气瓶自动化系统技术方案

气瓶自动化系统可以包括：传送路径，其将带入到气瓶自动化系统中的气瓶中的气体自动地供应到半导体处理线；以及气缸式传感器，其通过沿着传送路径移动来检查传送路径是否异常，其中，气缸式传感器包括：气缸盖，其包括端盖紧固构件和耦合到端盖紧固构件的端盖，并且气缸盖具有第一检测传感器，第一检测传感器设置在端盖紧固构件上以检测施加到端盖的力和力矩中的一个；以及气缸本体，其连接到气缸盖并且具有第二检测传感器，第二检测传感器包括安装在其上的加速度传感器和倾斜度传感器中的至少一个。的至少一个。的至少一个。

【技术实现步骤摘要】
气瓶自动化系统
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年10月22日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2021
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0141644的优先权的权益，该申请的公开内容以引用方式全部并入本文中。


[0003]本公开涉及一种气瓶自动化系统。

技术介绍

[0004]制造半导体和显示器的工艺使用各种气体(诸如清洁气体和蚀刻气体)。该工艺所需的气体的供应开始于输送从车辆卸载的气瓶。
[0005]气瓶自动化系统是使从气瓶的入库到其出库的所有过程自动化的系统。气瓶可以自动地供应到每个过程元件。
[0006]如果在气瓶自动化系统中存在问题，则当将端盖紧固到气瓶时，可能向端盖施加过大的力，或者在气瓶的输送期间可能向气瓶施加过大的振动或冲击。通常，为了确定气瓶自动化系统是否异常，操作者直接进入气瓶自动化系统中并用手工工具检查。为了操作者安全，整个气瓶自动化系统应当关闭。

技术实现思路

[0007]本公开的一方面可以提供一种气瓶自动化系统，该气瓶自动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气瓶自动化系统，包括：传送路径，其将被带入到所述气瓶自动化系统中的气瓶中的气体自动地供应到半导体处理线；以及气缸式传感器，其通过沿着所述传送路径移动来检查所述传送路径是否异常，其中，所述气缸式传感器包括：气缸盖，其包括端盖紧固构件和耦合到所述端盖紧固构件的端盖，并且所述气缸盖具有位于所述端盖紧固构件上的第一检测传感器，所述第一检测传感器被配置为检测施加到所述端盖的力和力矩中的一个；以及气缸本体，其连接到所述气缸盖，并且具有位于所述气缸本体上的第二检测传感器，所述第二检测传感器包括加速度传感器和倾斜度传感器中的一个。2.根据权利要求1所述的气瓶自动化系统，其中，所述气缸式传感器被控制为移动到所述气瓶自动化系统内部的每个模块。3.根据权利要求2所述的气瓶自动化系统，其中，施加到移动到所述气瓶自动化系统内部的每个模块的气瓶的力或力矩基于所述第一检测传感器的检测结果来测量。4.根据权利要求2所述的气瓶自动化系统，其中，基于所述第一检测传感器的检测结果来检测所述传送路径内部的每个模块是否异常。5.根据权利要求1所述的气瓶自动化系统，其中，所述第二检测传感器包括加速度传感器，所述加速度传感器被配置为检测施加到所述气缸式传感器的振动。6.根据权利要求1所述的气瓶自动化系统，其中，所述第二检测传感器包括倾斜度传感器，所述倾斜度传感器被配置为感测所述气缸式传感器的倾斜度。7.根据权利要求1所述的气瓶自动化系统，其中，所述气缸盖包括壳体和所述壳体上的安装构件，并且所述第一检测传感器位于所述壳体与所述安装构件之间。8.根据权利要求1所述的气瓶自动化系统，其中，所述气缸本体包括无线通信模块，所述无线通信模块被配置为无线传输所述第一检测传感器和所述第二检测传感器的检测结果。9.根据权利要求8所述的气瓶自动化系统，所述气缸式传感器还包括连接到所述无线通信模块的电池。10.根据权利要求1所述的气瓶自动化系统，其中，所述气缸式传感器还包括连接到所述第二检测传感器的电池。11.一种气瓶自动化系统，包括：多个气瓶，其由包括在气瓶传送单元中的传送机器人传送，并且通过气瓶检查单元、气瓶存储单元和气瓶更换单元中的至少一个自动地供应到处理；以及气缸式传感器，其包括检测施加到端盖的力和力矩中的至少一个的...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏真镐，金光俊，安致建，李羲宽，崔亨虎，李俊衡，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：