片盒内部离子采集装置及方法制造方法及图纸

本公开提供一种片盒内部离子采集装置及方法，该装置包括：采集单元，包括架体、连接至架体上的用于夹持片盒并绕第一方向的轴心转动片盒的夹持机构、及连接至架体上的用于绕第二方向的轴心转动架体的转动机构；注液单元，包括注液组件及用于为注液组件供给标准溶液的供液组件，注液组件包括注液头及移动注液头的第一移动机构，注液头在第一移动机构带动下能够向架体内注入溶液；及集液单元，集液单元包括吸液组件及用于收集吸液组件所抽吸的溶液的集液组件，吸液组件包括吸液头及移动吸液头的第二移动机构。本公开所提供的片盒内部离子采集装置及方法可提高检测准确性，大幅度提升取样效率。升取样效率。升取样效率。

【技术实现步骤摘要】
片盒内部离子采集装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种片盒内部离子采集装置及方法。

技术介绍

[0002]在硅片制造过程中，装载硅片的片盒的洁净度对硅片的质量至关重要，实时监控片盒中的离子浓度，有利于及时发现片盒内部离子对硅片质量的高低的影响程度。目前，对于片盒内部的离子浓度的监控普遍采用以下方式：先采用溶液采集片盒内部离子，之后通过离子分析仪器检测溶液内离子浓度。因此，片盒内部离子采集的充分度和采集过程的洁净度对于后续的测试分析至关重要。
[0003]从离子采集均匀度来说，若离子采集不充分的话，直接后果就是测试数据偏小，不能反映片盒内部离子浓度的真实值，导致片盒中的硅片污染程度加深。从离子采集洁净度来说，现有方法中片盒内部离子采集完成后，需要人为将片盒溶液盛出，这样会不可避免地将污染物带入片盒溶液中，导致测试数据偏大，直接影响测试数据的真实性。
[0004]在相关技术中，采用手摇的方式洗涤片盒，从而达到采集离子的目的。但是，该方法存在两种无法解决的问题：首先，该方法无法克服不同操作人员手摇洗涤片盒的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片盒内部离子采集装置，其特征在于，包括：用于采集片盒内部离子的采集单元，所述采集单元包括架体、连接至所述架体上的用于夹持所述片盒并绕第一方向的轴心转动所述片盒的夹持机构、及连接至所述架体上的用于绕第二方向的轴心转动所述架体的转动机构，所述第一方向与所述第二方向垂直；用于打开或关闭所述片盒的片盒盖的片盒盖开合组件，所述片盒盖开合组件连接至所述架体上；用于向所述片盒内部注入标准溶液的注液单元，所述注液单元包括注液组件及用于为所述注液组件供给标准溶液的供液组件，所述注液组件包括注液头及移动所述注液头的第一移动机构，所述注液头在所述第一移动机构带动下能够向所述架体片盒内部注入标准溶液；及用于收集所述片盒内部溶液的集液单元，所述集液单元包括用于从所述片盒内部抽吸溶液的吸液组件、及用于收集所述吸液组件所抽吸的溶液的集液组件，所述吸液组件包括吸液头及移动所述吸液头的第二移动机构。2.根据权利要求1所述的片盒内部离子采集装置，其特征在于，所述供液组件包括：用于分别提供不同原始溶液的第一供液瓶和第二供液瓶；用于将来自所述第一供液瓶和所述第二供液瓶的不同原始溶液混合配置为所述标准溶液的混液器，所述混液器的进液口通过第一管路连通至所述第一供液瓶，通过第二管路连通至所述第二供液瓶，所述第一管路设有第一阀门，所述第二管路上设第二阀门；用于从所述混液器抽取所述标准溶液并注射至所述注液头的注射器，所述混液器的出液口连通至所述注射器的进液口，且所述混液器与所述注射器之间设置第三阀门，所述注射器的出液口连通至所述注液头；控制器，所述控制器连接所述第一阀门、所述第二阀门和所述第三阀门及所述注射器，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门和所述注射器的工作状态，以使不同原始溶液按预定比例混合配置。3.根据权利要求1所述的片盒内部离子采集装置，其特征在于，所述第一移动机构包括第一支架，所述第一支架能够绕沿第三方向的轴线旋转且能够在所述第三方向上伸缩，所述注液头设置在所述第一支架上；所述第二移动机构包括第二支架，所述第二支架能够绕沿第三方向的轴线旋转且能够在所述第三方向上伸缩，所述吸液头设置在所述第二支架上，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向彼此垂直。4.根据权利要求3所述的片盒内部离子采集装置，其特征在于，所述第一支架包括沿所述第三方向设置的第一竖管和沿所述第一方向设置的第一横管，所述第一竖管与所述第一横管的内腔相通并连通至所述注液头，所述第一竖管在所述第三方向上可伸缩且所述第一竖管上设有与所述供液组件连通的进液口，所述注液头连接至所述第一横管上。5.根据权利要求3所述的片盒内部离子采集装...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐凌博，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：