待测器件DUT异常识别方法、装置及设备制造方法及图纸

本公开提供了一种待测器件DUT异常识别方法、装置及设备，涉及芯片测试技术领域。该方法包括：获取多个被测芯片的原始测试数据，原始测试数据通过多个DUT对部分被测芯片执行不同测试项得到的测试数据；根据原始测试数据，得到目标测试项的平均失效率；根据原始测试数据，得到目标DUT执行目标测试项的DUT失效率；若DUT失效率与平均失效率满足预设条件，则判定目标DUT为异常DUT。本公开提供的待测器件DUT异常识别方法、装置及设备，通过测试项失效率直接、准确地反馈失效情况，无遗漏，消除产品本身带来的误判，识别精度高。识别精度高。识别精度高。

【技术实现步骤摘要】
待测器件DUT异常识别方法、装置及设备


[0001]本公开涉及芯片测试
，尤其涉及一种DUT异常识别方法、DUT异常识别装置及电子设备。

技术介绍

[0002]半导体的生产流程包括晶圆制造和半导体测试，半导体测试工艺属于半导体产业的关键领域，半导体测试包括晶圆测试(Circuit Probing，CP)和最终测试(Final Test，FT)，其中，FT测试是芯片测试的后端流程，是芯片出厂前的最后一道拦截，其测试对象是封装好的芯片Chip，用以检测封装厂的工艺水平，所用的测试机台昂贵，成本较高。
[0003]在FT测试时，以待测器件(Device Under Test，DUT)为单位进行，一个DUT不断加载不同的芯片进行测试。然而，由于DUT上的信号会受到烧录座Socket、测试板卡、测试机等影响，造成芯片测试失败，故需要及时发现异常DUT，并将异常DUT关掉、修理，避免对芯片造成误伤，降低产品良率。
[0004]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本公开提供一种DUT异常识别方法、装置及设备，至少在一定程度上克服相关技术中提供的现有FT测试存在无法及时发现异常DUT造成芯片误伤降低产品良率的问题。
[0006]本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
[0007]根据本公开的一个方面，提供一种待测器件DUT异常识别方法，获取多个被测芯片的原始测试数据，其中，所述原始测试数据包括多个DUT的测试数据，各个DUT的测试数据包括所述多个被测芯片中的部分被测芯片的测试数据，所述部分被测芯片的测试数据为所述各个DUT执行不同测试项测试得到的；根据所述原始测试数据，得到目标测试项的平均失效率；根据所述原始测试数据，得到目标DUT执行所述目标测试项的DUT失效率；若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT。
[0008]在本公开的一个实施例中，所述若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT，包括：计算所述DUT失效率与所述平均失效率的差异量；若所述差异量大于或等于预设差异量阈值，则判定所述目标DUT为异常DUT。
[0009]在本公开的一个实施例中，所述方法还包括：若所述差异量小于所述预设差异量阈值，则判定所述目标DUT为正常DUT。
[0010]在本公开的一个实施例中，所述DUT失效率与所述平均失效率的差异量包括以下中的至少一项：所述DUT失效率与所述平均失效率的标准差；所述DUT失效率与所述平均失效率的差值；所述DUT失效率与所述平均失效率的比值。
[0011]在本公开的一个实施例中，所述根据所述原始测试数据，得到目标测试项的平均
失效率，包括：从所述原始测试数据中获取执行所述目标测试项的被测芯片的第一数量；从所述原始测试数据中获取执行所述目标测试项且测试结果为失效状态的被测芯片的第二数量；根据所述第一数量和所述第二数量，确定所述目标测试项的平均失效率。
[0012]在本公开的一个实施例中，所述根据所述原始测试数据，得到目标DUT执行所述目标测试项的DUT失效率，包括：从所述原始测试数据中获取所述目标DUT执行所述目标测试项的被测芯片的第三数量；从所述原始测试数据中获取所述目标DUT执行所述目标测试项且测试结果为失效状态的被测芯片的第四数量；根据所述第三数量和所述第四数量，确定所述目标DUT执行所述目标测试项的DUT失效率。
[0013]在本公开的一个实施例中，所述原始测试数据包括被测芯片ID、与所述被测芯片对应的DUT标识、测试项标识、以及测试结果。
[0014]在本公开的一个实施例中，所述原始测试数据存储于测试结果表中。
[0015]在本公开的一个实施例中，在所述若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT之前，所述方法还包括：判断所述DUT失效率是否小于预设失效率阈值；若所述DUT失效率小于预设失效率阈值，则执行所述若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT的操作。
