm时,厚度组合方式为两片0.3mm铜片堆叠复合。
[0019]本专利技术进一步设置为:在步骤2中,清洗工艺包括除油
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水洗
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微蚀
‑
水洗
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酸洗
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热水洗
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超声波水洗
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烘干
‑
冷却。
[0020]本专利技术进一步设置为:其中微蚀的控制条件包括:H2SO4浓度2
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4%;过硫酸钠40
‑
80g/L;温度为25
±
5℃。
[0021]综上所述,本专利技术具有以下有益效果:
[0022]1、根据需求将铜厚进行分解,例如0.4mm=0.2mm+0.2mm、0.45mm=0.2mm+0.25mm、0.5mm=0.2mm+0.3mm或0.25mm+0.25mm,0.55mm=0.25mm+0.3mm;
[0023]2、将所需求的铜片进行湿法氧化预处理,将铜片的进行氧化,形成氧化层;
[0024]3、利用烧结工艺将两层铜片和瓷片进行堆叠烧结,最终形成特定铜厚的DCB产品。
具体实施方式
[0025]下面结合实施例,对本专利技术进行详细描述。
[0026]一种DCB增加铜厚的方法,主要包括以下步骤:
[0027]1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;
[0028]2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;
[0029]3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;
[0030]4)氧化完成后进行水洗、烘干;
[0031]堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。
[0032]其中,在步骤3中,湿法氧化后在铜片表面形成均匀的氧化亚铜层,其反应过程为:4Cu+2KMnO4→
2Cu2O+K2MnO4+MnO2;其中高锰酸钾浓度为25g/L,氧化时间:30s。
[0033]在步骤5中,将具有氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上加热,氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜
‑
氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,并形成镶嵌结构。
[0034]在加热完成后进行机械振动,机械振动可以采用振动盘,将加热完成后的瓷片放置在振动盘上振动5
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10s,使内部结构充分接触,然后迅速进行降温,在短时间3
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5min之内降温冷却,使其迅速至于零下20
‑
零下60℃,在降温的过程中,铜
‑
氧化亚铜共晶液迅速凝固,在铜
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陶瓷的界面上形成了具有更加稳定结构的Cu
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CuAlO2、Al2O3‑
CuAlO2、Cu2O
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CuAlO2的三种结合面,该反应过程包括:Cu2O+Al2O3→
2CuAlO2。
[0035]在步骤1中,当DCB铜片厚度为0.4mm时,厚度组合方式为两片0.2mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.45mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.25mm铜片堆叠复合;当DCB铜片厚度为0.5mm时,厚度组合方式为0.2mm铜片与0.3mm铜片堆叠复合或两片0.25mm铜片本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)根据覆铜陶瓷基板所需DCB铜片的厚度,设计若干种厚度组合方式,根据厚度组合方式准备对应厚度的铜片;2)取步骤1准备的铜片,进行清洗;3)清洗完成后,进行铜片湿法氧化,并且湿法氧化工艺使用高锰酸钾作为氧化剂;4)氧化完成后进行水洗、烘干;5)堆叠烧结:将氧化好的铜片放置于氧化铝陶瓷上进行烧结。2.根据权利要求1所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在步骤3中,湿法氧化后在铜片表面形成均匀的氧化亚铜层,其反应过程为:4Cu+2KMnO4→
2Cu2O+K2MnO4+MnO2。3.根据权利要求1所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在步骤5中,将具有氧化亚铜的铜片放置于氧化铝陶瓷上加热,氧化亚铜与铜形成液态的共熔物,铜
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氧化亚铜共晶液与瓷片中的氧化铝发生反应,在氧化铝的表面形成固态的CuAlO2层,该层与陶瓷表面紧密接触,并形成镶嵌结构。4.根据权利要求3所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:在加热完成后放入振动盘中进行机械振动,振动完成后进行降温冷却,在降温的过程中,铜
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氧化亚铜共晶液逐渐凝固,在铜
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陶瓷的界面上形成了Cu
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CuAlO2的结合面、Al2O3‑
CuAlO2的结合面以及Cu2O
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CuAlO2的结合面。5.根据权利要求4所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:振动时间为5
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10s;并且降温至零下20
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零下60℃,降温时间为3
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5min,然后恢复至常温。6.根据权利要求4所述的一种DCB增加铜厚的方法,其特征在于:该反应过程包...
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡俊,李炎,马敬伟,陆玉龙,董明锋,
申请(专利权)人:江苏富乐华半导体科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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