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本公开提供一种片盒内部离子采集装置及方法，该装置包括：采集单元，包括架体、连接至架体上的用于夹持片盒并绕第一方向的轴心转动片盒的夹持机构、及连接至架体上的用于绕第二方向的轴心转动架体的转动机构；注液单元，包括注液组件及用于为注液组件供给标准...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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