下载一种具有双电机的晶片研磨机的技术资料

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本实用新型提供一种结构简单、并能对不同旋转部件进行独立调速,从而适应不同型号生产需求,有效降低生产成本的一种具有双电机的晶片研磨机。包括机台、依次设置在机台上且与其转动配合的下磨盘、外齿圈和上磨盘,机台上还设置有控制器、顶部设置有控制上磨盘...
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