[0016]在本公开的一个实施例中，所述方法还包括：若所述DUT失效率大于或等于预设失效率阈值，则判定所述目标DUT为异常DUT。
[0017]在本公开的一个实施例中，所述方法还包括：当所述目标DUT为异常DUT时，控制所述目标DUT停止芯片测试，发送提醒信息，其中，所述提醒信息包括目标DUT标识、异常信息。
[0018]根据本公开的另一个方面，还提供了一种DUT异常识别装置，包括：获取模块，用于获取多个被测芯片的原始测试数据，其中，所述原始测试数据包括多个DUT的测试数据，各个DUT的测试数据包括所述多个被测芯片中的部分被测芯片的测试数据，所述部分被测芯片的测试数据为所述各个DUT执行不同测试项测试得到的；计算模块，用于根据所述原始测试数据，得到目标测试项的平均失效率；根据所述原始测试数据，得到目标DUT执行所述目标测试项的DUT失效率；判定模块，用于若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT。
[0019]根据本公开的另一个方面，还提供了一种电子设备，包括处理器及存储器，所述存储器用于存储所述处理器的可执行指令；其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行上述待测器件DUT异常识别方法。
[0020]根据本公开的另一个方面，还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的待测器件DUT异常识别方法。
[0021]根据本公开的另一个方面，还提供了一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序或计算机指令，所述计算机程序或所述计算机指令由处理器加载并执行，以使计算机实现上述的待测器件DUT异常识别方法。
[0022]在本公开实施例中，通过获取多个被测芯片的原始测试数据，原始测试数据包括多个DUT的测试数据，各个DUT的测试数据包括多个被测芯片中的部分被测芯片的测试数据，部分被测芯片的测试数据为各个DUT执行不同测试项测试得到的；根据原始测试数据，得到目标测试项的平均失效率和目标DUT执行目标测试项的DUT失效率；当DUT失效率与平均失效率满足预设条件时，判定目标DUT为异常DUT，通过测试项失效率直接、准确地反馈失
效情况，无遗漏，消除产品本身带来的误判，识别精度高。
[0023]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
[0024]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种待测器件DUT异常识别方法，其特征在于，包括：获取多个被测芯片的原始测试数据，其中，所述原始测试数据包括多个DUT的测试数据，各个DUT的测试数据包括所述多个被测芯片中的部分被测芯片的测试数据，所述部分被测芯片的测试数据为所述各个DUT执行不同测试项测试得到的；根据所述原始测试数据，得到目标测试项的平均失效率；根据所述原始测试数据，得到目标DUT执行所述目标测试项的DUT失效率；若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述若所述DUT失效率与所述平均失效率满足预设条件，则判定所述目标DUT为异常DUT，包括：计算所述DUT失效率与所述平均失效率的差异量；若所述差异量大于或等于预设差异量阈值，则判定所述目标DUT为异常DUT。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若所述差异量小于所述预设差异量阈值，则判定所述目标DUT为正常DUT。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述DUT失效率与所述平均失效率的差异量包括以下中的至少一项：所述DUT失效率与所述平均失效率的标准差；所述DUT失效率与所述平均失效率的差值；所述DUT失效率与所述平均失效率的比值。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述原始测试数据，得到目标测试项的平均失效率，包括：从所述原始测试数据中获取执行所述目标测试项的被测芯片的第一数量；从所述原始测试数据中获取执行所述目标测试项且测试结果为失效状态的被测芯片的第二数量；根据所述第一数量和所述第二数量，确定所述目标测试项的平均失效率。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述原始测试数据，得到目标DUT执行所述目标测试项的DUT失效率，包括：从所述原始测试数据中获取所述目标DUT执行所述目标测试项的被测芯片的第三数量；从所述原始测试数据中获取所述目标DUT执行所述目标测试项且测试结果为失效状态的被测芯片的第四数量；根据所述第三数量和所述第四数量...

【专利技术属性】
技术研发人员：张群洪，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：