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气瓶自动化系统可以包括：传送路径，其将带入到气瓶自动化系统中的气瓶中的气体自动地供应到半导体处理线；以及气缸式传感器，其通过沿着传送路径移动来检查传送路径是否异常，其中，气缸式传感器包括：气缸盖，其包括端盖紧固构件和耦合到端盖紧固构件的端盖...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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