【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光测量方法、分光测量装置、制品检查方法、制品检查装置及制品甄别装置
[0001]本专利技术涉及分光测量的技术。
技术介绍
[0002]向对象物照射光并测量来自该对象物的光(透射光、反射光、散射光等)的波谱的技术作为分析对象物的组成或性质的技术是代表性的。典型的分光测量的方法是使用衍射光栅的方法。通过凹面镜使从入射狭缝入射的被测量光成为平行光并向衍射光栅照射，将来自衍射光栅的分散光同样用凹面镜聚光，将受光器配置在聚光位置而进行检测。通过使衍射光栅的姿势变化(扫描)，不同波长的光依次向受光器入射，受光器的输出成为波谱。
[0003]此外，作为使用衍射光栅的方法以外的方法，已知有所谓的傅里叶变换分光法。在该方法中，有在迈克尔逊干涉计那样的干涉光学系统中使光干涉而使干涉光向受光器入射时通过可动反射镜的扫描使光路长变化的方法。受光器的输出是干涉图，通过将其傅里叶变换而得到波谱。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2013－205390号公报
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分光测量方法，具备：照射工序，将脉冲中的经过时间与光的波长一对一地对应的脉冲光向相同的对象物多次照射；受光工序，由受光器将来自在照射工序中被多次照射了脉冲光的对象物的各脉冲光受光；以及运算处理工序，进行将来自在受光工序中受光了各脉冲光的受光器的输出变换为波谱的处理，其特征在于，设有对于来自受光器的各脉冲光的输出将可看作受光了相同波长的光的时刻的值积分的积分工序，运算处理工序是将积分工序中的积分后的各值设为是对应的各波长下的光的强度的处理的工序。2.如权利要求1所述的分光测量方法，其特征在于，具备对于上述积分工序中的积分赋予确定可看作受光了相同波长的光的时刻时的基准时刻的基准时刻赋予工序。3.如权利要求2所述的分光测量方法，其特征在于，上述基准时刻赋予工序是随着上述各脉冲光的射出而产生触发信号的工序，上述积分工序是对于来自受光了各脉冲光的受光器的输出将来自触发信号的经过时间相同的时刻的值积分的工序。4.如权利要求3所述的分光测量方法，其特征在于，上述照射工序是通过使来自超短脉冲激光源的超短脉冲激光入射到非线性元件中使其产生非线性效应而宽频带化、使从非线性元件射出的宽频带脉冲光入射到伸长元件中使脉冲宽度伸长后向上述对象物多次照射的工序，上述基准时刻赋予工序是检测向非线性元件入射前的超短脉冲激光并产生触发信号的工序。5.如权利要求1所述的分光测量方法，其特征在于，上述照射工序是通过使来自超短脉冲激光源的超短脉冲激光入射到非线性元件中使其产生非线性效应而宽频带化、对从非线性元件射出的宽频带脉冲光用阵列波导衍射光栅进行波长分割后、将作为被波长分割后的宽频带脉冲光的分割脉冲光分别用延迟光纤传送而使其延迟、将从各延迟光纤射出的各分割脉冲光会聚而作为合成脉冲光向对象物照射的工序，以使合成脉冲光中的经过时间与光的波长一对一对应地选择各延迟光纤的材料及长度，上述积分工序是关于来自受光了来自被照射合成脉冲光的对象物的光的受光器的输出、按照与阵列波导衍射光栅的各通道对应的值进行积分的工序。6.如权利要求5所述的分光测量方法，其特征在于，上述各延迟光纤在入射的上述各分割脉冲光的波长范围中具有正常分散特性或异常分散特性，上述积分工序是关于与各分割脉冲光对应的来自受光器的脉冲输出、在将脉冲的两侧的下摆的部分排除后的较窄的宽度中进行积分的工序。
7.一种分光测量装置，其特征在于，具备：脉冲光源，射出脉冲中的经过时间与光的波长一对一地对应的脉冲光；受光器，被配置在将来自被照射了来自脉冲光源的脉冲光的对象物的光受光的位置；以及运算机构，进行将来自受光器的输出变换为波谱的处理，设有积分机构，所述积分机构对于由脉冲光源对相同的对象物多次照射了脉冲光时的由各脉冲光带来的来自受光器的各脉冲光的输出，按照可看作受光了相同波长的光的时刻的值进行积分，运算机构是进行将由积分机构积分后的各值设为是对应的各波长下的光的强度的运算处理的机构。8.如权利要求7所述的分光测量装置，其特征在于，在上述积分机构中设有基准时刻赋予部，所述基准时刻赋予部赋予确定可看作受光了相同波长的光的时刻时的基准时刻。9.如权利要求8所述的分光测量装置，其特征在于，上述基准时刻赋予部是随着上述脉冲光源的各脉冲光的射出而产生触发信号的触发信号发生部，触发信号发生部与积分机构连接，以将触发信号向积分机构输入，积分机构是关于来自受光了各脉冲光的受光器的输出、将从触发信号起的经过时间相同的时刻的各值积分的机构。10.如权利要求9所述的分光测量装置，其特征在于，上述脉冲光源具备超短脉冲激光源、使来自超短脉冲激光源的超短脉冲激光产生非线性效应而宽频带化...
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