一种立式炉结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式炉结构，包括立式炉体及立式炉体安装平台，所述立式炉体底部设有滚动定位装置，所述立式炉体安装平台上设有定位凹坑，所述滚动定位装置支承于定位凹坑中，所述立式炉体上设有用于推动立式炉体移动的把手。本实用新型专利技术具有立式炉体定位安装方便、省力的优点。省力的优点。省力的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种立式炉结构


[0001]本技术涉及半导体制备
，具体涉及一种立式炉结构。

技术介绍

[0002]立式炉可用于集成电路制造过程中的氧化、扩散、退火及LPCVD等工艺，是集成电路生产线上最重要的工艺设备之一。由于立式炉体结构紧凑，作业空间狭小，而立式炉体体积和重量都比较大，在立式炉体安装平台上定位和安装时需反复移动调整，工作繁琐且作业难度大。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种立式炉体定位安装方便、省力的立式炉结构。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种立式炉结构，包括立式炉体及立式炉体安装平台，所述立式炉体底部设有滚动定位装置，所述立式炉体安装平台上设有定位凹坑，所述滚动定位装置支承于定位凹坑中，所述立式炉体上设有用于推动立式炉体移动的把手。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进：
[0007]所述滚动定位装置及定位凹坑均设有多个，所述滚动定位装置一一对应的支承于定位凹坑中。
[0008]多个所述滚动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式炉结构，包括立式炉体(1)及立式炉体安装平台(2)，其特征在于：所述立式炉体(1)底部设有滚动定位装置(3)，所述立式炉体安装平台(2)上设有定位凹坑(4)，所述滚动定位装置(3)支承于定位凹坑(4)中，所述立式炉体(1)上设有用于推动立式炉体(1)移动的把手(5)。2.根据权利要求1所述的立式炉结构，其特征在于：所述滚动定位装置(3)及定位凹坑(4)均设有多个，所述滚动定位装置(3)一一对应的支承于定位凹坑(4)中。3.根据权利要求2所述的立式炉结构，其特征在于：多个所述滚动定位装置(3)绕立式炉体(1)旋转中心间隔布置。4.根据权利要求1所述的立式炉结构，其特征在于：所述定位凹坑(4)周侧设有圆弧倒角(6)。5.根据权利要求1至4中任一项所述的立式炉结构，其特征在于：所述滚动定位装置(3)包括安装座(31)及万向钢珠(32)，所述安装座(31)设于立式炉体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊朋，曾裕民，周益华，田丰，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：新型
国别省市：