一种具有双电机的晶片研磨机制造技术

本实用新型专利技术提供一种结构简单、并能对不同旋转部件进行独立调速，从而适应不同型号生产需求，有效降低生产成本的一种具有双电机的晶片研磨机。包括机台、依次设置在机台上且与其转动配合的下磨盘、外齿圈和上磨盘，机台上还设置有控制器、顶部设置有控制上磨盘升降的垂直气缸，本实用新型专利技术提供了主动力装置和副动力装置两套动力装置，分别通过主发动机经由主皮带带动主减速器，由主减速器通过齿轮和中心传动轴带动上磨盘、外齿圈和下磨盘转动，通过副发动机经由副减速器带动内齿圈转动，并通过控制器修改两套动力装置的转速来改变相应部件的转动速度，从而适应不同晶片的加工需求。本实用新型专利技术用于晶片加工生产技术领域。实用新型专利技术用于晶片加工生产技术领域。实用新型专利技术用于晶片加工生产技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种具有双电机的晶片研磨机


[0001]本技术涉及晶片加工生产
，尤其涉及一种具有双电机的晶片研磨机。

技术介绍

[0002]石英晶片是制造频率发生和控制用的电子元器件，石英晶片的厚度同频率成反比，石英晶片经过切割后的晶体片要根据晶体的设计要求，一道研磨至固定厚度。为了使晶片平整，并消除切割过程中所造成的损伤，获得完美的衬底材料，晶片必须要使用研磨设备进行打磨，才有可能制出合格的器件，因此，晶片研磨机是石英晶片制造领域中必不可少的装置。传统的研磨机通过发动机和减速器的配合，控制上磨盘、下磨盘等机构转动，根据不同型号的产品可以进行多档调速以适应生产需求，但并不能单独对某一旋转部件的速度进行调整，无法满足精度更好的研磨生产要求；市面上也有通过多部发动机对不同旋转部件的转速进行独立控制的研磨机，但这种装置价格很高，大大提高了晶片研磨加工的成本，不适合在晶片制造行业内推广使用。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种结构简单、并能对不同旋转部件进行独立调速，从而适应不同型号生产需求，有效降低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有双电机的晶片研磨机，包括机台(1)、依次设置在机台(1)上且与其转动配合的下磨盘(2)、外齿圈(3)和上磨盘(4)，机台(1)上还设置有控制器(5)、顶部设置有控制上磨盘(4)升降的垂直气缸(6)，其特征在于：机台(1)内还设置有中心传动轴(7)以及均与中心传动轴(7)相连接的主动力装置和副动力装置，中心传动轴(7)从上往下依次设置有外齿圈驱动齿轮(8)、下磨盘驱动齿轮(9)、内齿圈驱动齿轮(10)和上磨盘驱动齿轮(11)，在中心传动轴(7)上与外齿圈(3)处于同一水平面位置上通过内齿圈轴承(12)套设有内齿圈(13)、内齿圈驱动齿轮(10)固定设置在内齿圈轴承(12)下端，主动力装置包括主发动机(14)、通过主皮带(15)与主发动机(14)相连接的主减速器(16)，下磨盘驱动齿轮(9)、外齿圈驱动齿轮(8)和上磨盘驱动齿轮(11)均与主减速器(16)相连接，内齿圈驱动齿轮(10)与副动力装置相连接，控制器(5)与垂直气缸(6)、主发动机(14)和副动力装置电性连接。2.根据权利要求1所述的一种具有双电机的晶片研磨机，其特征在于：上磨盘驱动齿轮(11)通过上磨盘轴承(17)设置在中心传动轴(7)上、且顶部设置有可与上磨盘(4)相啮合的连接齿轮(18)，内齿圈轴承(12)套设在上磨盘轴承(17)上，下磨盘驱动齿轮(9)通过下磨盘轴承(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢尚平，孙黎明，刘兴波，
申请(专利权)人：珠海东锦石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：